Дифракційний контроль мікрорельєфу оптичних дисків
Досліджено дифракційні характеристики мікрорельєфу оптичних дисків з різним профілем пітів. Отримано калібрувальні криві дифракції для поляризованого лазерного випромінювання з метою визначення оптичних параметрів мікрорельєфу дисків. Розраховано дифракційні властивості багатошарових дискових структ...
Saved in:
| Published in: | Реєстрація, зберігання і обробка даних |
|---|---|
| Date: | 2016 |
| Main Authors: | , |
| Format: | Article |
| Language: | Ukrainian |
| Published: |
Інститут проблем реєстрації інформації НАН України
2016
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/131617 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Дифракційний контроль мікрорельєфу оптичних дисків / Є.Є. Антонов, О.В. Шиховець // Реєстрація, зберігання і обробка даних. — 2016. — Т. 18, № 3. — С. 39-53. — Бібліогр.: 10 назв. — укр. |