Зображення обкладинки

Режим работы двухкаскадного термоэлектрического охлаждающего устройства, обеспечивающий минимальную интенсивность отказов

Results of experimental and theoretical study of RF CCP reactor for reactive ion etching of semiconductors are presented. Breakdown curve and domain of the discharge existence are measured in various gases (argon, fluorocarbon, oxygen). The dependences of the DC self bias potential on the RF voltage...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Дата:	2011
Автори:	Dudin, S. V., Lisovskiy, V. А., Dahov, A. N., Pletniov, V. M.
Формат:	Стаття
Мова:	Українська
Опубліковано:	PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2011
Теми:	ВЧ емкостный разряд плазмохимическое травление полупроводниковых материалов плазмохимический реактор
Онлайн доступ:	https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2011.1-2.42
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Technology and design in electronic equipment

Репозитарії

Technology and design in electronic equipment

Схожі ресурси

Режим работы двухкаскадного термоэлектрического охлаждающего устройства, обеспечивающий минимальную интенсивность отказов
за авторством: Socheslav, D. P.
Опубліковано: (2011)

Применение гибких носителей при сборке кремниевых детекторов
за авторством: Perevertaylo, V. L., та інші
Опубліковано: (2009)

Органические светоизлучающие структуры — технологии XXI века
за авторством: Sorokin, V. M, та інші
Опубліковано: (2009)

Термоэлектрические микрогенераторы. Современное состояние и перспективы использования
за авторством: Strutynska, L. T.
Опубліковано: (2008)

Термовакуумные испытания оптико-электронных приборов космического аппарата МС-2-8
за авторством: Rassamakin, B. М., та інші
Опубліковано: (2008)

Архитектура устройств цифровой обработки сигналов с перестраиваемой структурой
за авторством: Sheik-Seikin, A. N.
Опубліковано: (2011)

Выбор режима работы термоэлектрического охлаждающего устройства (ТЭУ), обеспечивающего минимальную интенсивность отказов
за авторством: Zaikov, V. P., та інші
Опубліковано: (2008)

Ненакаливаемые катоды на основе углеродных наноструктурированных слоистых структур
за авторством: Belyanin, A. F., та інші
Опубліковано: (2013)

Методы удаления дефектов, возникающих при жидкостном травлении поверхности поликристаллического кремния
за авторством: Ivanchykou, A. E., та інші
Опубліковано: (2008)

Особенности плазмохимического травления торцов кремниевых пластин для фотоэлектрических преобразователей
за авторством: Fedorovich, O. A., та інші
Опубліковано: (2009)

Электронная система регистрации параметров механических колебаний
за авторством: Bulavin, L. A., та інші
Опубліковано: (2008)

Зависимость эффективности электролюминесцентных индикаторов от параметров источника питания
за авторством: Lenkov, S. V., та інші
Опубліковано: (2008)

Математическое моделирование нестационарных тепловых режимов блока системы измерения давления СИД-3-148
за авторством: Ranchenko, G. S., та інші
Опубліковано: (2008)

ЕКОНОМІЧНІ ІНСТРУМЕНТИ СТРАТЕГІЧНОГО УПРАВЛІННЯ ПОБУТОВИМИ ВІДХОДАМИ
за авторством: Yegorov, I., та інші
Опубліковано: (2022)

Аналіз загасання у волоконно-оптичній лінії зв’язку
за авторством: Онищук, О. В., та інші
Опубліковано: (2014)

Вимірювальна система для тестування електричних параметрів ПЗЗЕМ різного формату
за авторством: Zabudsky, Viacheslav, та інші
Опубліковано: (2019)

ВПЛИВ З’ЄДНУВАЛЬНОГО ВИСОКОВОЛЬТНОГО КАБЕЛЮ НА СТРУМИ І НАПРУГИ У ПРИСТРОЇ ІМПУЛЬСНОГО БАР’ЄРНОГО РОЗРЯДУ
за авторством: Берека, В.О., та інші
Опубліковано: (2024)

МІКРОСМУЖКОВІ НАПІВПРОВІДНИКОВІ СТРУКТУРИ З ОПТИЧНИМ КЕРУВАННЯМ
за авторством: TKACHENKO, N., та інші
Опубліковано: (2025)

ЗНИЖЕННЯ МІСЦЕВИХ НАГРІВІВ У БАКАХ ПОТУЖНИХ ТРАНСФОРМАТОРІВ ТЕПЛОВІДВІДНИМИ ЛОКАЛЬНИМИ РАДІАТОРАМИ З РЕБЕРНОЮ ОСНОВОЮ
за авторством: Іванков, В.Ф., та інші
Опубліковано: (2021)

