2025-02-23T19:15:20-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: Query fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-52331%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T19:15:20-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: => GET http://localhost:8983/solr/biblio/select?fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-52331%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T19:15:20-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: <= 200 OK
2025-02-23T19:15:20-05:00 DEBUG: Deserialized SOLR response
Особенности плазмохимического травления торцов кремниевых пластин для фотоэлектрических преобразователей

Особенности плазмохимического травления торцов кремниевых пластин для фотоэлектрических преобразователей

Выбраны оптимальные режимы плазмохимического травления торцов пластин в реакторе, разработанном в ИЯИ, который по производительности превосходит лучший зарубежный аналог при более высоком качестве обработки пластин....

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Main Authors: Федорович, О.А., Кругленко, М.П., Полозов, Б.П.
Format: Article
Language:Russian
Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2009
Series:Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Subjects:
Технологические процессы и оборудование
Online Access:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52331
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
id irk-123456789-52331
record_format dspace
spelling irk-123456789-523312013-12-30T03:09:21Z Особенности плазмохимического травления торцов кремниевых пластин для фотоэлектрических преобразователей Федорович, О.А. Кругленко, М.П. Полозов, Б.П. Технологические процессы и оборудование Выбраны оптимальные режимы плазмохимического травления торцов пластин в реакторе, разработанном в ИЯИ, который по производительности превосходит лучший зарубежный аналог при более высоком качестве обработки пластин. 2009 Article Особенности плазмохимического травления торцов кремниевых пластин для фотоэлектрических преобразователей / О.А. Федорович, М.П. Кругленко, Б.П. Полозов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2009. — № 6. — С. 46-49. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. 2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52331 ru Технология и конструирование в электронной аппаратуре Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language Russian
topic Технологические процессы и оборудование
Технологические процессы и оборудование
spellingShingle Технологические процессы и оборудование
Технологические процессы и оборудование
Федорович, О.А.
Кругленко, М.П.
Полозов, Б.П.
Особенности плазмохимического травления торцов кремниевых пластин для фотоэлектрических преобразователей
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
description Выбраны оптимальные режимы плазмохимического травления торцов пластин в реакторе, разработанном в ИЯИ, который по производительности превосходит лучший зарубежный аналог при более высоком качестве обработки пластин.
format Article
author Федорович, О.А.
Кругленко, М.П.
Полозов, Б.П.
author_facet Федорович, О.А.
Кругленко, М.П.
Полозов, Б.П.
author_sort Федорович, О.А.
title Особенности плазмохимического травления торцов кремниевых пластин для фотоэлектрических преобразователей
title_short Особенности плазмохимического травления торцов кремниевых пластин для фотоэлектрических преобразователей
title_full Особенности плазмохимического травления торцов кремниевых пластин для фотоэлектрических преобразователей
title_fullStr Особенности плазмохимического травления торцов кремниевых пластин для фотоэлектрических преобразователей
title_full_unstemmed Особенности плазмохимического травления торцов кремниевых пластин для фотоэлектрических преобразователей
title_sort особенности плазмохимического травления торцов кремниевых пластин для фотоэлектрических преобразователей
publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
publishDate 2009
topic_facet Технологические процессы и оборудование
url http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52331
citation_txt Особенности плазмохимического травления торцов кремниевых пластин для фотоэлектрических преобразователей / О.А. Федорович, М.П. Кругленко, Б.П. Полозов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2009. — № 6. — С. 46-49. — Бібліогр.: 9 назв. — рос.
series Технология и конструирование в электронной аппаратуре
work_keys_str_mv AT fedorovičoa osobennostiplazmohimičeskogotravleniâtorcovkremnievyhplastindlâfotoélektričeskihpreobrazovatelej
AT kruglenkomp osobennostiplazmohimičeskogotravleniâtorcovkremnievyhplastindlâfotoélektričeskihpreobrazovatelej
AT polozovbp osobennostiplazmohimičeskogotravleniâtorcovkremnievyhplastindlâfotoélektričeskihpreobrazovatelej
first_indexed 2023-10-18T18:18:21Z
last_indexed 2023-10-18T18:18:21Z
_version_ 1796143854522466304

Similar Items