Зображення обкладинки

Особенности плазмохимического травления торцов кремниевых пластин для фотоэлектрических преобразователей

Results of technological researches of plasmachemical reactor (PCR) for etching of silicon plate edges of photo-electric converters are described. Dependences of silicon etching speed on a discharge current, magnetic field intensity, quantity of the process able surface area and gases composition ar...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Дата:	2009
Автори:	Fedorovich, O. A., Kruglenko, M. P., Polozov, B. P.
Формат:	Стаття
Мова:	Українська
Опубліковано:	PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2009
Теми:	плазмохимический реактор плазмохимическое травление монокремний скорость травления ток разряда фотоэлектрические преобразователи
Онлайн доступ:	https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2009.6.46
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Technology and design in electronic equipment

Репозитарії

Technology and design in electronic equipment

Схожі ресурси

Особенности плазмохимического травления торцов кремниевых пластин для фотоэлектрических преобразователей
за авторством: Федорович, О.А., та інші
Опубліковано: (2009)

Режим работы двухкаскадного термоэлектрического охлаждающего устройства, обеспечивающий минимальную интенсивность отказов
за авторством: Dudin, S. V., та інші
Опубліковано: (2011)

Изменение свойств пленок кремнийорганических стекол после термической и плазмохимической обработок
за авторством: Ivanchykau, A. E., та інші
Опубліковано: (2009)

Влияние параметров ВЧ-разряда и параметров нагревателя на температуру подложки в плазмохимическом реакторе «Алмаз» для синтеза углеродных алмазоподобных пленок
за авторством: Hladkovskiy, V. V., та інші
Опубліковано: (2014)

Словотвірна активність формата пре- в українській мов
за авторством: Іщук, М.В.
Опубліковано: (2002)

КИХ-фильтры с независимым управлением фазочастотной характеристикой
за авторством: Ivanov, V. V., та інші
Опубліковано: (2012)

Высокочастотный реактор с асимметричными электродами для плазмохимического травления полупроводников
за авторством: Дудин, С.В., та інші
Опубліковано: (2011)

Исследование методов размагничивания торцов труб при ремонтах магистральных трубопроводов
за авторством: Добродеев, П.Н.
Опубліковано: (2014)

Оборудование для подготовки торцов труб применительно к сварке неповоротных стыков трубопроводов
за авторством: Лобанов, Л.М., та інші
Опубліковано: (2015)

ПОВЫШЕНИЕ ЭФФЕКТИВНОСТИ ВЫСОКОВОЛЬТНЫХ ЭЛЕКТРОРАЗРЯДНЫХ УСТАНОВОК, ИСПОЛЬЗУЮЩИХ ЭКЗОТЕРМИЧЕСКИЕ ДИСПЕРСНЫЕ СРЕДЫ
за авторством: Вовченко , А.И., та інші
Опубліковано: (2019)

Антиапоптотична дія нейропептиду лей-енкефаліну щодо лейкоцитів донорської крові, підданих холодовому стресу
за авторством: Гулевський, О.К., та інші
Опубліковано: (2019)

Вплив лей-енкефаліну (даларгіну) на розвиток апоптозу і некрозу лейкоцитів після холодового стресу
за авторством: Moisieieva, Nataliia, та інші
Опубліковано: (2022)

Двухканальный переключатель СВЧ-мощности на основе электрически активных полупроводниковых структур
за авторством: Lavrich, Yu. N., та інші
Опубліковано: (2014)

Антиапоптотична дія синтетичного лей-енкефаліну даларгіну на лейкоцити щурів у моделі холодового стресу in vivo
за авторством: Shcheniavsky, Ivan
Опубліковано: (2021)

К вопросу о специфике субстантивов на -ние, -ение в русском диалектном словообразовании
за авторством: Попова, Т.Н.
Опубліковано: (2006)

Прогнозирование показателей надежности двухкаскадного термоэлектрического охлаждающего устройства в режиме ΔTmax
за авторством: Zaykov, V. P., та інші
Опубліковано: (2009)

Радиационная стойкость нитевидных кристаллов SiGe, используемых для сенсоров физических величин
за авторством: Druzhinin, A. A., та інші
Опубліковано: (2011)

Система непрерырвного мониторинга оборудования и технологичес- ких трубопроводов цеха производства аммиака Одесского припортового завода
Опубліковано: (2007)

