Влияние азота на механические свойства тонких пленок системы Та—В—N

• Дата: 2009
• Автори: Дуб, С.Н., Гончаров, А.А., Петухов, В.В.
• Формат: Стаття
• Мова: Russian
• Опубліковано: Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України 2009
• Назва видання: Сверхтвердые материалы
• Теми: Получение, структура, свойства
• Онлайн доступ: http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/63380
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Цитувати: Влияние азота на механические свойства тонких пленок системы Та—В—N / С.Н. Дуб, А.А. Гончаров, В.В. Петухов // Сверхтвердые материалы. — 2009. — № 2. — С. 3-11. — Бібліогр.: 16 назв. — рос.

Получены аморфно-кристаллические тонкие пленки системы Та—В—N на стальной подложке ВЧ-магнетронным реактивным распылением мишени ТаВ₂ в газовой смеси азота и аргона. Исследовано влияние содержания азота в смеси на механические свойства пленок. Установлено, что формирование аморфно-кристаллической ст...