2025-02-22T17:02:50-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: Query fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-82461%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-22T17:02:50-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: => GET http://localhost:8983/solr/biblio/select?fl=%2A&wt=json&json.nl=arrarr&q=id%3A%22irk-123456789-82461%22&qt=morelikethis&rows=5
2025-02-22T17:02:50-05:00 DEBUG: VuFindSearch\Backend\Solr\Connector: <= 200 OK
2025-02-22T17:02:50-05:00 DEBUG: Deserialized SOLR response
Генерация и формирование пучков металлических ионов на высокодозном ионном имплантере

Генерация и формирование пучков металлических ионов на высокодозном ионном имплантере

Разработана установка для высокодозной имплантации металлических ионов в диапазоне энергий 20…500 кэВ. Использован газомагнетронный источник ионов металлов распылительного типа. Проведено компьютерное моделирование процессов экстракции ионного пучка из плазменной границы источника ионов и его трансп...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Main Authors: Батурин, В.А., Еремин, С.А., Пустовойтов, С.А., Литвинов, П.А., Карпенко, А.Ю., Мирошниченко, В.И.
Format: Article
Language:Russian
Published: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2015
Series:Вопросы атомной науки и техники
Subjects:
Диагностика и методы исследований
Online Access:http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/82461
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!

Internet

http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/82461

Similar Items