Зображення обкладинки

Особенности плазмохимического травления торцов кремниевых пластин для фотоэлектрических преобразователей

Results of technological researches of plasmachemical reactor (PCR) for etching of silicon plate edges of photo-electric converters are described. Dependences of silicon etching speed on a discharge current, magnetic field intensity, quantity of the process able surface area and gases composition ar...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Дата:	2009
Автори:	Fedorovich, O. A., Kruglenko, M. P., Polozov, B. P.
Формат:	Стаття
Мова:	Українська
Опубліковано:	PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2009
Теми:	плазмохимический реактор плазмохимическое травление монокремний скорость травления ток разряда фотоэлектрические преобразователи
Онлайн доступ:	https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2009.6.46
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Technology and design in electronic equipment

Репозитарії

Technology and design in electronic equipment

Схожі ресурси

Повышение надежности диодов Шоттки при воздействии разрядов cтатического электричества
за авторством: Sоlоdukha, V. A., та інші
Опубліковано: (2012)

Радиационная стойкость нитевидных кристаллов SiGe, используемых для сенсоров физических величин
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2011)

Особенности плазмохимического травления торцов кремниевых пластин для фотоэлектрических преобразователей
за авторством: Федорович, О.А., та інші
Опубліковано: (2009)

Прогнозирование показателей надежности двухкаскадного термоэлектрического охлаждающего устройства в режиме ΔTmax
за авторством: Zaykov, V. P., та інші
Опубліковано: (2009)

Словотвірна активність формата пре- в українській мов
за авторством: Іщук, М.В.
Опубліковано: (2002)

Об одной задаче теории неустановившихся движений грунтовых вод
за авторством: Соколов, Ю. Д., та інші
Опубліковано: (1953)

КИХ-фильтры с независимым управлением фазочастотной характеристикой
за авторством: Ivanov, V. V., та інші
Опубліковано: (2012)

КИХ-фильтры с независимым управлением фазочастотной характеристикой
за авторством: Иванов, В.В., та інші
Опубліковано: (2012)

Влияние облучения кремния низкоэнергетическими ионами аргона на образование в нем электрически активных дефектов
за авторством: Popov, V. M., та інші
Опубліковано: (2009)

Адсорбционно-кинетическая модель осаждения пленок поликристаллического кремния, легированных фосфором в процессе роста
за авторством: Nalivaiko, O. Yu., та інші
Опубліковано: (2009)

Исследование свойств пленок нитрида и оксида кремния, полученных методом плазмохимического осаждения на кремниевую подложку
за авторством: Rubtsevich, I. I., та інші
Опубліковано: (2011)

Исаак Эзрович Дуван-Торцов. Его знала вся театральная Россия
за авторством: Степанова, Е.И.
Опубліковано: (2013)

Исследование методов размагничивания торцов труб при ремонтах магистральных трубопроводов
за авторством: Добродеев, П.Н.
Опубліковано: (2014)

Нулевой звук и квазиволна: разделе ние в магнитном поле
за авторством: Безуглый, Е.В., та інші
Опубліковано: (1995)

Влияние термического окисления на анизотропию электропроводности и фотопроводимости наноструктурированного кремния
за авторством: Forsh, P. A., та інші
Опубліковано: (2009)

Альтернативний сплайсинг пре-мРНК гена інтерсектину 1: експресія транскрипційних ізоформ
за авторством: Циба, Л.О., та інші
Опубліковано: (2004)

Ювiлей Чардьза Дарвiна в медальєрному мистецтвi
за авторством: Блюм, Я.Б., та інші
Опубліковано: (2009)

Оборудование для подготовки торцов труб применительно к сварке неповоротных стыков трубопроводов
за авторством: Лобанов, Л.М., та інші
Опубліковано: (2015)

Деформация трехслойных пластин со скользящей заделкой торцов и несовершенным контактом слоев
за авторством: Шевченко, В.П., та інші
Опубліковано: (2012)