Активное демпфирование вынужденных резонансных изгибных колебаний изотропной вязкоупругой прямоугольной пластины с жестким защемлением торцов
за авторством: Карнаухова, Т.В.
Опубліковано: (2009)

Разработка технологии ремонтной микроплазменной порошковой наплавки торцов бандажных полок рабочих лопаток ТВД авиационного двигателя
за авторством: Ющенко, К.А., та інші
Опубліковано: (2010)

Разработка процесса глубокого плазменного травления кремния для технологии трехмерной интеграции кристаллов
за авторством: Golishnikov, А. А., та інші
Опубліковано: (2014)

Интегральные многообразия и экспоненциальное расщепление линейных параболических уравнений с быстро меняющимися коэффициентами
за авторством: Белан, Е.П., та інші
Опубліковано: (1995)

Тепловизор на основе матричного фотоприемного устройства из 128×128 CdHgTe-фотодиодов
за авторством: Reva, V. P., та інші
Опубліковано: (2010)

Анализ влияния способа соединения столбиковых выводов интегральных схем на их сопротивление
за авторством: Hotra, Z. Yu., та інші
Опубліковано: (2009)

Влияние электрических параметров дуговой наплавки порошковой проволокой на стабильность процесса и проплавле- ние основного металла
за авторством: Ланкин, Ю.Н., та інші
Опубліковано: (2014)

Территориальные преобразования как процессы (на примере преобразования муниципальных образований в России)
за авторством: Чертков, А.Н.
Опубліковано: (2011)

Функцiональний стан фотосинтетичного апарату клiтин Euglena gracilis при мiксотрофному культивуваннi
за авторством: Мокросноп, В.М., та інші
Опубліковано: (2015)

ПЛОТНОСТЬ ЭЛЕКТРОНОВ В ОДНОКАНАЛЬНОМ ТЛЕЮЩЕМ РАЗРЯДЕ АТМОСФЕРНОГО ДАВЛЕНИЯ НА ПОВЕРХНОСТЬ ДИСТИЛЛИРОВАННОЙ ВОДЫ
за авторством: Шуаибов, А.К., та інші
Опубліковано: (2016)

Исследование свойств пленок нитрида и оксида кремния, полученных методом плазмохимического осаждения на кремниевую подложку
за авторством: Rubtsevich, I. I., та інші
Опубліковано: (2011)

Обеспечение заданной длины проводников в САПР TopoR
за авторством: Lysenko, A. A., та інші
Опубліковано: (2009)

Влияние облучения кремния низкоэнергетическими ионами аргона на образование в нем электрически активных дефектов
за авторством: Popov, V. M., та інші
Опубліковано: (2009)

Законодавче забезпечення господарських відносин у сфері сільського туризму
за авторством: Кафарський, О.В.
Опубліковано: (2011)

Застосування iнформацiйної технологiї визначення циркулюючих пухлинних клiтин для дiагностування злоякiсних пухлинних захворювань
за авторством: Азархов, О.Ю., та інші
Опубліковано: (2020)

Порівняльний аналіз чисельних алгоритмів на базі ГО/ФО, FDTD та інтегральних рівнянь для аналізу компактних діелектричних лінз для інтегральних антен міліметрового та субміліметрового діапазонів
за авторством: Борискін, А.В., та інші
Опубліковано: (2007)

Участь громадських організацій у забезпеченні безпеки учасників кримінального судочинства
за авторством: Гриньків, О.О.
Опубліковано: (2011)

Метод считывания и обработки стационарных интерференционных картин
за авторством: Ilyin, V. N., та інші
Опубліковано: (2009)

Фоpмиpование дальнего феppимагнитного поpядка в pазбавленных шпинелях Li₀,₅Fe₂,₅₋xGaxO₄ вблизи мультикpитической точки
за авторством: Ефимова, Н.Н.
Опубліковано: (1997)

Рассмотрены процессы получения микросварных соединений повышенной плотности в 3D интегральных схемах термозвуковой микросваркой, включающие использование повышенных частот ультразвука, применение микроинструмента с утонением рабочего торца и прецизион
за авторством: Lanin, V. L., та інші
Опубліковано: (2014)

Адсорбционно-кинетическая модель осаждения пленок поликристаллического кремния, легированных фосфором в процессе роста
за авторством: Nalivaiko, O. Yu., та інші
Опубліковано: (2009)

Первичные преобразователи для микродатчиков ускорения и давления на алмазных материалах
за авторством: Altuchov, A. A., та інші
Опубліковано: (2009)