Оптическая запись микро- и наноразмерных рельефных структур на неорганических резистах Ge-Se

• Published in: Реєстрація, зберігання і обробка даних
• Date: 2013
• Main Authors: Индутный, И.З., Крючин, А.А., Бородин, Ю.А., Данько, В.А., Луканюк, М.В., Минько, В.И., Шепелявый, П.Е., Гера, Э.В., Рубиш, В.М.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Інститут проблем реєстрації інформації НАН України 2013
• Subjects: Фізичні основи, принципи та методи реєстрації даних
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/87082
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Оптическая запись микро- и наноразмерных рельефных структур на неорганических резистах Ge-Se / И.З. Индутный, А.А. Крючин, Ю.А. Бородин, В.А. Данько, М.В. Луканюк, В.И. Минько, П.Е. Шепелявый, Э.В. Гера, В.М. Рубиш // Реєстрація, зберігання і обробка даних. — 2013. — Т. 15, № 4. — С. 3-12. — Бібліогр.: 19 назв. — рос.

Представлены результаты экспериментальных исследований по записи микрорельефных структур сфокусированным лазерным излучением с длиной волны 405 нм на пленках неорганических фоторезистов системы Ge - Se. Показано, что микрорельефные структуры глубиной 100 нм могут быть получены на неорганических фото...