2025-02-23T16:38:23-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: Query fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-52331%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T16:38:23-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: => GET http://localhost:8983/solr/biblio/select?fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-52331%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T16:38:23-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: <= 200 OK
2025-02-23T16:38:23-05:00 DEBUG: Deserialized SOLR response
Особенности плазмохимического травления торцов кремниевых пластин для фотоэлектрических преобразователей

Особенности плазмохимического травления торцов кремниевых пластин для фотоэлектрических преобразователей

Выбраны оптимальные режимы плазмохимического травления торцов пластин в реакторе, разработанном в ИЯИ, который по производительности превосходит лучший зарубежный аналог при более высоком качестве обработки пластин....

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Main Authors: Федорович, О.А., Кругленко, М.П., Полозов, Б.П.
Format: Article
Language:Russian
Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2009
Series:Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Subjects:
Технологические процессы и оборудование
Online Access:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52331
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!

Internet

http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52331

Similar Items