Optimization of the collecting mirror location in the plasma source of extreme ultraviolet radiation

Optimization of the collecting mirror location in the plasma source of extreme ultraviolet radiation

The paper is devoted to searching the optimal location of first collecting mirror in the extreme ultraviolet radiation plasma sources. It is shown that the system efficiency can be increased by 1.5…2.5 times in the case of elliptical plasma radiation pattern and the optimal location of the first col...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Дата:2015
Автори: Borgun, Ie.V., Hrechko, Ya.O., Azarenkov, N.A., Dimitrova, V.D., Ryabchikov, D.L., Sereda, I.N., Hryhorenko, A.V., Tseluyko, A.F.
Формат: Стаття
Мова:English
Опубліковано: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2015
Назва видання:Вопросы атомной науки и техники
Теми:
Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
Онлайн доступ:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/82144
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Optimization of the collecting mirror location in the plasma source of extreme ultraviolet radiation / Ie.V. Borgun, Ya.O. Hrechko, N.A. Azarenkov1, V.D. Dimitrova, D.L. Ryabchikov1, I.N. Sereda, A.V. Hryhorenko, A.F. Tseluyko // Вопросы атомной науки и техники. — 2015. — № 1. — С. 174-176. — Бібліогр.: 2 назв. — англ.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id irk-123456789-82144
record_format dspace
spelling irk-123456789-821442015-05-26T03:02:13Z Optimization of the collecting mirror location in the plasma source of extreme ultraviolet radiation Borgun, Ie.V. Hrechko, Ya.O. Azarenkov, N.A. Dimitrova, V.D. Ryabchikov, D.L. Sereda, I.N. Hryhorenko, A.V. Tseluyko, A.F. Низкотемпературная плазма и плазменные технологии The paper is devoted to searching the optimal location of first collecting mirror in the extreme ultraviolet radiation plasma sources. It is shown that the system efficiency can be increased by 1.5…2.5 times in the case of elliptical plasma radiation pattern and the optimal location of the first collecting mirror. In this case the first collecting mirror should cover the plasma on lateral side. Работа посвящена поиску оптимального расположения первого собирающего зеркала в плазменных источниках экстремально ультрафиолетового излучения. Показано, что в случае эллиптической диаграммы направленности излучения плазмы и оптимального расположения первого собирающего зеркала можно в 1,5…2,5 раза повысить эффективность системы. В этом случае первое собирающее зеркало должно охватывать боковую поверхность плазмы. Роботу присвячено пошуку оптимального розташування першого збираючого дзеркала в плазмових джерелах екстремально ультрафіолетового випромінювання. Показано, що в разі еліптичної діаграми спрямованості випромінювання плазми та оптимального розташування першого збирального дзеркала можна в 1,5…2,5 рази підвищити ефективність системи. У цьому випадку перше збиральне дзеркало має охоплювати бокову поверхню плазми. 2015 Article Optimization of the collecting mirror location in the plasma source of extreme ultraviolet radiation / Ie.V. Borgun, Ya.O. Hrechko, N.A. Azarenkov1, V.D. Dimitrova, D.L. Ryabchikov1, I.N. Sereda, A.V. Hryhorenko, A.F. Tseluyko // Вопросы атомной науки и техники. — 2015. — № 1. — С. 174-176. — Бібліогр.: 2 назв. — англ. 1562-6016 PACS: 52.58.Lq, 52.59.Ye. http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/82144 en Вопросы атомной науки и техники Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language English
topic Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
spellingShingle Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
Borgun, Ie.V.
Hrechko, Ya.O.
Azarenkov, N.A.
Dimitrova, V.D.
Ryabchikov, D.L.
Sereda, I.N.
Hryhorenko, A.V.
Tseluyko, A.F.
Optimization of the collecting mirror location in the plasma source of extreme ultraviolet radiation
Вопросы атомной науки и техники
description The paper is devoted to searching the optimal location of first collecting mirror in the extreme ultraviolet radiation plasma sources. It is shown that the system efficiency can be increased by 1.5…2.5 times in the case of elliptical plasma radiation pattern and the optimal location of the first collecting mirror. In this case the first collecting mirror should cover the plasma on lateral side.
format Article
author Borgun, Ie.V.
Hrechko, Ya.O.
Azarenkov, N.A.
Dimitrova, V.D.
Ryabchikov, D.L.
Sereda, I.N.
Hryhorenko, A.V.
Tseluyko, A.F.
author_facet Borgun, Ie.V.
Hrechko, Ya.O.
Azarenkov, N.A.
Dimitrova, V.D.
Ryabchikov, D.L.
Sereda, I.N.
Hryhorenko, A.V.
Tseluyko, A.F.
author_sort Borgun, Ie.V.
title Optimization of the collecting mirror location in the plasma source of extreme ultraviolet radiation
title_short Optimization of the collecting mirror location in the plasma source of extreme ultraviolet radiation
title_full Optimization of the collecting mirror location in the plasma source of extreme ultraviolet radiation
title_fullStr Optimization of the collecting mirror location in the plasma source of extreme ultraviolet radiation
title_full_unstemmed Optimization of the collecting mirror location in the plasma source of extreme ultraviolet radiation
title_sort optimization of the collecting mirror location in the plasma source of extreme ultraviolet radiation
publisher Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
publishDate 2015
topic_facet Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
url http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/82144
citation_txt Optimization of the collecting mirror location in the plasma source of extreme ultraviolet radiation / Ie.V. Borgun, Ya.O. Hrechko, N.A. Azarenkov1, V.D. Dimitrova, D.L. Ryabchikov1, I.N. Sereda, A.V. Hryhorenko, A.F. Tseluyko // Вопросы атомной науки и техники. — 2015. — № 1. — С. 174-176. — Бібліогр.: 2 назв. — англ.
series Вопросы атомной науки и техники
work_keys_str_mv AT borguniev optimizationofthecollectingmirrorlocationintheplasmasourceofextremeultravioletradiation
AT hrechkoyao optimizationofthecollectingmirrorlocationintheplasmasourceofextremeultravioletradiation
AT azarenkovna optimizationofthecollectingmirrorlocationintheplasmasourceofextremeultravioletradiation
AT dimitrovavd optimizationofthecollectingmirrorlocationintheplasmasourceofextremeultravioletradiation
AT ryabchikovdl optimizationofthecollectingmirrorlocationintheplasmasourceofextremeultravioletradiation
AT seredain optimizationofthecollectingmirrorlocationintheplasmasourceofextremeultravioletradiation
AT hryhorenkoav optimizationofthecollectingmirrorlocationintheplasmasourceofextremeultravioletradiation
AT tseluykoaf optimizationofthecollectingmirrorlocationintheplasmasourceofextremeultravioletradiation
first_indexed 2023-10-18T19:24:38Z
last_indexed 2023-10-18T19:24:38Z
_version_ 1796146847899713536

Схожі ресурси