Buchumschlag

Особенности плазмохимического травления торцов кремниевых пластин для фотоэлектрических преобразователей

Results of technological researches of plasmachemical reactor (PCR) for etching of silicon plate edges of photo-electric converters are described. Dependences of silicon etching speed on a discharge current, magnetic field intensity, quantity of the process able surface area and gases composition ar...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Datum:	2009
Hauptverfasser:	Fedorovich, O. A., Kruglenko, M. P., Polozov, B. P.
Format:	Artikel
Sprache:	Ukrainisch
Veröffentlicht:	PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2009
Schlagworte:	плазмохимический реактор плазмохимическое травление монокремний скорость травления ток разряда фотоэлектрические преобразователи
Online Zugang:	https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2009.6.46
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:	Technology and design in electronic equipment

Institution

Technology and design in electronic equipment

Ähnliche Einträge

Повышение надежности диодов Шоттки при воздействии разрядов cтатического электричества
von: Sоlоdukha, V. A., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Радиационная стойкость нитевидных кристаллов SiGe, используемых для сенсоров физических величин
von: Druzhinin, A. A., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Особенности плазмохимического травления торцов кремниевых пластин для фотоэлектрических преобразователей
von: Федорович, О.А., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Прогнозирование показателей надежности двухкаскадного термоэлектрического охлаждающего устройства в режиме ΔTmax
von: Zaykov, V. P., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Словотвірна активність формата пре- в українській мов
von: Іщук, М.В.
Veröffentlicht: (2002)

Об одной задаче теории неустановившихся движений грунтовых вод
von: Соколов, Ю. Д., et al.
Veröffentlicht: (1953)

КИХ-фильтры с независимым управлением фазочастотной характеристикой
von: Ivanov, V. V., et al.
Veröffentlicht: (2012)

КИХ-фильтры с независимым управлением фазочастотной характеристикой
von: Иванов, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Влияние облучения кремния низкоэнергетическими ионами аргона на образование в нем электрически активных дефектов
von: Popov, V. M., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Адсорбционно-кинетическая модель осаждения пленок поликристаллического кремния, легированных фосфором в процессе роста
von: Nalivaiko, O. Yu., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Исследование свойств пленок нитрида и оксида кремния, полученных методом плазмохимического осаждения на кремниевую подложку
von: Rubtsevich, I. I., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Исаак Эзрович Дуван-Торцов. Его знала вся театральная Россия
von: Степанова, Е.И.
Veröffentlicht: (2013)

Исследование методов размагничивания торцов труб при ремонтах магистральных трубопроводов
von: Добродеев, П.Н.
Veröffentlicht: (2014)

Нулевой звук и квазиволна: разделе ние в магнитном поле
von: Безуглый, Е.В., et al.
Veröffentlicht: (1995)

Влияние термического окисления на анизотропию электропроводности и фотопроводимости наноструктурированного кремния
von: Forsh, P. A., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Альтернативний сплайсинг пре-мРНК гена інтерсектину 1: експресія транскрипційних ізоформ
von: Циба, Л.О., et al.
Veröffentlicht: (2004)

Ювiлей Чардьза Дарвiна в медальєрному мистецтвi
von: Блюм, Я.Б., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Оборудование для подготовки торцов труб применительно к сварке неповоротных стыков трубопроводов
von: Лобанов, Л.М., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Деформация трехслойных пластин со скользящей заделкой торцов и несовершенным контактом слоев
von: Шевченко, В.П., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Антиапоптотична дія нейропептиду лей-енкефаліну щодо лейкоцитів донорської крові, підданих холодовому стресу
von: Гулевський, О.К., et al.
Veröffentlicht: (2019)

ПОВЫШЕНИЕ ЭФФЕКТИВНОСТИ ВЫСОКОВОЛЬТНЫХ ЭЛЕКТРОРАЗРЯДНЫХ УСТАНОВОК, ИСПОЛЬЗУЮЩИХ ЭКЗОТЕРМИЧЕСКИЕ ДИСПЕРСНЫЕ СРЕДЫ
von: Вовченко , А.И., et al.
Veröffentlicht: (2019)

Вплив лей-енкефаліну (даларгіну) на розвиток апоптозу і некрозу лейкоцитів після холодового стресу
von: Moisieieva, Nataliia, et al.
Veröffentlicht: (2022)

К вопросу о специфике субстантивов на -ние, -ение в русском диалектном словообразовании
von: Попова, Т.Н.
Veröffentlicht: (2006)

Двухканальный переключатель СВЧ-мощности на основе электрически активных полупроводниковых структур
von: Lavrich, Yu. N., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Антиапоптотична дія синтетичного лей-енкефаліну даларгіну на лейкоцити щурів у моделі холодового стресу in vivo
von: Shcheniavsky, Ivan
Veröffentlicht: (2021)

Теплотехнические характеристики радиатора для эффективных систем охлаждения радиоэлектронной техники
von: Rudenko, A. I., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Активное демпфирование вынужденных резонансных изгибных колебаний изотропной вязкоупругой прямоугольной пластины с жестким защемлением торцов
von: Карнаухова, Т.В.
Veröffentlicht: (2009)

Разработка технологии ремонтной микроплазменной порошковой наплавки торцов бандажных полок рабочих лопаток ТВД авиационного двигателя
von: Ющенко, К.А., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Система непрерырвного мониторинга оборудования и технологичес- ких трубопроводов цеха производства аммиака Одесского припортового завода
Veröffentlicht: (2007)

Интегральные многообразия и экспоненциальное расщепление линейных параболических уравнений с быстро меняющимися коэффициентами
von: Белан, Е.П., et al.
Veröffentlicht: (1995)

Технологические источники ионов на основе контрагированных разрядов
von: Nikitinsky, V. A., et al.
Veröffentlicht: (2006)

Анализ энергетических и магнитных процессов в дросселях импульсных преобразователей электрической энергии
von: Kadatsky, A. F., et al.
Veröffentlicht: (2016)

Анализ влияния способа соединения столбиковых выводов интегральных схем на их сопротивление
von: Hotra, Z. Yu., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Влияние обработки водородом монокристаллов теллурида кадмия на их спектры оптического пропускания
von: Pigur, O. N., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Модель линии передачи для наноэлектроники
von: Nelin, E. A.
Veröffentlicht: (2009)

Влияние электрических параметров дуговой наплавки порошковой проволокой на стабильность процесса и проплавле- ние основного металла
von: Ланкин, Ю.Н., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Тепловизор на основе матричного фотоприемного устройства из 128×128 CdHgTe-фотодиодов
von: Reva, V. P., et al.
Veröffentlicht: (2010)

О гамильтоновой фоpмулиpовке уpавнений гидpодинамики сверхтекучего ³He-A
von: Исаев, A.A., et al.
Veröffentlicht: (1997)

Территориальные преобразования как процессы (на примере преобразования муниципальных образований в России)
von: Чертков, А.Н.
Veröffentlicht: (2011)

Інформацiйна технологiя визначення циркулюючих пухлинних клiтин в кровi людини
von: Злепко, С.М., et al.
Veröffentlicht: (2018)