Дифракційний контроль мікрорельєфу оптичних дисків

• Veröffentlicht in: Реєстрація, зберігання і обробка даних
• Datum: 2016
• Hauptverfasser: Антонов, Є.Є., Шиховець, О.В.
• Format: Artikel
• Sprache: Ukrainian
• Veröffentlicht: Інститут проблем реєстрації інформації НАН України 2016
• Schlagworte: Технічні засоби отримання і обробки даних
• Online Zugang: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/131617
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Zitieren: Дифракційний контроль мікрорельєфу оптичних дисків / Є.Є. Антонов, О.В. Шиховець // Реєстрація, зберігання і обробка даних. — 2016. — Т. 18, № 3. — С. 39-53. — Бібліогр.: 10 назв. — укр.

Досліджено дифракційні характеристики мікрорельєфу оптичних дисків з різним профілем пітів. Отримано калібрувальні криві дифракції для поляризованого лазерного випромінювання з метою визначення оптичних параметрів мікрорельєфу дисків. Розраховано дифракційні властивості багатошарових дискових структ...