ЕКСПЕРИМЕНТАЛЬНІ ТА ЧИСЕЛЬНІ ДОСЛІДЖЕННЯ ТЕПЛОВІДДАЧІ ЗІ СКЛОПАКЕТА З ЕЛЕКТРОНАГРІВОМ ЙОГО ПОВЕРХНІ
за авторством: Басок, Б.І., та інші
Опубліковано: (2022)

КОНСТРУКТИВНІ ОСОБЛИВОСТІ РІЗЬБОВИХ З`ЄДНАНЬ ОБСАДНИХ КОЛОН
за авторством: Чернова, Мирослава, та інші
Опубліковано: (2024)

Енергетичні комплекси на основі сонячних електростанцій та акумуляторних систем зберігання енергії
за авторством: Havrylenko, Yaroslav, та інші
Опубліковано: (2025)

Нормативне регулювання, сучасний стан поводження та перспективи енергетичного використання твердих побутових відходів в Україні
за авторством: Haponych L.S., та інші
Опубліковано: (2019)

ЗУМ-варіоптичні системи оптоелектронних датчиків
за авторством: Чиж, І.Г., та інші
Опубліковано: (2026)

Двовимірна модель навчання у спайкових нейронних мережах з гомеостазом та навчанням з підкріпленням
за авторством: Osaulenko, Viacheslav M.
Опубліковано: (2017)

Можливі проблеми зняття з експлуатації АЕС України
за авторством: Safonov V.A., та інші
Опубліковано: (2003)

АНАЛІЗ СТАНУ ТА ПЕРСПЕКТИВИ МОДЕРНІЗАЦІЇ РОЗПОДІЛЕНОЇ ГЕТЕРОГЕННОЇ МЕРЕЖІ АКАДЕМІЧНОГО ІНСТИТУТУ НА ПРИКЛАДІ МЕРЕЖІ ІНМ НАН УКРАЇНИ
за авторством: Кулаківський, В. M., та інші
Опубліковано: (2022)

Ефективність застосування стимуляторів росту рослин під час створення лісових культур сосни звичайної у ДП «Харківська ЛНДС»
за авторством: Danylenko, O. M., та інші
Опубліковано: (2024)

ЛОКАЛЬНІ АВТОНОМНІ ДЖЕРЕЛА ЕНЕРГОПОСТАЧАННЯ ДЛЯ УМОВ НАДЗВИЧАЙНИХ СИТУАЦІЙ
за авторством: Чорний, О.П., та інші
Опубліковано: (2020)

СТРУКТУРА І ВЛАСТИВОСТІ БІМЕТАЛІВ, ЗВАРЕНИХ ТЕРТЯМ З ПЕРЕМІШУВАННЯМ
за авторством: Григоренко, Г. М., та інші
Опубліковано: (2018)

Концепція інтелектуальної комп’ютерної навчальної системи для підготовки українських школярів до НМТ
за авторством: Kulik, Anatoliy, та інші
Опубліковано: (2025)

Методи вимірювання та математична модель основних характеристик хвилеводно-коаксіальних з’єднувачів
за авторством: Glushechenko, Eduard
Опубліковано: (2021)

Принципи реалізації співвісних НВЧ-з’єднувачів для сучасних радіоелектронних систем
за авторством: Glushechenko , Eduard
Опубліковано: (2020)

Структурні особливості побудови муніципального ринку послуг з теплопостачання
за авторством: Botsula D.O.
Опубліковано: (2007)

ТРИСТУПЕНЕВА ЕЛЕКТРИЧНА МАШИНА ТА РЕЖИМИ ЇЇ РОБОТИ
за авторством: Акинін, К.П., та інші
Опубліковано: (2023)

Особливості росту лісових культур дуба звичайного, створених різним садивним матеріалом, у ДП «Харківська ЛНДС»
за авторством: Danylenko, O. M., та інші
Опубліковано: (2024)

Мультикритеріальний аналіз у виборі системи управління відходами у регіоні
за авторством: Generowicz, Agnieszka
Опубліковано: (2018)

ОСОБЛИВОСТІ РОЗРАХУНКУ МІЦНОСТІ БОЛТОВИХ З’ЄДНАНЬ ВІДСІКІВ РАКЕТ-НОСІЇВ
за авторством: HUSEV, V. V., та інші
Опубліковано: (2025)

Зниження ризиків стратегій навчання з підкріпленням для догляду із дифузійними моделями
за авторством: Tytarenko, Andrii
Опубліковано: (2024)

Фізико–хімічні властивості Ті–вмісних нанесених на нержавіючу сталь композитів
за авторством: Sanzhak, O. V., та інші
Опубліковано: (2019)