Высокопроизводительная вакуумно-дуговая установка для осаждения покрытий

• Published in: Вопросы атомной науки и техники
• Date: 2008
• Main Authors: Аксёнов, И.И., Белоус, В.А.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України 2008
• Subjects: Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/111085
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Высокопроизводительная вакуумно-дуговая установка для осаждения покрытий / И.И. Аксёнов, В.А. Белоус // Вопросы атомной науки и техники. — 2008. — № 2. — С. 108-118. — Бібліогр.: 5 назв. — рос.

Описана установка, в которой применен ряд технических решений, нетрадиционных для вакуумно- дуговых машин аналогичного назначения – камера колпачного типа, позволяющая применить промывку ее внутренних поверхностей сухим горячим азотом или аргоном при загрузке и выгрузке изделий со стороны днища; система автоматической выгрузки-загрузки изделий; экранировка внутренних стенок камеры прогреваемыми до высоких температур панелями; усовершенствованные вакуумно-дуговые источники плазмы, в том числе источник с плазменным фильтром; однотрансформаторный четырехканальный источник питания дуги в источниках плазмы; система колебательных LC контуров для подавления микродуг на поверхностях обрабатываемых изделий; автоматическое управление технологическим циклом, включая процессы откачки камеры, выгрузки и загрузки изделий, весь процесс ионно-плазменной обработки загруженных изделий. Перечисленный комплекс технических решений обусловил значительные преимущества установки перед другим технологическим оборудованием аналогичного назначения. Уникальность и новизна установки сохранились до настоящего времени, спустя два десятилетия после её создания. Описано установку, в якій застосовано ряд технічних рішень нетрадиційних для вакуумно-дугового обладнання аналогічного призначення: камера ковпакового типу, яка дозволяє здійснювати її промивку сухим гарячим азотом або аргоном; система автоматизованого завантаження – розвантаження камери виробами, що підлягають обробці; екранування внутрішньої поверхні камери панелями, що нагріваються до високих температур; удосконалені вакуумнодугові плазмові джерела, серед яких одне оснащене магнітним фільтром; однотрансформаторне чотириканальне джерело живлення дугових розрядів; LC коливальні контури для запобігання появи розвинених катодних плям на оброблюваних виробах; система автоматичного керування технологічним процесом. Застосування ряду зазначених технічних рішень обумовили унікальність і новизну установки, які збереглися до теперішнього часу. A number of progressive technical solutions are used in the «Bulat-9» machine designed for vacuum arc coating deposition. The features of the machine are: a dome shaped working chamber that allows to "wash" its inner surfaces with hot nitrogen or argon gas; a system of automatic loading/unloading of articles to be treated into the chamber through its bottom; shielding of the inner surfaces of the chamber by heatable panels; improved vacuum arc plasma sources including filtered one; four ported power supply for the vacuum arc discharges; LC oscillatory circuits suppressing microarcs on the substrate; the system of automatic control of a working process. The said technical features cause the apparatus originality and novelty preserved up to-day.