Режим работы двухкаскадного термоэлектрического охлаждающего устройства, обеспечивающий минимальную интенсивность отказов
Results of experimental and theoretical study of RF CCP reactor for reactive ion etching of semiconductors are presented. Breakdown curve and domain of the discharge existence are measured in various gases (argon, fluorocarbon, oxygen). The dependences of the DC self bias potential on the RF voltage...
Збережено в:
| Дата: | 2011 |
|---|---|
| Автори: | Dudin, S. V., Lisovskiy, V. А., Dahov, A. N., Pletniov, V. M. |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Українська |
| Опубліковано: |
PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers
2011
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2011.1-2.42 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Technology and design in electronic equipment |
Репозитарії
Technology and design in electronic equipmentСхожі ресурси
Режим работы двухкаскадного термоэлектрического охлаждающего устройства, обеспечивающий минимальную интенсивность отказов
за авторством: Socheslav, D. P.
Опубліковано: (2011)
за авторством: Socheslav, D. P.
Опубліковано: (2011)
Термоэлектрические микрогенераторы. Современное состояние и перспективы использования
за авторством: Strutynska, L. T.
Опубліковано: (2008)
за авторством: Strutynska, L. T.
Опубліковано: (2008)
Особенности плазмохимического травления торцов кремниевых пластин для фотоэлектрических преобразователей
за авторством: Fedorovich, O. A., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Fedorovich, O. A., та інші
Опубліковано: (2009)
Список печатных работ М.И. Артамонова
Опубліковано: (1998)
Опубліковано: (1998)
Литература о М.И. Артамонове
Опубліковано: (1998)
Опубліковано: (1998)
Воспоминания об Учителе
за авторством: Столяр, А.Д.
Опубліковано: (1998)
за авторством: Столяр, А.Д.
Опубліковано: (1998)
Вместо предисловия (К публикации статьи М.И. Артамонова «Немировское городище: анализ полевой документации из раскопок 1909-1910 гг.»)
за авторством: Смирнова, Г.И.
Опубліковано: (1998)
за авторством: Смирнова, Г.И.
Опубліковано: (1998)
Вспоминая М.И. Артамонова
за авторством: Плетнева, С.А.
Опубліковано: (1998)
за авторством: Плетнева, С.А.
Опубліковано: (1998)
Список учеников М.И. Артамонова
Опубліковано: (1998)
Опубліковано: (1998)
Введение
за авторством: Плетнева, С.А.
Опубліковано: (1998)
за авторством: Плетнева, С.А.
Опубліковано: (1998)
Основные даты жизни и научной деятельности М.И. Артамонова
Опубліковано: (1998)
Опубліковано: (1998)
Выбор режима работы термоэлектрического охлаждающего устройства (ТЭУ), обеспечивающего минимальную интенсивность отказов
за авторством: Зайков, В.П., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Зайков, В.П., та інші
Опубліковано: (2008)
Выбор режима работы термоэлектрического охлаждающего устройства (ТЭУ), обеспечивающего минимальную интенсивность отказов
за авторством: Zaikov, V. P., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Zaikov, V. P., та інші
Опубліковано: (2008)
Прогнозирование показателей надежности двухкаскадного термоэлектрического охлаждающего устройства в режиме ΔTmax
за авторством: Зайков, В.П., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Зайков, В.П., та інші
Опубліковано: (2009)
Прогнозирование показателей надежности двухкаскадного термоэлектрического охлаждающего устройства в режиме Q0max
за авторством: Зайков, В.П., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Зайков, В.П., та інші
Опубліковано: (2009)
Прогнозирование показателей надежности двухкаскадного термоэлектрического охлаждающего устройства в режиме Q0max
за авторством: Zaykov, V. P., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Zaykov, V. P., та інші
Опубліковано: (2009)
Термовакуумные испытания оптико-электронных приборов космического аппарата МС-2-8
за авторством: Rassamakin, B. М., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Rassamakin, B. М., та інші
Опубліковано: (2008)
Применение гибких носителей при сборке кремниевых детекторов
за авторством: Perevertaylo, V. L., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Perevertaylo, V. L., та інші
Опубліковано: (2009)
Архитектура устройств цифровой обработки сигналов с перестраиваемой структурой
за авторством: Sheik-Seikin, A. N.
Опубліковано: (2011)
за авторством: Sheik-Seikin, A. N.
