Оптическая запись микро- и наноразмерных рельефных структур на неорганических резистах Ge-Se
Представлены результаты экспериментальных исследований по записи микрорельефных структур сфокусированным лазерным излучением с длиной волны 405 нм на пленках неорганических фоторезистов системы Ge - Se. Показано, что микрорельефные структуры глубиной 100 нм могут быть получены на неорганических фото...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Реєстрація, зберігання і обробка даних |
|---|---|
| Datum: | 2013 |
| Hauptverfasser: | , , , , , , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russisch |
| Veröffentlicht: |
Інститут проблем реєстрації інформації НАН України
2013
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/87082 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Оптическая запись микро- и наноразмерных рельефных структур на неорганических резистах Ge-Se / И.З. Индутный, А.А. Крючин, Ю.А. Бородин, В.А. Данько, М.В. Луканюк, В.И. Минько, П.Е. Шепелявый, Э.В. Гера, В.М. Рубиш // Реєстрація, зберігання і обробка даних. — 2013. — Т. 15, № 4. — С. 3-12. — Бібліогр.: 19 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862713841847107584 |
|---|---|
| author | Индутный, И.З. Крючин, А.А. Бородин, Ю.А. Данько, В.А. Луканюк, М.В. Минько, В.И. Шепелявый, П.Е. Гера, Э.В. Рубиш, В.М. |
| author_facet | Индутный, И.З. Крючин, А.А. Бородин, Ю.А. Данько, В.А. Луканюк, М.В. Минько, В.И. Шепелявый, П.Е. Гера, Э.В. Рубиш, В.М. |
| citation_txt | Оптическая запись микро- и наноразмерных рельефных структур на неорганических резистах Ge-Se / И.З. Индутный, А.А. Крючин, Ю.А. Бородин, В.А. Данько, М.В. Луканюк, В.И. Минько, П.Е. Шепелявый, Э.В. Гера, В.М. Рубиш // Реєстрація, зберігання і обробка даних. — 2013. — Т. 15, № 4. — С. 3-12. — Бібліогр.: 19 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Реєстрація, зберігання і обробка даних |
| description | Представлены результаты экспериментальных исследований по записи микрорельефных структур сфокусированным лазерным излучением с длиной волны 405 нм на пленках неорганических фоторезистов системы Ge - Se. Показано, что микрорельефные структуры глубиной 100 нм могут быть получены на неорганических фоторезистах состава GeSe₃. Увеличение содержания германия (исследовался состав GeSe₂) не позволяет получать микрорельефные структуры с глубиной рельефа, необходимой для изготовления дисков-оригиналов, используемых в производстве DVD и BD компакт-дисков. Пленки с высоким содержанием Se (GeSe₈) характеризуются наличием кристаллических включений и не могут быть использованы для получения микрорельефных структур при записи информации на диски-оригиналы.
The results of experimental studies on recording of micro-relief structures using a focused laser radiation with a wavelength of 405 nm to photo-resist films of inorganic system Ge-Se have been presented. It is shown that the micro-relief structures having depth of 100 nm can be obtained on the inorganic photo-resists of GeSe₃. Increase of the germanium content (when studied composition GeSe₂) did not allow getting the micro-relief structures with depth required for the manufacture of master disks used in the manufacturing of DVD and BD disks. The films with a high content of Se (GeSe₈) are characterized by the presence of crystalline inclusions, and can not be applied for the micro-relief structures for recording information on disks-originals.
