Анализ методов получения наноразмерных рельефных структур на поверхности носителей информации

• Veröffentlicht in: Реєстрація, зберігання і обробка даних
• Datum: 2010
• Hauptverfasser: Крючин, А.А., Костюкевич, С.А.
• Format: Artikel
• Sprache: Russian
• Veröffentlicht: Інститут проблем реєстрації інформації НАН України 2010
• Schlagworte: Фізичні основи, принципи та методи реєстрації даних
• Online Zugang: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/50430
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Zitieren: Анализ методов получения наноразмерных рельефных структур на поверхности носителей информации / А.А. Крючин, С.А. Костюкевич // Реєстрація, зберігання і обробка даних. — 2010. — Т. 12, № 1. — С. 3-11. — Бібліогр.: 24 назв. — pос.

Представлены результаты исследований процессов получения наноразмерных рельефных структур с использованием методов неорганической лазерной фотолитографии. Показана перспективность применения неорганических фоторезистов на основе халькогенидных стеклообразных полупроводников для формирования рельефны...