Increasing of mass transfer efficiency at magnetron deposition of metal coating
The results of technological tests of longitudinal planar magnetron sputtering system (MSS) with a magnetically isolated anode working in pulse-modes with additional pulse heavy-current high-voltage supply source are presented. It is shown that efficiency of mass transfer in the pulse mode overcoati...
Збережено в:
| Дата: | 2015 |
|---|---|
| Автори: | , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | English |
| Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2015
|
| Назва видання: | Вопросы атомной науки и техники |
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/82146 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Increasing of mass transfer efficiency at magnetron deposition of metal coating / A.G. Chunadra, K.N. Sereda, I.K. Tarasov, A.A. Bizyukov // Вопросы атомной науки и техники. — 2015. — № 1. — С. 181-183. — Бібліогр.: 4 назв. — англ. |