|
| first_indexed | 2025-12-07T17:46:33Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-87082 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1560-9189 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T17:46:33Z |
| publishDate | 2013 |
| publisher | Інститут проблем реєстрації інформації НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Индутный, И.З. Крючин, А.А. Бородин, Ю.А. Данько, В.А. Луканюк, М.В. Минько, В.И. Шепелявый, П.Е. Гера, Э.В. Рубиш, В.М. 2015-10-10T17:42:24Z 2015-10-10T17:42:24Z 2013 Оптическая запись микро- и наноразмерных рельефных структур на неорганических резистах Ge-Se / И.З. Индутный, А.А. Крючин, Ю.А. Бородин, В.А. Данько, М.В. Луканюк, В.И. Минько, П.Е. Шепелявый, Э.В. Гера, В.М. Рубиш // Реєстрація, зберігання і обробка даних. — 2013. — Т. 15, № 4. — С. 3-12. — Бібліогр.: 19 назв. — рос. 1560-9189 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/87082 004.085 Представлены результаты экспериментальных исследований по записи микрорельефных структур сфокусированным лазерным излучением с длиной волны 405 нм на пленках неорганических фоторезистов системы Ge - Se. Показано, что микрорельефные структуры глубиной 100 нм могут быть получены на неорганических фоторезистах состава GeSe₃. Увеличение содержания германия (исследовался состав GeSe₂) не позволяет получать микрорельефные структуры с глубиной рельефа, необходимой для изготовления дисков-оригиналов, используемых в производстве DVD и BD компакт-дисков. Пленки с высоким содержанием Se (GeSe₈) характеризуются наличием кристаллических включений и не могут быть использованы для получения микрорельефных структур при записи информации на диски-оригиналы. The results of experimental studies on recording of micro-relief structures using a focused laser radiation with a wavelength of 405 nm to photo-resist films of inorganic system Ge-Se have been presented. It is shown that the micro-relief structures having depth of 100 nm can be obtained on the inorganic photo-resists of GeSe₃. Increase of the germanium content (when studied composition GeSe₂) did not allow getting the micro-relief structures with depth required for the manufacture of master disks used in the manufacturing of DVD and BD disks. The films with a high content of Se (GeSe₈) are characterized by the presence of crystalline inclusions, and can not be applied for the micro-relief structures for recording information on disks-originals. ru Інститут проблем реєстрації інформації НАН України Реєстрація, зберігання і обробка даних Фізичні основи, принципи та методи реєстрації даних Оптическая запись микро- и наноразмерных рельефных структур на неорганических резистах Ge-Se Optical Recording of Micro- and Nano- Relief Structures on Inorganic Resists Ge-Se Article published earlier |
| spellingShingle | Оптическая запись микро- и наноразмерных рельефных структур на неорганических резистах Ge-Se Индутный, И.З. Крючин, А.А. Бородин, Ю.А. Данько, В.А. Луканюк, М.В. Минько, В.И. Шепелявый, П.Е. Гера, Э.В. Рубиш, В.М. Фізичні основи, принципи та методи реєстрації даних |
| title | Оптическая запись микро- и наноразмерных рельефных структур на неорганических резистах Ge-Se |
| title_alt | Optical Recording of Micro- and Nano- Relief Structures on Inorganic Resists Ge-Se |
| title_full | Оптическая запись микро- и наноразмерных рельефных структур на неорганических резистах Ge-Se |
| title_fullStr | Оптическая запись микро- и наноразмерных рельефных структур на неорганических резистах Ge-Se |
| title_full_unstemmed | Оптическая запись микро- и наноразмерных рельефных структур на неорганических резистах Ge-Se |
| title_short | Оптическая запись микро- и наноразмерных рельефных структур на неорганических резистах Ge-Se |
| title_sort | оптическая запись микро- и наноразмерных рельефных структур на неорганических резистах ge-se |
| topic | Фізичні основи, принципи та методи реєстрації даних |
| topic_facet | Фізичні основи, принципи та методи реєстрації даних |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/87082 |
| work_keys_str_mv | AT indutnyiiz optičeskaâzapisʹmikroinanorazmernyhrelʹefnyhstrukturnaneorganičeskihrezistahgese AT krûčinaa optičeskaâzapisʹmikroinanorazmernyhrelʹefnyhstrukturnaneorganičeskihrezistahgese AT borodinûa optičeskaâzapisʹmikroinanorazmernyhrelʹefnyhstrukturnaneorganičeskihrezistahgese AT danʹkova optičeskaâzapisʹmikroinanorazmernyhrelʹefnyhstrukturnaneorganičeskihrezistahgese AT lukanûkmv optičeskaâzapisʹmikroinanorazmernyhrelʹefnyhstrukturnaneorganičeskihrezistahgese AT minʹkovi optičeskaâzapisʹmikroinanorazmernyhrelʹefnyhstrukturnaneorganičeskihrezistahgese AT šepelâvyipe optičeskaâzapisʹmikroinanorazmernyhrelʹefnyhstrukturnaneorganičeskihrezistahgese AT geraév optičeskaâzapisʹmikroinanorazmernyhrelʹefnyhstrukturnaneorganičeskihrezistahgese AT rubišvm optičeskaâzapisʹmikroinanorazmernyhrelʹefnyhstrukturnaneorganičeskihrezistahgese AT indutnyiiz opticalrecordingofmicroandnanoreliefstructuresoninorganicresistsgese AT krûčinaa opticalrecordingofmicroandnanoreliefstructuresoninorganicresistsgese AT borodinûa opticalrecordingofmicroandnanoreliefstructuresoninorganicresistsgese AT danʹkova opticalrecordingofmicroandnanoreliefstructuresoninorganicresistsgese AT lukanûkmv opticalrecordingofmicroandnanoreliefstructuresoninorganicresistsgese AT minʹkovi opticalrecordingofmicroandnanoreliefstructuresoninorganicresistsgese AT šepelâvyipe opticalrecordingofmicroandnanoreliefstructuresoninorganicresistsgese AT geraév opticalrecordingofmicroandnanoreliefstructuresoninorganicresistsgese AT rubišvm opticalrecordingofmicroandnanoreliefstructuresoninorganicresistsgese |