Установка электрохимического профилирования для диагностирования эпитаксиальных структур GaAs
Описана разработанная установка и методика электрохимического профилирования многослойных эпитаксиальных структур n-GaAs.
Збережено в:
| Дата: | 2005 |
|---|---|
| Автори: | , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
2005
|
| Назва видання: | Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/53574 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Установка электрохимического профилирования для диагностирования эпитаксиальных структур GaAs / Н.М. Вакив, И.Р. Завербный, Д.М. Заячук, С.И. Круковский, И.О. Мрыхин // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 3. — С. 40-45. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-53574 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-535742014-01-23T03:10:13Z Установка электрохимического профилирования для диагностирования эпитаксиальных структур GaAs Вакив, Н.М. Завербный, И.Р. Заячук, Д.М. Круковский, С.И. Мрыхин, И.О. Новое технологическое оборудование для микроэлектроники Описана разработанная установка и методика электрохимического профилирования многослойных эпитаксиальных структур n-GaAs. 2005 Article Установка электрохимического профилирования для диагностирования эпитаксиальных структур GaAs / Н.М. Вакив, И.Р. Завербный, Д.М. Заячук, С.И. Круковский, И.О. Мрыхин // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 3. — С. 40-45. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. 2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/53574 ru Технология и конструирование в электронной аппаратуре Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| topic |
Новое технологическое оборудование для микроэлектроники Новое технологическое оборудование для микроэлектроники |
| spellingShingle |
Новое технологическое оборудование для микроэлектроники Новое технологическое оборудование для микроэлектроники Вакив, Н.М. Завербный, И.Р. Заячук, Д.М. Круковский, С.И. Мрыхин, И.О. Установка электрохимического профилирования для диагностирования эпитаксиальных структур GaAs Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| description |
Описана разработанная установка и методика электрохимического профилирования многослойных эпитаксиальных структур n-GaAs. |
| format |
Article |
| author |
Вакив, Н.М. Завербный, И.Р. Заячук, Д.М. Круковский, С.И. Мрыхин, И.О. |
| author_facet |
Вакив, Н.М. Завербный, И.Р. Заячук, Д.М. Круковский, С.И. Мрыхин, И.О. |
| author_sort |
Вакив, Н.М. |
| title |
Установка электрохимического профилирования для диагностирования эпитаксиальных структур GaAs |
| title_short |
Установка электрохимического профилирования для диагностирования эпитаксиальных структур GaAs |
| title_full |
Установка электрохимического профилирования для диагностирования эпитаксиальных структур GaAs |
| title_fullStr |
Установка электрохимического профилирования для диагностирования эпитаксиальных структур GaAs |
| title_full_unstemmed |
Установка электрохимического профилирования для диагностирования эпитаксиальных структур GaAs |
| title_sort |
установка электрохимического профилирования для диагностирования эпитаксиальных структур gaas |
| publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України |
| publishDate |
2005 |
| topic_facet |
Новое технологическое оборудование для микроэлектроники |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/53574 |
| citation_txt |
Установка электрохимического профилирования для диагностирования эпитаксиальных структур GaAs / Н.М. Вакив, И.Р. Завербный, Д.М. Заячук, С.И. Круковский, И.О. Мрыхин // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2005. — № 3. — С. 40-45. — Бібліогр.: 9 назв. — рос. |
| series |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре |
| work_keys_str_mv |
AT vakivnm ustanovkaélektrohimičeskogoprofilirovaniâdlâdiagnostirovaniâépitaksialʹnyhstrukturgaas AT zaverbnyjir ustanovkaélektrohimičeskogoprofilirovaniâdlâdiagnostirovaniâépitaksialʹnyhstrukturgaas AT zaâčukdm ustanovkaélektrohimičeskogoprofilirovaniâdlâdiagnostirovaniâépitaksialʹnyhstrukturgaas AT krukovskijsi ustanovkaélektrohimičeskogoprofilirovaniâdlâdiagnostirovaniâépitaksialʹnyhstrukturgaas AT mryhinio ustanovkaélektrohimičeskogoprofilirovaniâdlâdiagnostirovaniâépitaksialʹnyhstrukturgaas |
| first_indexed |
2023-10-18T18:21:03Z |
| last_indexed |
2023-10-18T18:21:03Z |
| _version_ |
1796143975269138432 |