Buchumschlag

Режим работы двухкаскадного термоэлектрического охлаждающего устройства, обеспечивающий минимальную интенсивность отказов

Results of experimental and theoretical study of RF CCP reactor for reactive ion etching of semiconductors are presented. Breakdown curve and domain of the discharge existence are measured in various gases (argon, fluorocarbon, oxygen). The dependences of the DC self bias potential on the RF voltage...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Datum:	2011
Hauptverfasser:	Dudin, S. V., Lisovskiy, V. А., Dahov, A. N., Pletniov, V. M.
Format:	Artikel
Sprache:	Ukrainisch
Veröffentlicht:	PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2011
Schlagworte:	ВЧ емкостный разряд плазмохимическое травление полупроводниковых материалов плазмохимический реактор
Online Zugang:	https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2011.1-2.42
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:	Technology and design in electronic equipment

Institution

Technology and design in electronic equipment

Ähnliche Einträge

Режим работы двухкаскадного термоэлектрического охлаждающего устройства, обеспечивающий минимальную интенсивность отказов
von: Socheslav, D. P.
Veröffentlicht: (2011)

Термоэлектрические микрогенераторы. Современное состояние и перспективы использования
von: Strutynska, L. T.
Veröffentlicht: (2008)

Особенности плазмохимического травления торцов кремниевых пластин для фотоэлектрических преобразователей
von: Fedorovich, O. A., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Список печатных работ М.И. Артамонова
Veröffentlicht: (1998)

Литература о М.И. Артамонове
Veröffentlicht: (1998)

Воспоминания об Учителе
von: Столяр, А.Д.
Veröffentlicht: (1998)

Вместо предисловия (К публикации статьи М.И. Артамонова «Немировское городище: анализ полевой документации из раскопок 1909-1910 гг.»)
von: Смирнова, Г.И.
Veröffentlicht: (1998)

Вспоминая М.И. Артамонова
von: Плетнева, С.А.
Veröffentlicht: (1998)

Список учеников М.И. Артамонова
Veröffentlicht: (1998)

Введение
von: Плетнева, С.А.
Veröffentlicht: (1998)

Основные даты жизни и научной деятельности М.И. Артамонова
Veröffentlicht: (1998)

Выбор режима работы термоэлектрического охлаждающего устройства (ТЭУ), обеспечивающего минимальную интенсивность отказов
von: Зайков, В.П., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Выбор режима работы термоэлектрического охлаждающего устройства (ТЭУ), обеспечивающего минимальную интенсивность отказов
von: Zaikov, V. P., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Прогнозирование показателей надежности двухкаскадного термоэлектрического охлаждающего устройства в режиме ΔTmax
von: Зайков, В.П., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Прогнозирование показателей надежности двухкаскадного термоэлектрического охлаждающего устройства в режиме Q0max
von: Зайков, В.П., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Прогнозирование показателей надежности двухкаскадного термоэлектрического охлаждающего устройства в режиме Q0max
von: Zaykov, V. P., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Термовакуумные испытания оптико-электронных приборов космического аппарата МС-2-8
von: Rassamakin, B. М., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Применение гибких носителей при сборке кремниевых детекторов
von: Perevertaylo, V. L., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Архитектура устройств цифровой обработки сигналов с перестраиваемой структурой
von: Sheik-Seikin, A. N.
Veröffentlicht: (2011)

Органические светоизлучающие структуры — технологии XXI века
von: Sorokin, V. M, et al.
Veröffentlicht: (2009)

ВАРИАНТЫ ПОСТРОЕНИЯ ЕМКОСТНЫХ ИЗМЕРИТЕЛЕЙ РАДИАЛЬНОГО БИЕНИЯ ВАЛОВ ЭЛЕКТРИЧЕСКИХ МАШИН
von: Новик, А.И., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Вэйвлет анализ и его применение в туннельной и рентгеновской спектроскопии
von: Чукалина, М.В., et al.
Veröffentlicht: (2004)

Ультразвуковые исследования фазового перехода в ZnSe:Ni
von: Гудков, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2004)

Неравновесные процессы и сегнетоэлектрический фазовый переход в кристаллах PbGeTe(Ga)
von: Акимов, Б.А., et al.
Veröffentlicht: (2004)

Statistical strained-tetrahedron model of local ternary zinc blende crystal structures
von: Robouch, B.V., et al.
Veröffentlicht: (2004)

Влияние параметров ВЧ-разряда и параметров нагревателя на температуру подложки в плазмохимическом реакторе «Алмаз» для синтеза углеродных алмазоподобных пленок
von: Hladkovskiy, V. V., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Закономерности формирования пучка ионов низкой энергии при помощи односеточной ионно-оптической системы
von: Dudin, S. V., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Тензорезисторы для низких температур на основе нитевидных кристаллов кремния
von: Druzhinin, A. A., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Методы удаления дефектов, возникающих при жидкостном травлении поверхности поликристаллического кремния
von: Ivanchykou, A. E., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Флюс для электродуговой наплавки, обеспечивающий высокотемпературную отделимость шлакового покрытия
von: Стреленко, Н.М., et al.
Veröffentlicht: (2014)

БЫСТРОДЕЙСТВУЮЩИЙ ВТОРИЧНЫЙ ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЙ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ ДЛЯ ЕМКОСТНЫХ ДАТЧИКОВ С ЗАЗЕМЛЕННЫМИ ЭЛЕКТРОДАМИ
von: Борщев, П.И., et al.
Veröffentlicht: (2019)

Широкоапертурный высокочастотный источник ионов низкой энергии с электронной компенсацией
von: Dudin, S. V., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Метод проектировочного расчета внутрифабричных гидротранспортных комплексов, обеспечивающий надежность технологии по производительности
von: Семененко, Е.В., et al.
Veröffentlicht: (2004)

Критериальный подход к выбору режима работы термоэлектрического охлаждающего устройства
von: Зайков, В.П., et al.
Veröffentlicht: (2003)

ЭЛЕКТРОННЫЕ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ ДЛЯ РАБОТЫ С ЕМКОСТНЫМИ ДАТЧИКАМИ (АНАЛОГОВЫЕ И ЦИФРОВЫЕ)
von: Неболюбов, Е.Ю., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Влияние циклического режима работы охлаждающего термоэлектрического устройства на его надежность
von: Зайков, В.П., et al.
Veröffentlicht: (2003)

CFD — моделирование теплообмена в катушечных обмотках трансформаторов при естественной конвекции охлаждающего масла
von: Круковский, П.Г., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Прогнозирование показателей надежности двухкаскадного термоэлектрического охлаждающего устройства в режиме ΔTmax
von: Zaykov, V. P., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Математическое моделирование нестационарных тепловых режимов блока системы измерения давления СИД-3-148
von: Ranchenko, G. S., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Электронная система регистрации параметров механических колебаний
von: Bulavin, L. A., et al.
Veröffentlicht: (2008)