Анализ методов изготовления оптоволоконных ближнеполевых зондов для систем сверхплотной записи информации
Рассмотрены методы изготовления оптоволоконных ближнеполевых зондов: механический метод нагревания и растягивания, методы химического травления, метод формирования нанослепка и комбинированные методы. Рассмотрен метод ионно-лучевого фрезерования для формирования плоскости апертуры выходного отверсти...
Saved in:
| Published in: | Реєстрація, зберігання і обробка даних |
|---|---|
| Date: | 2005 |
| Main Author: | |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут проблем реєстрації інформації НАН України
2005
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/50784 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Анализ методов изготовления оптоволоконных ближнеполевых зондов для систем сверхплотной записи информации / Е.Е. Голдаевич // Реєстрація, зберігання і оброб. даних. — 2005. — Т. 7, № 4. — С. 14-20. — Бібліогр.: 6 назв. — pос. |