Дифракційний контроль мікрорельєфу оптичних дисків

Досліджено дифракційні характеристики мікрорельєфу оптичних дисків з різним профілем пітів. Отримано калібрувальні криві дифракції для поляризованого лазерного випромінювання з метою визначення оптичних параметрів мікрорельєфу дисків. Розраховано дифракційні властивості багатошарових дискових структ...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :Реєстрація, зберігання і обробка даних
Дата:2016
Автори: Антонов, Є.Є., Шиховець, О.В.
Формат: Стаття
Мова:Ukrainian
Опубліковано: Інститут проблем реєстрації інформації НАН України 2016
Теми:
Онлайн доступ:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/131617
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Дифракційний контроль мікрорельєфу оптичних дисків / Є.Є. Антонов, О.В. Шиховець // Реєстрація, зберігання і обробка даних. — 2016. — Т. 18, № 3. — С. 39-53. — Бібліогр.: 10 назв. — укр.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine