Особенности плазмохимического травления торцов кремниевых пластин для фотоэлектрических преобразователей

Особенности плазмохимического травления торцов кремниевых пластин для фотоэлектрических преобразователей

Results of technological researches of plasmachemical reactor (PCR) for etching of silicon plate edges of photo-electric converters are described. Dependences of silicon etching speed on a discharge current, magnetic field intensity, quantity of the process able surface area and gases composition ar...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Дата:	2009
Автори:	Fedorovich, O. A., Kruglenko, M. P., Polozov, B. P.
Формат:	Стаття
Мова:	Ukrainian
Опубліковано:	PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2009
Теми:	плазмохимический реактор плазмохимическое травление монокремний скорость травления ток разряда фотоэлектрические преобразователи
Онлайн доступ:	https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2009.6.46
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Technology and design in electronic equipment

Репозитарії

Technology and design in electronic equipment

Схожі ресурси

Особенности плазмохимического травления торцов кремниевых пластин для фотоэлектрических преобразователей
за авторством: Федорович, О.А., та інші
Опубліковано: (2009)

Повышение надежности диодов Шоттки при воздействии разрядов cтатического электричества
за авторством: Sоlоdukha, V. A., та інші
Опубліковано: (2012)

Радиационная стойкость нитевидных кристаллов SiGe, используемых для сенсоров физических величин
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2011)

Изменение свойств пленок кремнийорганических стекол после термической и плазмохимической обработок
за авторством: Ivanchykau, A. E., та інші
Опубліковано: (2009)

Исследование свойств пленок нитрида и оксида кремния, полученных методом плазмохимического осаждения на кремниевую подложку
за авторством: Rubtsevich, I. I., та інші
Опубліковано: (2011)

Прогнозирование показателей надежности двухкаскадного термоэлектрического охлаждающего устройства в режиме ΔTmax
за авторством: Zaykov, V. P., та інші
Опубліковано: (2009)

Гетероструктуры на основе GaAs с квантовыми точками InAs для фотоэлектрических преобразователей
за авторством: Maronchuk, I. E., та інші
Опубліковано: (2008)

Словотвірна активність формата пре- в українській мов
за авторством: Іщук, М.В.
Опубліковано: (2002)

Влияние облучения кремния низкоэнергетическими ионами аргона на образование в нем электрически активных дефектов
за авторством: Popov, V. M., та інші
Опубліковано: (2009)

КИХ-фильтры с независимым управлением фазочастотной характеристикой
за авторством: Ivanov, V. V., та інші
Опубліковано: (2012)

КИХ-фильтры с независимым управлением фазочастотной характеристикой
за авторством: Иванов, В.В., та інші
Опубліковано: (2012)

Проблемы при измерениях интегральной чувствительности фотоприемников и некоторые пути их решения
за авторством: Doktorovich, I. V., та інші
Опубліковано: (2015)

Исследование методов размагничивания торцов труб при ремонтах магистральных трубопроводов
за авторством: Добродеев, П.Н.
Опубліковано: (2014)

Исаак Эзрович Дуван-Торцов. Его знала вся театральная Россия
за авторством: Степанова, Е.И.
Опубліковано: (2013)

Ювiлей Чардьза Дарвiна в медальєрному мистецтвi
за авторством: Блюм, Я.Б., та інші
Опубліковано: (2009)

ПОВЫШЕНИЕ ЭФФЕКТИВНОСТИ ВЫСОКОВОЛЬТНЫХ ЭЛЕКТРОРАЗРЯДНЫХ УСТАНОВОК, ИСПОЛЬЗУЮЩИХ ЭКЗОТЕРМИЧЕСКИЕ ДИСПЕРСНЫЕ СРЕДЫ
за авторством: Вовченко , А.И., та інші
Опубліковано: (2019)

Высокочастотный реактор с асимметричными электродами для плазмохимического травления полупроводников
за авторством: Дудин, С.В., та інші
Опубліковано: (2011)

Нулевой звук и квазиволна: разделе ние в магнитном поле
за авторством: Безуглый, Е.В., та інші
Опубліковано: (1995)

