Особенности плазмохимического травления торцов кремниевых пластин для фотоэлектрических преобразователей
Выбраны оптимальные режимы плазмохимического травления торцов пластин в реакторе, разработанном в ИЯИ, который по производительности превосходит лучший зарубежный аналог при более высоком качестве обработки пластин....
Збережено в:
| Дата: | 2009 |
|---|---|
| Автори: | , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2009
|
| Назва видання: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52331 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Особенности плазмохимического травления торцов кремниевых пластин для фотоэлектрических преобразователей / О.А. Федорович, М.П. Кругленко, Б.П. Полозов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2009. — № 6. — С. 46-49. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-52331 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-523312013-12-30T03:09:21Z Особенности плазмохимического травления торцов кремниевых пластин для фотоэлектрических преобразователей Федорович, О.А. Кругленко, М.П. Полозов, Б.П. Технологические процессы и оборудование Выбраны оптимальные режимы плазмохимического травления торцов пластин в реакторе, разработанном в ИЯИ, который по производительности превосходит лучший зарубежный аналог при более высоком качестве обработки пластин. 2009 Article Особенности плазмохимического травления торцов кремниевых пластин для фотоэлектрических преобразователей / О.А. Федорович, М.П. Кругленко, Б.П. Полозов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2009. — № 6. — С. 46-49. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. 2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52331 ru Технология и конструирование в электронной аппаратуре Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| topic |
Технологические процессы и оборудование Технологические процессы и оборудование |
| spellingShingle |
Технологические процессы и оборудование Технологические процессы и оборудование Федорович, О.А. Кругленко, М.П. Полозов, Б.П. Особенности плазмохимического травления торцов кремниевых пластин для фотоэлектрических преобразователей Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description |
Выбраны оптимальные режимы плазмохимического травления торцов пластин в реакторе, разработанном в ИЯИ, который по производительности превосходит лучший зарубежный аналог при более высоком качестве обработки пластин. |
| format |
Article |
| author |
Федорович, О.А. Кругленко, М.П. Полозов, Б.П. |
| author_facet |
Федорович, О.А. Кругленко, М.П. Полозов, Б.П. |
| author_sort |
Федорович, О.А. |
| title |
Особенности плазмохимического травления торцов кремниевых пластин для фотоэлектрических преобразователей |
| title_short |
Особенности плазмохимического травления торцов кремниевых пластин для фотоэлектрических преобразователей |
| title_full |
Особенности плазмохимического травления торцов кремниевых пластин для фотоэлектрических преобразователей |
| title_fullStr |
Особенности плазмохимического травления торцов кремниевых пластин для фотоэлектрических преобразователей |
| title_full_unstemmed |
Особенности плазмохимического травления торцов кремниевых пластин для фотоэлектрических преобразователей |
| title_sort |
особенности плазмохимического травления торцов кремниевых пластин для фотоэлектрических преобразователей |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| publishDate |
2009 |
| topic_facet |
Технологические процессы и оборудование |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52331 |
| citation_txt |
Особенности плазмохимического травления торцов кремниевых пластин для фотоэлектрических преобразователей / О.А. Федорович, М.П. Кругленко, Б.П. Полозов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2009. — № 6. — С. 46-49. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. |
| series |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| work_keys_str_mv |
AT fedorovičoa osobennostiplazmohimičeskogotravleniâtorcovkremnievyhplastindlâfotoélektričeskihpreobrazovatelej AT kruglenkomp osobennostiplazmohimičeskogotravleniâtorcovkremnievyhplastindlâfotoélektričeskihpreobrazovatelej AT polozovbp osobennostiplazmohimičeskogotravleniâtorcovkremnievyhplastindlâfotoélektričeskihpreobrazovatelej |
| first_indexed |
2023-10-18T18:18:21Z |
| last_indexed |
2023-10-18T18:18:21Z |
| _version_ |
1796143854522466304 |