Оптическая запись микро- и наноразмерных рельефных структур на неорганических резистах Ge-Se

Оптическая запись микро- и наноразмерных рельефных структур на неорганических резистах Ge-Se

Представлены результаты экспериментальных исследований по записи микрорельефных структур сфокусированным лазерным излучением с длиной волны 405 нм на пленках неорганических фоторезистов системы Ge - Se. Показано, что микрорельефные структуры глубиной 100 нм могут быть получены на неорганических фото...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :Реєстрація, зберігання і обробка даних
Дата:2013
Автори: Индутный, И.З., Крючин, А.А., Бородин, Ю.А., Данько, В.А., Луканюк, М.В., Минько, В.И., Шепелявый, П.Е., Гера, Э.В., Рубиш, В.М.
Формат: Стаття
Мова:Russian
Опубліковано: Інститут проблем реєстрації інформації НАН України 2013
Теми:
Фізичні основи, принципи та методи реєстрації даних
Онлайн доступ:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/87082
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Оптическая запись микро- и наноразмерных рельефных структур на неорганических резистах Ge-Se / И.З. Индутный, А.А. Крючин, Ю.А. Бородин, В.А. Данько, М.В. Луканюк, В.И. Минько, П.Е. Шепелявый, Э.В. Гера, В.М. Рубиш // Реєстрація, зберігання і обробка даних. — 2013. — Т. 15, № 4. — С. 3-12. — Бібліогр.: 19 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-87082
record_format dspace
spelling Индутный, И.З.
Крючин, А.А.
Бородин, Ю.А.
Данько, В.А.
Луканюк, М.В.
Минько, В.И.
Шепелявый, П.Е.
Гера, Э.В.
Рубиш, В.М.
2015-10-10T17:42:24Z
2015-10-10T17:42:24Z
2013
Оптическая запись микро- и наноразмерных рельефных структур на неорганических резистах Ge-Se / И.З. Индутный, А.А. Крючин, Ю.А. Бородин, В.А. Данько, М.В. Луканюк, В.И. Минько, П.Е. Шепелявый, Э.В. Гера, В.М. Рубиш // Реєстрація, зберігання і обробка даних. — 2013. — Т. 15, № 4. — С. 3-12. — Бібліогр.: 19 назв. — рос.
1560-9189
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/87082
004.085
Представлены результаты экспериментальных исследований по записи микрорельефных структур сфокусированным лазерным излучением с длиной волны 405 нм на пленках неорганических фоторезистов системы Ge - Se. Показано, что микрорельефные структуры глубиной 100 нм могут быть получены на неорганических фоторезистах состава GeSe₃. Увеличение содержания германия (исследовался состав GeSe₂) не позволяет получать микрорельефные структуры с глубиной рельефа, необходимой для изготовления дисков-оригиналов, используемых в производстве DVD и BD компакт-дисков. Пленки с высоким содержанием Se (GeSe₈) характеризуются наличием кристаллических включений и не могут быть использованы для получения микрорельефных структур при записи информации на диски-оригиналы.
The results of experimental studies on recording of micro-relief structures using a focused laser radiation with a wavelength of 405 nm to photo-resist films of inorganic system Ge-Se have been presented. It is shown that the micro-relief structures having depth of 100 nm can be obtained on the inorganic photo-resists of GeSe₃. Increase of the germanium content (when studied composition GeSe₂) did not allow getting the micro-relief structures with depth required for the manufacture of master disks used in the manufacturing of DVD and BD disks. The films with a high content of Se (GeSe₈) are characterized by the presence of crystalline inclusions, and can not be applied for the micro-relief structures for recording information on disks-originals.
ru
Інститут проблем реєстрації інформації НАН України
Реєстрація, зберігання і обробка даних
Фізичні основи, принципи та методи реєстрації даних
Оптическая запись микро- и наноразмерных рельефных структур на неорганических резистах Ge-Se
Optical Recording of Micro- and Nano- Relief Structures on Inorganic Resists Ge-Se
Article
published earlier
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
title Оптическая запись микро- и наноразмерных рельефных структур на неорганических резистах Ge-Se
spellingShingle Оптическая запись микро- и наноразмерных рельефных структур на неорганических резистах Ge-Se
Индутный, И.З.
Крючин, А.А.
Бородин, Ю.А.
Данько, В.А.
Луканюк, М.В.
Минько, В.И.
Шепелявый, П.Е.
Гера, Э.В.
Рубиш, В.М.
Фізичні основи, принципи та методи реєстрації даних
title_short Оптическая запись микро- и наноразмерных рельефных структур на неорганических резистах Ge-Se
title_full Оптическая запись микро- и наноразмерных рельефных структур на неорганических резистах Ge-Se
title_fullStr Оптическая запись микро- и наноразмерных рельефных структур на неорганических резистах Ge-Se
