Методы удаления полимерных загрязнений, вызванных плазмохимическим травлением

• Datum: 2003
• Hauptverfasser: Иванчиков, А.Э., Кисель, А.М., Медведева, А.Б., Плебанович, В.И., Пономарь, В.Н., Шикуло, В.Е.
• Format: Artikel
• Sprache: Russian
• Veröffentlicht: Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України 2003
• Schriftenreihe: Технология и конструирование в электронной аппаратуре
• Schlagworte: Технология производства
• Online Zugang: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/70699
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Zitieren: Методы удаления полимерных загрязнений, вызванных плазмохимическим травлением / А.Э. Иванчиков, А.М. Кисель, А.Б. Медведева, В.И. Плебанович, В.Н. Пономарь, В.Е. Шикуло // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2003. — № 5. — С. 46-60. — Бібліогр.: 3 назв. — рос.

Рассмотрено формирование малоразмерных контактных окон методом плазмохимического травления и основные факторы образования полимерных остатков после травления. Изучен состав полимерных остатков и механизм их удаления химическими методами с использованием растворов PRX. Проведена косвенная оценка (по разбросу толщины диоксида кремния) термического метода удаления полимерных остатков, реализованного на операции "оплавление контактов".