Антиапоптотична дія нейропептиду лей-енкефаліну щодо лейкоцитів донорської крові, підданих холодовому стресу
за авторством: Гулевський, О.К., та інші
Опубліковано: (2019)

ПОВЫШЕНИЕ ЭФФЕКТИВНОСТИ ВЫСОКОВОЛЬТНЫХ ЭЛЕКТРОРАЗРЯДНЫХ УСТАНОВОК, ИСПОЛЬЗУЮЩИХ ЭКЗОТЕРМИЧЕСКИЕ ДИСПЕРСНЫЕ СРЕДЫ
за авторством: Вовченко , А.И., та інші
Опубліковано: (2019)

Вплив лей-енкефаліну (даларгіну) на розвиток апоптозу і некрозу лейкоцитів після холодового стресу
за авторством: Moisieieva, Nataliia, та інші
Опубліковано: (2022)

К вопросу о специфике субстантивов на -ние, -ение в русском диалектном словообразовании
за авторством: Попова, Т.Н.
Опубліковано: (2006)

Двухканальный переключатель СВЧ-мощности на основе электрически активных полупроводниковых структур
за авторством: Lavrich, Yu. N., та інші
Опубліковано: (2014)

Антиапоптотична дія синтетичного лей-енкефаліну даларгіну на лейкоцити щурів у моделі холодового стресу in vivo
за авторством: Shcheniavsky, Ivan
Опубліковано: (2021)

Теплотехнические характеристики радиатора для эффективных систем охлаждения радиоэлектронной техники
за авторством: Rudenko, A. I., та інші
Опубліковано: (2011)

Активное демпфирование вынужденных резонансных изгибных колебаний изотропной вязкоупругой прямоугольной пластины с жестким защемлением торцов
за авторством: Карнаухова, Т.В.
Опубліковано: (2009)

Разработка технологии ремонтной микроплазменной порошковой наплавки торцов бандажных полок рабочих лопаток ТВД авиационного двигателя
за авторством: Ющенко, К.А., та інші
Опубліковано: (2010)

Система непрерырвного мониторинга оборудования и технологичес- ких трубопроводов цеха производства аммиака Одесского припортового завода
Опубліковано: (2007)

Интегральные многообразия и экспоненциальное расщепление линейных параболических уравнений с быстро меняющимися коэффициентами
за авторством: Белан, Е.П., та інші
Опубліковано: (1995)

Технологические источники ионов на основе контрагированных разрядов
за авторством: Nikitinsky, V. A., та інші
Опубліковано: (2006)

Анализ энергетических и магнитных процессов в дросселях импульсных преобразователей электрической энергии
за авторством: Kadatsky, A. F., та інші
Опубліковано: (2016)

Анализ влияния способа соединения столбиковых выводов интегральных схем на их сопротивление
за авторством: Hotra, Z. Yu., та інші
Опубліковано: (2009)

Влияние обработки водородом монокристаллов теллурида кадмия на их спектры оптического пропускания
за авторством: Pigur, O. N., та інші
Опубліковано: (2011)

Модель линии передачи для наноэлектроники
за авторством: Nelin, E. A.
Опубліковано: (2009)

Влияние электрических параметров дуговой наплавки порошковой проволокой на стабильность процесса и проплавле- ние основного металла
за авторством: Ланкин, Ю.Н., та інші
Опубліковано: (2014)

Тепловизор на основе матричного фотоприемного устройства из 128×128 CdHgTe-фотодиодов
за авторством: Reva, V. P., та інші
Опубліковано: (2010)

О гамильтоновой фоpмулиpовке уpавнений гидpодинамики сверхтекучего ³He-A
за авторством: Исаев, A.A., та інші
Опубліковано: (1997)

Территориальные преобразования как процессы (на примере преобразования муниципальных образований в России)
за авторством: Чертков, А.Н.
Опубліковано: (2011)

Інформацiйна технологiя визначення циркулюючих пухлинних клiтин в кровi людини
за авторством: Злепко, С.М., та інші
Опубліковано: (2018)