Modeling of information recording and selective etching processes in inorganic resists
Theoretical consideration and computer modeling of information pit recording and etching processes in chalcogenide vitreous semiconductors are proposed, namely we demonstrate how to record and develop information pits with the necessary shape and sizes in the inorganic resist using focused Gaussian...
Збережено в:
| Дата: | 2005 |
|---|---|
| Автори: | , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | English |
| Опубліковано: |
Інститут проблем реєстрації інформації НАН України
2005
|
| Назва видання: | Реєстрація, зберігання і обробка даних |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/50773 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Modeling of information recording and selective etching processes in inorganic resists / A.N. Morozovska, S.A. Kostyukevych // Реєстрація, зберігання і оброб. даних. — 2005. — Т. 7, № 3. — С. 3-16. — Бібліогр.: 13 назв. — англ. |