2025-02-23T00:45:36-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: Query fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-53574%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T00:45:36-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: => GET http://localhost:8983/solr/biblio/select?fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-53574%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-23T00:45:36-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: <= 200 OK
2025-02-23T00:45:36-05:00 DEBUG: Deserialized SOLR response
Установка электрохимического профилирования для диагностирования эпитаксиальных структур GaAs

Установка электрохимического профилирования для диагностирования эпитаксиальных структур GaAs

Описана разработанная установка и методика электрохимического профилирования многослойных эпитаксиальных структур n-GaAs.

Saved in:
Bibliographic Details
Main Authors: Вакив, Н.М., Завербный, И.Р., Заячук, Д.М., Круковский, С.И., Мрыхин, И.О.
Format: Article
Language:Russian
Published: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2005
Series:Технология и конструирование в электронной аппаратуре
Subjects:
Новое технологическое оборудование для микроэлектроники
Online Access:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/53574
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!

Internet

http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/53574

Similar Items