Опубліковано: (2011)
Органические светоизлучающие структуры — технологии XXI века
за авторством: Sorokin, V. M, та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Sorokin, V. M, та інші
Опубліковано: (2009)
ВАРИАНТЫ ПОСТРОЕНИЯ ЕМКОСТНЫХ ИЗМЕРИТЕЛЕЙ РАДИАЛЬНОГО БИЕНИЯ ВАЛОВ ЭЛЕКТРИЧЕСКИХ МАШИН
за авторством: Новик, А.И., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Новик, А.И., та інші
Опубліковано: (2012)
Вэйвлет анализ и его применение в туннельной и рентгеновской спектроскопии
за авторством: Чукалина, М.В., та інші
Опубліковано: (2004)
за авторством: Чукалина, М.В., та інші
Опубліковано: (2004)
Ультразвуковые исследования фазового перехода в ZnSe:Ni
за авторством: Гудков, В.В., та інші
Опубліковано: (2004)
за авторством: Гудков, В.В., та інші
Опубліковано: (2004)
Неравновесные процессы и сегнетоэлектрический фазовый переход в кристаллах PbGeTe(Ga)
за авторством: Акимов, Б.А., та інші
Опубліковано: (2004)
за авторством: Акимов, Б.А., та інші
Опубліковано: (2004)
Statistical strained-tetrahedron model of local ternary zinc blende crystal structures
за авторством: Robouch, B.V., та інші
Опубліковано: (2004)
за авторством: Robouch, B.V., та інші
Опубліковано: (2004)
Влияние параметров ВЧ-разряда и параметров нагревателя на температуру подложки в плазмохимическом реакторе «Алмаз» для синтеза углеродных алмазоподобных пленок
за авторством: Hladkovskiy, V. V., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Hladkovskiy, V. V., та інші
Опубліковано: (2014)
Закономерности формирования пучка ионов низкой энергии при помощи односеточной ионно-оптической системы
за авторством: Dudin, S. V., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Dudin, S. V., та інші
Опубліковано: (2009)
Тензорезисторы для низких температур на основе нитевидных кристаллов кремния
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2008)
Методы удаления дефектов, возникающих при жидкостном травлении поверхности поликристаллического кремния
за авторством: Ivanchykou, A. E., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Ivanchykou, A. E., та інші
Опубліковано: (2008)
Флюс для электродуговой наплавки, обеспечивающий высокотемпературную отделимость шлакового покрытия
за авторством: Стреленко, Н.М., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Стреленко, Н.М., та інші
Опубліковано: (2014)
БЫСТРОДЕЙСТВУЮЩИЙ ВТОРИЧНЫЙ ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЙ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ ДЛЯ ЕМКОСТНЫХ ДАТЧИКОВ С ЗАЗЕМЛЕННЫМИ ЭЛЕКТРОДАМИ
за авторством: Борщев, П.И., та інші
Опубліковано: (2019)
за авторством: Борщев, П.И., та інші
Опубліковано: (2019)
Широкоапертурный высокочастотный источник ионов низкой энергии с электронной компенсацией
за авторством: Dudin, S. V., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Dudin, S. V., та інші
Опубліковано: (2010)
Метод проектировочного расчета внутрифабричных гидротранспортных комплексов, обеспечивающий надежность технологии по производительности
за авторством: Семененко, Е.В., та інші
Опубліковано: (2004)
за авторством: Семененко, Е.В., та інші
Опубліковано: (2004)
Критериальный подход к выбору режима работы термоэлектрического охлаждающего устройства
за авторством: Зайков, В.П., та інші
Опубліковано: (2003)
за авторством: Зайков, В.П., та інші
Опубліковано: (2003)
ЭЛЕКТРОННЫЕ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ ДЛЯ РАБОТЫ С ЕМКОСТНЫМИ ДАТЧИКАМИ (АНАЛОГОВЫЕ И ЦИФРОВЫЕ)
за авторством: Неболюбов, Е.Ю., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Неболюбов, Е.Ю., та інші
Опубліковано: (2015)
Влияние циклического режима работы охлаждающего термоэлектрического устройства на его надежность
за авторством: Зайков, В.П., та інші
Опубліковано: (2003)
за авторством: Зайков, В.П., та інші
Опубліковано: (2003)
CFD — моделирование теплообмена в катушечных обмотках трансформаторов при естественной конвекции охлаждающего масла
за авторством: Круковский, П.Г., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Круковский, П.Г., та інші
Опубліковано: (2009)
Прогнозирование показателей надежности двухкаскадного термоэлектрического охлаждающего устройства в режиме ΔTmax
за авторством: Zaykov, V. P., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Zaykov, V. P., та інші
Опубліковано: (2009)
Математическое моделирование нестационарных тепловых режимов блока системы измерения давления СИД-3-148
за авторством: Ranchenko, G. S., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Ranchenko, G. S., та інші
Опубліковано: (2008)
Электронная система регистрации параметров механических колебаний
за авторством: Bulavin, L. A., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Bulavin, L. A., та інші
Опубліковано: (2008)
Схожі ресурси
-
Режим работы двухкаскадного термоэлектрического охлаждающего устройства, обеспечивающий минимальную интенсивность отказов
за авторством: Socheslav, D. P.
Опубліковано: (2011) -
Термоэлектрические микрогенераторы. Современное состояние и перспективы использования
за авторством: Strutynska, L. T.
Опубліковано: (2008) -
Особенности плазмохимического травления торцов кремниевых пластин для фотоэлектрических преобразователей
за авторством: Fedorovich, O. A., та інші
Опубліковано: (2009) -
Список печатных работ М.И. Артамонова
Опубліковано: (1998) -
Литература о М.И. Артамонове
Опубліковано: (1998)