title_full_unstemmed Оптическая запись микро- и наноразмерных рельефных структур на неорганических резистах Ge-Se
title_sort оптическая запись микро- и наноразмерных рельефных структур на неорганических резистах ge-se
author Индутный, И.З.
Крючин, А.А.
Бородин, Ю.А.
Данько, В.А.
Луканюк, М.В.
Минько, В.И.
Шепелявый, П.Е.
Гера, Э.В.
Рубиш, В.М.
author_facet Индутный, И.З.
Крючин, А.А.
Бородин, Ю.А.
Данько, В.А.
Луканюк, М.В.
Минько, В.И.
Шепелявый, П.Е.
Гера, Э.В.
Рубиш, В.М.
topic Фізичні основи, принципи та методи реєстрації даних
topic_facet Фізичні основи, принципи та методи реєстрації даних
publishDate 2013
language Russian
container_title Реєстрація, зберігання і обробка даних
publisher Інститут проблем реєстрації інформації НАН України
format Article
title_alt Optical Recording of Micro- and Nano- Relief Structures on Inorganic Resists Ge-Se
description Представлены результаты экспериментальных исследований по записи микрорельефных структур сфокусированным лазерным излучением с длиной волны 405 нм на пленках неорганических фоторезистов системы Ge - Se. Показано, что микрорельефные структуры глубиной 100 нм могут быть получены на неорганических фоторезистах состава GeSe₃. Увеличение содержания германия (исследовался состав GeSe₂) не позволяет получать микрорельефные структуры с глубиной рельефа, необходимой для изготовления дисков-оригиналов, используемых в производстве DVD и BD компакт-дисков. Пленки с высоким содержанием Se (GeSe₈) характеризуются наличием кристаллических включений и не могут быть использованы для получения микрорельефных структур при записи информации на диски-оригиналы. The results of experimental studies on recording of micro-relief structures using a focused laser radiation with a wavelength of 405 nm to photo-resist films of inorganic system Ge-Se have been presented. It is shown that the micro-relief structures having depth of 100 nm can be obtained on the inorganic photo-resists of GeSe₃. Increase of the germanium content (when studied composition GeSe₂) did not allow getting the micro-relief structures with depth required for the manufacture of master disks used in the manufacturing of DVD and BD disks. The films with a high content of Se (GeSe₈) are characterized by the presence of crystalline inclusions, and can not be applied for the micro-relief structures for recording information on disks-originals.
issn 1560-9189
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/87082
citation_txt Оптическая запись микро- и наноразмерных рельефных структур на неорганических резистах Ge-Se / И.З. Индутный, А.А. Крючин, Ю.А. Бородин, В.А. Данько, М.В. Луканюк, В.И. Минько, П.Е. Шепелявый, Э.В. Гера, В.М. Рубиш // Реєстрація, зберігання і обробка даних. — 2013. — Т. 15, № 4. — С. 3-12. — Бібліогр.: 19 назв. — рос.
work_keys_str_mv AT indutnyiiz optičeskaâzapisʹmikroinanorazmernyhrelʹefnyhstrukturnaneorganičeskihrezistahgese
AT krûčinaa optičeskaâzapisʹmikroinanorazmernyhrelʹefnyhstrukturnaneorganičeskihrezistahgese
AT borodinûa optičeskaâzapisʹmikroinanorazmernyhrelʹefnyhstrukturnaneorganičeskihrezistahgese
AT danʹkova optičeskaâzapisʹmikroinanorazmernyhrelʹefnyhstrukturnaneorganičeskihrezistahgese
AT lukanûkmv optičeskaâzapisʹmikroinanorazmernyhrelʹefnyhstrukturnaneorganičeskihrezistahgese
AT minʹkovi optičeskaâzapisʹmikroinanorazmernyhrelʹefnyhstrukturnaneorganičeskihrezistahgese
AT šepelâvyipe optičeskaâzapisʹmikroinanorazmernyhrelʹefnyhstrukturnaneorganičeskihrezistahgese
AT geraév optičeskaâzapisʹmikroinanorazmernyhrelʹefnyhstrukturnaneorganičeskihrezistahgese
AT rubišvm optičeskaâzapisʹmikroinanorazmernyhrelʹefnyhstrukturnaneorganičeskihrezistahgese
AT indutnyiiz opticalrecordingofmicroandnanoreliefstructuresoninorganicresistsgese
AT krûčinaa opticalrecordingofmicroandnanoreliefstructuresoninorganicresistsgese
AT borodinûa opticalrecordingofmicroandnanoreliefstructuresoninorganicresistsgese
AT danʹkova opticalrecordingofmicroandnanoreliefstructuresoninorganicresistsgese
AT lukanûkmv opticalrecordingofmicroandnanoreliefstructuresoninorganicresistsgese
AT minʹkovi opticalrecordingofmicroandnanoreliefstructuresoninorganicresistsgese
AT šepelâvyipe opticalrecordingofmicroandnanoreliefstructuresoninorganicresistsgese
AT geraév opticalrecordingofmicroandnanoreliefstructuresoninorganicresistsgese
AT rubišvm opticalrecordingofmicroandnanoreliefstructuresoninorganicresistsgese
first_indexed 2025-12-07T17:46:33Z
last_indexed 2025-12-07T17:46:33Z
_version_ 1850872528262660096

Схожі ресурси