Режим работы двухкаскадного термоэлектрического охлаждающего устройства, обеспечивающий минимальную интенсивность отказов

Режим работы двухкаскадного термоэлектрического охлаждающего устройства, обеспечивающий минимальную интенсивность отказов

Results of experimental and theoretical study of RF CCP reactor for reactive ion etching of semiconductors are presented. Breakdown curve and domain of the discharge existence are measured in various gases (argon, fluorocarbon, oxygen). The dependences of the DC self bias potential on the RF voltage...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Дата:	2011
Автори:	Dudin, S. V., Lisovskiy, V. А., Dahov, A. N., Pletniov, V. M.
Формат:	Стаття
Мова:	Ukrainian
Опубліковано:	PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2011
Теми:	ВЧ емкостный разряд плазмохимическое травление полупроводниковых материалов плазмохимический реактор
Онлайн доступ:	https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2011.1-2.42
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Technology and design in electronic equipment

Репозитарії

Technology and design in electronic equipment

Схожі ресурси

Режим работы двухкаскадного термоэлектрического охлаждающего устройства, обеспечивающий минимальную интенсивность отказов
за авторством: Socheslav, D. P.
Опубліковано: (2011)

Режим работы двухкаскадного термоэлектрического охлаждающего устройства, обеспечивающий минимальную интенсивность отказов
за авторством: Сочеслав, Д.П.
Опубліковано: (2011)

Особенности плазмохимического травления торцов кремниевых пластин для фотоэлектрических преобразователей
за авторством: Fedorovich, O. A., та інші
Опубліковано: (2009)

Вспоминая М.И. Артамонова
за авторством: Плетнева, С.А.
Опубліковано: (1998)

Вместо предисловия (К публикации статьи М.И. Артамонова «Немировское городище: анализ полевой документации из раскопок 1909-1910 гг.»)
за авторством: Смирнова, Г.И.
Опубліковано: (1998)

Список печатных работ М.И. Артамонова
Опубліковано: (1998)

Литература о М.И. Артамонове
Опубліковано: (1998)

Воспоминания об Учителе
за авторством: Столяр, А.Д.
Опубліковано: (1998)

Введение
за авторством: Плетнева, С.А.
Опубліковано: (1998)

Список учеников М.И. Артамонова
Опубліковано: (1998)

Основные даты жизни и научной деятельности М.И. Артамонова
Опубліковано: (1998)

Предисловие
за авторством: Айбабин, А.И.
Опубліковано: (1998)

Выбор режима работы термоэлектрического охлаждающего устройства (ТЭУ), обеспечивающего минимальную интенсивность отказов
за авторством: Зайков, В.П., та інші
Опубліковано: (2008)

Прогнозирование показателей надежности двухкаскадного термоэлектрического охлаждающего устройства в режиме ΔTmax
за авторством: Зайков, В.П., та інші
Опубліковано: (2009)

Применение гибких носителей при сборке кремниевых детекторов
за авторством: Perevertaylo, V. L., та інші
Опубліковано: (2009)

Прогнозирование показателей надежности двухкаскадного термоэлектрического охлаждающего устройства в режиме Q0max
за авторством: Zaykov, V. P., та інші
Опубліковано: (2009)

Прогнозирование показателей надежности двухкаскадного термоэлектрического охлаждающего устройства в режиме Q0max
за авторством: Зайков, В.П., та інші
Опубліковано: (2009)

Органические светоизлучающие структуры — технологии XXI века
за авторством: Sorokin, V. M, та інші
Опубліковано: (2009)

Архитектура устройств цифровой обработки сигналов с перестраиваемой структурой
за авторством: Sheik-Seikin, A. N.
Опубліковано: (2011)

Оптоэлектронные свойства в гидрогенизированных тонких пленках a-Si1−xGex:H (x = 0−1), полученных плазмохимическим осаждением
за авторством: Najafov, B. A., та інші
Опубліковано: (2018)

