Анализ методов изготовления оптоволоконных ближнеполевых зондов для систем сверхплотной записи информации

• Veröffentlicht in: Реєстрація, зберігання і обробка даних
• Datum: 2005
• 1. Verfasser: Голдаевич, Е.Е.
• Format: Artikel
• Sprache: Russian
• Veröffentlicht: Інститут проблем реєстрації інформації НАН України 2005
• Schlagworte: Фізичні основи, принципи та методи реєстрації даних
• Online Zugang: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/50784
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Zitieren: Анализ методов изготовления оптоволоконных ближнеполевых зондов для систем сверхплотной записи информации / Е.Е. Голдаевич // Реєстрація, зберігання і оброб. даних. — 2005. — Т. 7, № 4. — С. 14-20. — Бібліогр.: 6 назв. — pос.

Рассмотрены методы изготовления оптоволоконных ближнеполевых зондов: механический метод нагревания и растягивания, методы химического травления, метод формирования нанослепка и комбинированные методы. Рассмотрен метод ионно-лучевого фрезерования для формирования плоскости апертуры выходного отверстия острия оптоволоконного зонда. The following methods for near-field optical fiber probes fabrication as a mechanical heatingpulling method, chemical etching methods, photoplastic near-field optical probe replication from nanomould fabrication method, and combined methods are considered. The focused ion-beam milling method for optical fiber probe tapered tip aperture forming is considered.