Альтернативний сплайсинг пре-мРНК гена інтерсектину 1: експресія транскрипційних ізоформ
за авторством: Циба, Л.О., та інші
Опубліковано: (2004)

Антиапоптотична дія нейропептиду лей-енкефаліну щодо лейкоцитів донорської крові, підданих холодовому стресу
за авторством: Гулевський, О.К., та інші
Опубліковано: (2019)

Оборудование для подготовки торцов труб применительно к сварке неповоротных стыков трубопроводов
за авторством: Лобанов, Л.М., та інші
Опубліковано: (2015)

Деформация трехслойных пластин со скользящей заделкой торцов и несовершенным контактом слоев
за авторством: Шевченко, В.П., та інші
Опубліковано: (2012)

Разработка процесса газофазного и плазмохимического осаждения покрытия на основе карбида бора
за авторством: Журавлев, А.Ю., та інші
Опубліковано: (2017)

Двухканальный переключатель СВЧ-мощности на основе электрически активных полупроводниковых структур
за авторством: Lavrich, Yu. N., та інші
Опубліковано: (2014)

К вопросу о специфике субстантивов на -ние, -ение в русском диалектном словообразовании
за авторством: Попова, Т.Н.
Опубліковано: (2006)

Особенности структурных превращений при спекании нанодисперсного монофазного порошка нитрида титана плазмохимического синтеза
за авторством: Кайдаш, О.Н.
Опубліковано: (2010)

Разработка процесса глубокого плазменного травления кремния для технологии трехмерной интеграции кристаллов
за авторством: Golishnikov, А. А., та інші
Опубліковано: (2014)

Теплотехнические характеристики радиатора для эффективных систем охлаждения радиоэлектронной техники
за авторством: Rudenko, A. I., та інші
Опубліковано: (2011)

Пучково-плазменный разряд в слабом магнитном поле как источник плазмы для плазмохимического реактора
за авторством: Шустин, Е.Г., та інші
Опубліковано: (2008)

Система непрерырвного мониторинга оборудования и технологичес- ких трубопроводов цеха производства аммиака Одесского припортового завода
Опубліковано: (2007)

Активное демпфирование вынужденных резонансных изгибных колебаний изотропной вязкоупругой прямоугольной пластины с жестким защемлением торцов
за авторством: Карнаухова, Т.В.
Опубліковано: (2009)

Разработка технологии ремонтной микроплазменной порошковой наплавки торцов бандажных полок рабочих лопаток ТВД авиационного двигателя
за авторством: Ющенко, К.А., та інші
Опубліковано: (2010)

Интегральные многообразия и экспоненциальное расщепление линейных параболических уравнений с быстро меняющимися коэффициентами
за авторством: Белан, Е.П., та інші
Опубліковано: (1995)

Автоматизированная система оперативного контроля процесса плазмохимического травления в реакторе на базе ВЧ индукционного разряда
за авторством: Дудин, С.В.
Опубліковано: (2006)

Исследование свойств пленок нитрида и оксида кремния, полученных методом плазмохимического осаждения на кремниевую подложку
за авторством: Рубцевич, И.И., та інші
Опубліковано: (2011)

ПЛОТНОСТЬ ЭЛЕКТРОНОВ В ОДНОКАНАЛЬНОМ ТЛЕЮЩЕМ РАЗРЯДЕ АТМОСФЕРНОГО ДАВЛЕНИЯ НА ПОВЕРХНОСТЬ ДИСТИЛЛИРОВАННОЙ ВОДЫ
за авторством: Шуаибов, А.К., та інші
Опубліковано: (2016)

Анализ энергетических и магнитных процессов в дросселях импульсных преобразователей электрической энергии
за авторством: Kadatsky, A. F., та інші
Опубліковано: (2016)

Модель линии передачи для наноэлектроники
за авторством: Nelin, E. A.
Опубліковано: (2009)

Влияние обработки водородом монокристаллов теллурида кадмия на их спектры оптического пропускания
за авторством: Pigur, O. N., та інші
Опубліковано: (2011)

Анализ влияния способа соединения столбиковых выводов интегральных схем на их сопротивление
за авторством: Hotra, Z. Yu., та інші
Опубліковано: (2009)