ВАРИАНТЫ ПОСТРОЕНИЯ ЕМКОСТНЫХ ИЗМЕРИТЕЛЕЙ РАДИАЛЬНОГО БИЕНИЯ ВАЛОВ ЭЛЕКТРИЧЕСКИХ МАШИН
за авторством: Новик, А.И., та інші
Опубліковано: (2012)

О трехмерных начально-краевых задачах дина-микитолстых упругих плит
за авторством: Стоян, В.А., та інші
Опубліковано: (2021)

Влияние параметров ВЧ-разряда и параметров нагревателя на температуру подложки в плазмохимическом реакторе «Алмаз» для синтеза углеродных алмазоподобных пленок
за авторством: Hladkovskiy, V. V., та інші
Опубліковано: (2014)

Закономерности формирования пучка ионов низкой энергии при помощи односеточной ионно-оптической системы
за авторством: Dudin, S. V., та інші
Опубліковано: (2009)

БЫСТРОДЕЙСТВУЮЩИЙ ВТОРИЧНЫЙ ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЙ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ ДЛЯ ЕМКОСТНЫХ ДАТЧИКОВ С ЗАЗЕМЛЕННЫМИ ЭЛЕКТРОДАМИ
за авторством: Борщев, П.И., та інші
Опубліковано: (2019)

Широкоапертурный высокочастотный источник ионов низкой энергии с электронной компенсацией
за авторством: Dudin, S. V., та інші
Опубліковано: (2010)

Флюс для электродуговой наплавки, обеспечивающий высокотемпературную отделимость шлакового покрытия
за авторством: Стреленко, Н.М., та інші
Опубліковано: (2014)

Метод проектировочного расчета внутрифабричных гидротранспортных комплексов, обеспечивающий надежность технологии по производительности
за авторством: Семененко, Е.В., та інші
Опубліковано: (2004)

ЭЛЕКТРОННЫЕ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ ДЛЯ РАБОТЫ С ЕМКОСТНЫМИ ДАТЧИКАМИ (АНАЛОГОВЫЕ И ЦИФРОВЫЕ)
за авторством: Неболюбов, Е.Ю., та інші
Опубліковано: (2015)

Критериальный подход к выбору режима работы термоэлектрического охлаждающего устройства
за авторством: Зайков, В.П., та інші
Опубліковано: (2003)

Влияние циклического режима работы охлаждающего термоэлектрического устройства на его надежность
за авторством: Зайков, В.П., та інші
Опубліковано: (2003)

МОЩНЫЕ ВЫСОКОВОЛЬТНЫЕ ГЕНЕРАТОРЫ С ПОЛУПРОВОДНИКОВЫМИ КОММУТАТОРАМИ
за авторством: Бойко, Н.И.
Опубліковано: (2014)

CFD — моделирование теплообмена в катушечных обмотках трансформаторов при естественной конвекции охлаждающего масла
за авторством: Круковский, П.Г., та інші
Опубліковано: (2009)

Прогнозирование показателей надежности двухкаскадного термоэлектрического охлаждающего устройства в режиме ΔTmax
за авторством: Zaykov, V. P., та інші
Опубліковано: (2009)

Оптоэлектронные свойства тонких пленок гидрогенизированного аморфного кремния-углерода и нанокристаллического кремния
за авторством: Najafov, B. A., та інші
Опубліковано: (2018)

Измерение относительной влажности и температуры точки росы охлаждающего воздуха в гидрогенераторе-двигателе Днестровской ГАЭС
за авторством: Левицкий, А.С., та інші
Опубліковано: (2013)

Генезис інтегральних схем з оптичним зв`язком на мікропотужних оптронах і їх елементах
за авторством: Проскурін, Микола Петрович
Опубліковано: (2019)

Dependence of RF breakdown curve on electrode geometry in CCP reactor
за авторством: Dudin, S.V., та інші
Опубліковано: (2012)

Spatial distributions of plasma parameters in ICP reactor
за авторством: Dudin, S.V., та інші
Опубліковано: (2010)

Development of arc suppression technique for reactive magnetron sputtering
за авторством: S. V. Dudin, та інші
Опубліковано: (2005)