Создание многокомпонентных газовых смесей для ионно-плазменных технологий
Рассмотрен вопрос создания многокомпонентных газовых смесей (ГС), предназначенных для получения покрытий сложного состава в ионно-плазменных установках. Разработаны методы получения смесей газов, основанные на последовательной подаче порций газовых компонентов в смесительную камеру и обеспечивающие...
Збережено в:
| Дата: | 2014 |
|---|---|
| Автор: | |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2014
|
| Назва видання: | Вопросы атомной науки и техники |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/79946 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Создание многокомпонентных газовых смесей для ионно-плазменных технологий / Ю.А. Сысоев // Вопросы атомной науки и техники. — 2014. — № 2. — С. 137-142. — Бібліогр.: 12 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
irk-123456789-79946 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
irk-123456789-799462015-04-10T03:02:05Z Создание многокомпонентных газовых смесей для ионно-плазменных технологий Сысоев, Ю.А. Физика радиационных и ионно-плазменных технологий Рассмотрен вопрос создания многокомпонентных газовых смесей (ГС), предназначенных для получения покрытий сложного состава в ионно-плазменных установках. Разработаны методы получения смесей газов, основанные на последовательной подаче порций газовых компонентов в смесительную камеру и обеспечивающие заданный состав смеси с высокой точностью. Для реализации методов разработаны алгоритмы и на их основе микропроцессорная система управления созданного генератора газовых смесей. Разработанный генератор обеспечивает подготовку смесей из трех газов с возможностью изменения процентного содержания каждого газа в диапазоне 0…100% с шагом задания содержания компонента 1% и погрешностью не более 0,1% по каждому газу. Розглянуто питання створення багатокомпонентних газових сумішей (ГС), призначених для отримання покриттів в іонно-плазмових установках. Розроблені методи отримання ГС, засновані на послідовній подачі порцій газових компонентів у змішувальну камеру, що забезпечують заданий склад суміші з високою точністю. Для реалізації методів розроблені алгоритми і на їх основі створено мікропроцесорну систему керування створеного генератора сумішей газів. Розроблений генератор забезпечує підготовку сумішей з трьох газів з можливістю зміни процентного вмісту кожного газу в діапазоні 0…100% з кроком завдання змісту компонента 1% і похибкою не більше 0,1% з кожного газу. А considered question is multicomponent gas mixtures creation for production of complex composition coatings in ion-plasma technologies. The developed methods for producing gas mixtures are based on a serial supply of gas component portions into the mixing chamber which providing a predetermined mixture composition with high accuracy. For methods implementation has been developed algorithms and software for microprocessor control system of created gas mixtures generator. This generator provides training three gases mixture with changeability of each gas percentage in range from 0 to 100%, with working step of 1% component content and error isn't more 0.1% for each gas. 2014 Article Создание многокомпонентных газовых смесей для ионно-плазменных технологий / Ю.А. Сысоев // Вопросы атомной науки и техники. — 2014. — № 2. — С. 137-142. — Бібліогр.: 12 назв. — рос. 1562-6016 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/79946 537.311.33 ru Вопросы атомной науки и техники Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| topic |
Физика радиационных и ионно-плазменных технологий Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| spellingShingle |
Физика радиационных и ионно-плазменных технологий Физика радиационных и ионно-плазменных технологий Сысоев, Ю.А. Создание многокомпонентных газовых смесей для ионно-плазменных технологий Вопросы атомной науки и техники |
| description |
Рассмотрен вопрос создания многокомпонентных газовых смесей (ГС), предназначенных для получения покрытий сложного состава в ионно-плазменных установках. Разработаны методы получения смесей газов, основанные на последовательной подаче порций газовых компонентов в смесительную камеру и обеспечивающие заданный состав смеси с высокой точностью. Для реализации методов разработаны алгоритмы и на их основе микропроцессорная система управления созданного генератора газовых смесей. Разработанный генератор обеспечивает подготовку смесей из трех газов с возможностью изменения процентного содержания каждого газа в диапазоне 0…100% с шагом задания содержания компонента 1% и погрешностью не более 0,1% по каждому газу. |
| format |
Article |
| author |
Сысоев, Ю.А. |
| author_facet |
Сысоев, Ю.А. |
| author_sort |
Сысоев, Ю.А. |
| title |
Создание многокомпонентных газовых смесей для ионно-плазменных технологий |
| title_short |
Создание многокомпонентных газовых смесей для ионно-плазменных технологий |
| title_full |
Создание многокомпонентных газовых смесей для ионно-плазменных технологий |
| title_fullStr |
Создание многокомпонентных газовых смесей для ионно-плазменных технологий |
| title_full_unstemmed |
Создание многокомпонентных газовых смесей для ионно-плазменных технологий |
| title_sort |
создание многокомпонентных газовых смесей для ионно-плазменных технологий |
| publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| publishDate |
2014 |
| topic_facet |
Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| url |
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/79946 |
| citation_txt |
Создание многокомпонентных газовых смесей для ионно-плазменных технологий / Ю.А. Сысоев // Вопросы атомной науки и техники. — 2014. — № 2. — С. 137-142. — Бібліогр.: 12 назв. — рос. |
| series |
Вопросы атомной науки и техники |
| work_keys_str_mv |
AT sysoevûa sozdaniemnogokomponentnyhgazovyhsmesejdlâionnoplazmennyhtehnologij |
| first_indexed |
2023-10-18T19:19:51Z |
| last_indexed |
2023-10-18T19:19:51Z |
| _version_ |
1796146624007766016 |