Анализ методов получения наноразмерных рельефных структур на поверхности носителей информации
Представлены результаты исследований процессов получения наноразмерных рельефных структур с использованием методов неорганической лазерной фотолитографии. Показана перспективность применения неорганических фоторезистов на основе халькогенидных стеклообразных полупроводников для формирования рельефны...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Реєстрація, зберігання і обробка даних |
|---|---|
| Дата: | 2010 |
| Автори: | , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Інститут проблем реєстрації інформації НАН України
2010
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/50430 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Анализ методов получения наноразмерных рельефных структур на поверхности носителей информации / А.А. Крючин, С.А. Костюкевич // Реєстрація, зберігання і обробка даних. — 2010. — Т. 12, № 1. — С. 3-11. — Бібліогр.: 24 назв. — pос. |