Генерация и формирование пучков металлических ионов на высокодозном ионном имплантере

Разработана установка для высокодозной имплантации металлических ионов в диапазоне энергий 20…500 кэВ. Использован газомагнетронный источник ионов металлов распылительного типа. Проведено компьютерное моделирование процессов экстракции ионного пучка из плазменной границы источника ионов и его трансп...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Дата:	2015
Автори:	Батурин, В.А., Еремин, С.А., Пустовойтов, С.А., Литвинов, П.А., Карпенко, А.Ю., Мирошниченко, В.И.
Формат:	Стаття
Мова:	Russian
Опубліковано:	Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2015
Назва видання:	Вопросы атомной науки и техники
Теми:	Диагностика и методы исследований
Онлайн доступ:	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/82461
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Генерация и формирование пучков металлических ионов на высокодозном ионном имплантере / В.А. Батурин, С.А. Еремин, С.А. Пустовойтов, П.А. Литвинов, А.Ю. Карпенко, В.И. Мирошниченко // Вопросы атомной науки и техники. — 2015. — № 2. — С. 204-209. — Бібліогр.: 10 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

id	irk-123456789-82461
record_format	dspace
spelling	irk-123456789-824612015-05-30T03:02:21Z Генерация и формирование пучков металлических ионов на высокодозном ионном имплантере Батурин, В.А. Еремин, С.А. Пустовойтов, С.А. Литвинов, П.А. Карпенко, А.Ю. Мирошниченко, В.И. Диагностика и методы исследований Разработана установка для высокодозной имплантации металлических ионов в диапазоне энергий 20…500 кэВ. Использован газомагнетронный источник ионов металлов распылительного типа. Проведено компьютерное моделирование процессов экстракции ионного пучка из плазменной границы источника ионов и его транспортировки в ионно-оптической системе имплантера. Получены масс-спектры пучков ионов. Розроблено установку для високодозної імплантації металевих іонів у діапазоні енергій 20…500 кеВ. Використанo газомагнетронне джерело іонів металів розпилювального типу. Проведено комп’ютерне моделювання процесів екстракції іонного пучка з плазмової границі джерела іонів та транспортування пучка в іонно-оптичній системі імплантера. Отримано мас-спектри пучків іонів. Installation for high-dose implantation of metal ions with energies of 20…500 keV was designed. Gas magnetron metal ion source of sputter type was used. Computer simulation of processes of ion beam extraction from plasma boundary of the ion source and beam transporting in the ion-optic system of the implanter was made. Mass-spectra of ion beams were obtained. 2015 Article Генерация и формирование пучков металлических ионов на высокодозном ионном имплантере / В.А. Батурин, С.А. Еремин, С.А. Пустовойтов, П.А. Литвинов, А.Ю. Карпенко, В.И. Мирошниченко // Вопросы атомной науки и техники. — 2015. — № 2. — С. 204-209. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. 1562-6016 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/82461 537.534.3:621.384.6 ru Вопросы атомной науки и техники Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
institution	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection	DSpace DC
language	Russian
topic	Диагностика и методы исследований Диагностика и методы исследований
spellingShingle	Диагностика и методы исследований Диагностика и методы исследований Батурин, В.А. Еремин, С.А. Пустовойтов, С.А. Литвинов, П.А. Карпенко, А.Ю. Мирошниченко, В.И. Генерация и формирование пучков металлических ионов на высокодозном ионном имплантере Вопросы атомной науки и техники
description	Разработана установка для высокодозной имплантации металлических ионов в диапазоне энергий 20…500 кэВ. Использован газомагнетронный источник ионов металлов распылительного типа. Проведено компьютерное моделирование процессов экстракции ионного пучка из плазменной границы источника ионов и его транспортировки в ионно-оптической системе имплантера. Получены масс-спектры пучков ионов.
format	Article
author	Батурин, В.А. Еремин, С.А. Пустовойтов, С.А. Литвинов, П.А. Карпенко, А.Ю. Мирошниченко, В.И.
author_facet	Батурин, В.А. Еремин, С.А. Пустовойтов, С.А. Литвинов, П.А. Карпенко, А.Ю. Мирошниченко, В.И.
author_sort	Батурин, В.А.
title	Генерация и формирование пучков металлических ионов на высокодозном ионном имплантере
title_short	Генерация и формирование пучков металлических ионов на высокодозном ионном имплантере
title_full	Генерация и формирование пучков металлических ионов на высокодозном ионном имплантере
title_fullStr	Генерация и формирование пучков металлических ионов на высокодозном ионном имплантере
title_full_unstemmed	Генерация и формирование пучков металлических ионов на высокодозном ионном имплантере
title_sort	генерация и формирование пучков металлических ионов на высокодозном ионном имплантере
publisher	Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
publishDate	2015
topic_facet	Диагностика и методы исследований
url	http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/82461
citation_txt	Генерация и формирование пучков металлических ионов на высокодозном ионном имплантере / В.А. Батурин, С.А. Еремин, С.А. Пустовойтов, П.А. Литвинов, А.Ю. Карпенко, В.И. Мирошниченко // Вопросы атомной науки и техники. — 2015. — № 2. — С. 204-209. — Бібліогр.: 10 назв. — рос.
series	Вопросы атомной науки и техники
work_keys_str_mv	AT baturinva generaciâiformirovaniepučkovmetalličeskihionovnavysokodoznomionnomimplantere AT ereminsa generaciâiformirovaniepučkovmetalličeskihionovnavysokodoznomionnomimplantere AT pustovojtovsa generaciâiformirovaniepučkovmetalličeskihionovnavysokodoznomionnomimplantere AT litvinovpa generaciâiformirovaniepučkovmetalličeskihionovnavysokodoznomionnomimplantere AT karpenkoaû generaciâiformirovaniepučkovmetalličeskihionovnavysokodoznomionnomimplantere AT mirošničenkovi generaciâiformirovaniepučkovmetalličeskihionovnavysokodoznomionnomimplantere
first_indexed	2024-03-30T08:19:03Z
last_indexed	2024-03-30T08:19:03Z
_version_	1796146879337070592

Генерация и формирование пучков металлических ионов на высокодозном ионном имплантере

Репозитарії

Схожі ресурси