2025-02-22T16:01:08-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: Query fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-79946%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-22T16:01:08-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: => GET http://localhost:8983/solr/biblio/select?fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-79946%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-22T16:01:08-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: <= 200 OK
2025-02-22T16:01:08-05:00 DEBUG: Deserialized SOLR response

Создание многокомпонентных газовых смесей для ионно-плазменных технологий

Рассмотрен вопрос создания многокомпонентных газовых смесей (ГС), предназначенных для получения покрытий сложного состава в ионно-плазменных установках. Разработаны методы получения смесей газов, основанные на последовательной подаче порций газовых компонентов в смесительную камеру и обеспечивающие...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Main Author: Сысоев, Ю.А.
Format: Article
Language:Russian
Published: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2014
Series:Вопросы атомной науки и техники
Subjects:
Online Access:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/79946
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!