The flow density of atoms sputtered from a cathode of cylinder magnetron
The results of calculations of atom flows, sputtered from a cathode of special cylindrical magnetron sputtering system, presented. The atoms flow in cylinder magnetron will be larger with respect to planar magnetron due to the axial symmetry of the system. It is shown that deposition rate weakly dep...
Збережено в:
| Дата: | 2005 |
|---|---|
| Автори: | , , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | English |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2005
|
| Назва видання: | Вопросы атомной науки и техники |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/79777 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | The flow density of atoms sputtered from a cathode of cylinder magnetron / O.A. Panchenko, A.A. Goncharov, A.V. Demchishin, E.G. Kostin, S.N. Pavlov, B.V. Stetsenko // Вопросы атомной науки и техники. — 2005. — № 2. — С. 170-172. — Бібліогр.: 9 назв. — англ. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-79777 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-797772015-04-05T03:02:14Z The flow density of atoms sputtered from a cathode of cylinder magnetron Panchenko, O.A. Goncharov, A.A. Demchishin, A.V. Kostin, E.G. Pavlov, S.N. Stetsenko, B.V. Low temperature plasma and plasma technologies The results of calculations of atom flows, sputtered from a cathode of special cylindrical magnetron sputtering system, presented. The atoms flow in cylinder magnetron will be larger with respect to planar magnetron due to the axial symmetry of the system. It is shown that deposition rate weakly depends on the diameter of substrate. The atoms flow through the sidewall is calculated. The estimations of sputtered atoms concentration near cathode surface are done. Представлені результати розрахунків потоку атомів, що розпилюються з катоду магнетрону спеціальної циліндричної форми. Потік атомів в циліндричному магнетроні виявляється більшим, ніж у плоскому магнетроні, через аксіальну симетрію системи. Показано, що швидкість осадження атомів слабо залежить від діаметру підкладки. Розрахований потік атомів крізь торці катоду. Зроблені оцінки концентрації розпилених атомів поблизу поверхні катоду. Представлены результаты расчетов потока атомов, распыляемых с катода магнетрона специальной цилиндрической формы. Поток атомов в цилиндрическом магнетроне оказывается больше, чем в плоском магнетроне, из-за аксиальной симметрии системы. Показано, что скорость осаждения атомов слабо зависит от диаметра подложки. Рассчитан поток атомов через торцы катода. Сделаны оценки концентрации распыленных атомов вблизи поверхности катода. 2005 Article The flow density of atoms sputtered from a cathode of cylinder magnetron / O.A. Panchenko, A.A. Goncharov, A.V. Demchishin, E.G. Kostin, S.N. Pavlov, B.V. Stetsenko // Вопросы атомной науки и техники. — 2005. — № 2. — С. 170-172. — Бібліогр.: 9 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 52.30.-q http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/79777 en Вопросы атомной науки и техники Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
English |
| topic |
Low temperature plasma and plasma technologies Low temperature plasma and plasma technologies |
| spellingShingle |
Low temperature plasma and plasma technologies Low temperature plasma and plasma technologies Panchenko, O.A. Goncharov, A.A. Demchishin, A.V. Kostin, E.G. Pavlov, S.N. Stetsenko, B.V. The flow density of atoms sputtered from a cathode of cylinder magnetron Вопросы атомной науки и техники |
| description |
The results of calculations of atom flows, sputtered from a cathode of special cylindrical magnetron sputtering system, presented. The atoms flow in cylinder magnetron will be larger with respect to planar magnetron due to the axial symmetry of the system. It is shown that deposition rate weakly depends on the diameter of substrate. The atoms flow through the sidewall is calculated. The estimations of sputtered atoms concentration near cathode surface are done. |
| format |
Article |
| author |
Panchenko, O.A. Goncharov, A.A. Demchishin, A.V. Kostin, E.G. Pavlov, S.N. Stetsenko, B.V. |
| author_facet |
Panchenko, O.A. Goncharov, A.A. Demchishin, A.V. Kostin, E.G. Pavlov, S.N. Stetsenko, B.V. |
| author_sort |
Panchenko, O.A. |
| title |
The flow density of atoms sputtered from a cathode of cylinder magnetron |
| title_short |
The flow density of atoms sputtered from a cathode of cylinder magnetron |
| title_full |
The flow density of atoms sputtered from a cathode of cylinder magnetron |
| title_fullStr |
The flow density of atoms sputtered from a cathode of cylinder magnetron |
| title_full_unstemmed |
The flow density of atoms sputtered from a cathode of cylinder magnetron |
| title_sort |
flow density of atoms sputtered from a cathode of cylinder magnetron |
| publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| publishDate |
2005 |
| topic_facet |
Low temperature plasma and plasma technologies |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/79777 |
| citation_txt |
The flow density of atoms sputtered from a cathode of cylinder magnetron / O.A. Panchenko, A.A. Goncharov, A.V. Demchishin, E.G. Kostin, S.N. Pavlov, B.V. Stetsenko // Вопросы атомной науки и техники. — 2005. — № 2. — С. 170-172. — Бібліогр.: 9 назв. — англ. |
| series |
Вопросы атомной науки и техники |
| work_keys_str_mv |
AT panchenkooa theflowdensityofatomssputteredfromacathodeofcylindermagnetron AT goncharovaa theflowdensityofatomssputteredfromacathodeofcylindermagnetron AT demchishinav theflowdensityofatomssputteredfromacathodeofcylindermagnetron AT kostineg theflowdensityofatomssputteredfromacathodeofcylindermagnetron AT pavlovsn theflowdensityofatomssputteredfromacathodeofcylindermagnetron AT stetsenkobv theflowdensityofatomssputteredfromacathodeofcylindermagnetron AT panchenkooa flowdensityofatomssputteredfromacathodeofcylindermagnetron AT goncharovaa flowdensityofatomssputteredfromacathodeofcylindermagnetron AT demchishinav flowdensityofatomssputteredfromacathodeofcylindermagnetron AT kostineg flowdensityofatomssputteredfromacathodeofcylindermagnetron AT pavlovsn flowdensityofatomssputteredfromacathodeofcylindermagnetron AT stetsenkobv flowdensityofatomssputteredfromacathodeofcylindermagnetron |
| first_indexed |
2023-10-18T19:19:26Z |
| last_indexed |
2023-10-18T19:19:26Z |
| _version_ |
1796146606347649024 |