Vacuum-arc equipment for ion-plasma deposition of coatings
A brief overview of NSC KIPT developments intended for creating the process equipment for vacuum-arc deposition of coatings is presented. The equipment devised is to be adapted to large-scale manufacture conditions and to be most suitable for commercial production. Consideration is given to the deve...
Збережено в:
Дата: | 2000 |
---|---|
Автори: | , |
Формат: | Стаття |
Мова: | English |
Опубліковано: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2000
|
Назва видання: | Вопросы атомной науки и техники |
Теми: | |
Онлайн доступ: | http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/82381 |
Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
Цитувати: | Vacuum-arc equipment for ion-plasma deposition of coatings / I.I. Aksenov, V.A. Belous // Вопросы атомной науки и техники. — 2000. — № 3. — С. 156-158. — Бібліогр.: 9 назв. — англ. |