Мониторинг точности формы плоских поверхностей в процессе полирования деталей оптики и микроэлектроники
Показана возможность in-process мониторинга формы поверхностей оптических деталей непосредственно в процессе полирования с использованием технологии конфокальной хроматической визуализации. Установлено, что существует линейная зависимость между отклонением формы сигнала от прямоугольной и изменением...
Saved in:
| Date: | 2017 |
|---|---|
| Main Authors: | , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України
2017
|
| Series: | Сверхтвердые материалы |
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/160147 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Мониторинг точности формы плоских поверхностей в процессе полирования деталей оптики и микроэлектроники / Ю.Д. Филатов, В.И. Сидорко, С.В. Ковалев, А.Ю. Филатов, Г. Монтей // Сверхтвердые материалы. — 2017. — № 4. — С. 80-87. — Бібліогр.: 17 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-160147 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| fulltext |
|
| spelling |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-1601472025-02-09T10:42:45Z Мониторинг точности формы плоских поверхностей в процессе полирования деталей оптики и микроэлектроники In-process monitoring of shape accuracy of flat surfaces of optical and microelectronic components in polishing Филатов, Ю.Д. Сидорко, В.И. Ковалев, С.В. Филатов, А.Ю. Монтей, Г. Исследование процессов обработки Показана возможность in-process мониторинга формы поверхностей оптических деталей непосредственно в процессе полирования с использованием технологии конфокальной хроматической визуализации. Установлено, что существует линейная зависимость между отклонением формы сигнала от прямоугольной и изменением формы обрабатываемой поверхности. Показано можливість in-process моніторингу форми поверхонь оптичних деталей безпосередньо в процесі полірування з використанням технології конфокальної хроматичної візуалізації. Встановлено, що існує лінійна залежність між відхиленням форми сигналу від прямокутної та зміною форми оброблюваної поверхні. The possibility of in-process monitoring form surfaces of optical components directly in the process of polishing using a chromatic confocal imaging technology. It is found that a linear relationship exists between the deviation of form signal from the rectangular waveform and change of shape the machined surface. 2017 Article Мониторинг точности формы плоских поверхностей в процессе полирования деталей оптики и микроэлектроники / Ю.Д. Филатов, В.И. Сидорко, С.В. Ковалев, А.Ю. Филатов, Г. Монтей // Сверхтвердые материалы. — 2017. — № 4. — С. 80-87. — Бібліогр.: 17 назв. — рос. 0203-3119 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/160147 621.923 ru Сверхтвердые материалы application/pdf Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| topic |
Исследование процессов обработки Исследование процессов обработки |
| spellingShingle |
Исследование процессов обработки Исследование процессов обработки Филатов, Ю.Д. Сидорко, В.И. Ковалев, С.В. Филатов, А.Ю. Монтей, Г. Мониторинг точности формы плоских поверхностей в процессе полирования деталей оптики и микроэлектроники Сверхтвердые материалы |
| description |
Показана возможность in-process мониторинга формы поверхностей оптических деталей непосредственно в процессе полирования с использованием технологии конфокальной хроматической визуализации. Установлено, что существует линейная зависимость между отклонением формы сигнала от прямоугольной и изменением формы обрабатываемой поверхности. |
| format |
Article |
| author |
Филатов, Ю.Д. Сидорко, В.И. Ковалев, С.В. Филатов, А.Ю. Монтей, Г. |
| author_facet |
Филатов, Ю.Д. Сидорко, В.И. Ковалев, С.В. Филатов, А.Ю. Монтей, Г. |
| author_sort |
Филатов, Ю.Д. |
| title |
Мониторинг точности формы плоских поверхностей в процессе полирования деталей оптики и микроэлектроники |
| title_short |
Мониторинг точности формы плоских поверхностей в процессе полирования деталей оптики и микроэлектроники |
| title_full |
Мониторинг точности формы плоских поверхностей в процессе полирования деталей оптики и микроэлектроники |
| title_fullStr |
Мониторинг точности формы плоских поверхностей в процессе полирования деталей оптики и микроэлектроники |
| title_full_unstemmed |
Мониторинг точности формы плоских поверхностей в процессе полирования деталей оптики и микроэлектроники |
| title_sort |
мониторинг точности формы плоских поверхностей в процессе полирования деталей оптики и микроэлектроники |
| publisher |
Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України |
| publishDate |
2017 |
| topic_facet |
Исследование процессов обработки |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/160147 |
| citation_txt |
Мониторинг точности формы плоских поверхностей в процессе полирования деталей оптики и микроэлектроники / Ю.Д. Филатов, В.И. Сидорко, С.В. Ковалев, А.Ю. Филатов, Г. Монтей // Сверхтвердые материалы. — 2017. — № 4. — С. 80-87. — Бібліогр.: 17 назв. — рос. |
| series |
Сверхтвердые материалы |
| work_keys_str_mv |
AT filatovûd monitoringtočnostiformyploskihpoverhnostejvprocessepolirovaniâdetalejoptikiimikroélektroniki AT sidorkovi monitoringtočnostiformyploskihpoverhnostejvprocessepolirovaniâdetalejoptikiimikroélektroniki AT kovalevsv monitoringtočnostiformyploskihpoverhnostejvprocessepolirovaniâdetalejoptikiimikroélektroniki AT filatovaû monitoringtočnostiformyploskihpoverhnostejvprocessepolirovaniâdetalejoptikiimikroélektroniki AT montejg monitoringtočnostiformyploskihpoverhnostejvprocessepolirovaniâdetalejoptikiimikroélektroniki AT filatovûd inprocessmonitoringofshapeaccuracyofflatsurfacesofopticalandmicroelectroniccomponentsinpolishing AT sidorkovi inprocessmonitoringofshapeaccuracyofflatsurfacesofopticalandmicroelectroniccomponentsinpolishing AT kovalevsv inprocessmonitoringofshapeaccuracyofflatsurfacesofopticalandmicroelectroniccomponentsinpolishing AT filatovaû inprocessmonitoringofshapeaccuracyofflatsurfacesofopticalandmicroelectroniccomponentsinpolishing AT montejg inprocessmonitoringofshapeaccuracyofflatsurfacesofopticalandmicroelectroniccomponentsinpolishing |
| first_indexed |
2025-11-25T20:44:35Z |
| last_indexed |
2025-11-25T20:44:35Z |
| _version_ |
1849796565435154432 |