Особенности плазмохимического травления торцов кремниевых пластин для фотоэлектрических преобразователей

Особенности плазмохимического травления торцов кремниевых пластин для фотоэлектрических преобразователей

Results of technological researches of plasmachemical reactor (PCR) for etching of silicon plate edges of photo-electric converters are described. Dependences of silicon etching speed on a discharge current, magnetic field intensity, quantity of the process able surface area and gases composition ar...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Datum:	2009
Hauptverfasser:	Fedorovich, O. A., Kruglenko, M. P., Polozov, B. P.
Format:	Artikel
Sprache:	Ukrainian
Veröffentlicht:	PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2009
Schlagworte:	плазмохимический реактор плазмохимическое травление монокремний скорость травления ток разряда фотоэлектрические преобразователи
Online Zugang:	https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2009.6.46
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:	Technology and design in electronic equipment

Institution

Technology and design in electronic equipment

Ähnliche Einträge

Особенности плазмохимического травления торцов кремниевых пластин для фотоэлектрических преобразователей
von: Федорович, О.А., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Повышение надежности диодов Шоттки при воздействии разрядов cтатического электричества
von: Sоlоdukha, V. A., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Радиационная стойкость нитевидных кристаллов SiGe, используемых для сенсоров физических величин
von: Druzhinin, A. A., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Изменение свойств пленок кремнийорганических стекол после термической и плазмохимической обработок
von: Ivanchykau, A. E., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Исследование свойств пленок нитрида и оксида кремния, полученных методом плазмохимического осаждения на кремниевую подложку
von: Rubtsevich, I. I., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Прогнозирование показателей надежности двухкаскадного термоэлектрического охлаждающего устройства в режиме ΔTmax
von: Zaykov, V. P., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Гетероструктуры на основе GaAs с квантовыми точками InAs для фотоэлектрических преобразователей
von: Maronchuk, I. E., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Словотвірна активність формата пре- в українській мов
von: Іщук, М.В.
Veröffentlicht: (2002)

Влияние облучения кремния низкоэнергетическими ионами аргона на образование в нем электрически активных дефектов
von: Popov, V. M., et al.
Veröffentlicht: (2009)

КИХ-фильтры с независимым управлением фазочастотной характеристикой
von: Ivanov, V. V., et al.
Veröffentlicht: (2012)

КИХ-фильтры с независимым управлением фазочастотной характеристикой
von: Иванов, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Проблемы при измерениях интегральной чувствительности фотоприемников и некоторые пути их решения
von: Doktorovich, I. V., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Исследование методов размагничивания торцов труб при ремонтах магистральных трубопроводов
von: Добродеев, П.Н.
Veröffentlicht: (2014)

Исаак Эзрович Дуван-Торцов. Его знала вся театральная Россия
von: Степанова, Е.И.
Veröffentlicht: (2013)

Ювiлей Чардьза Дарвiна в медальєрному мистецтвi
von: Блюм, Я.Б., et al.
Veröffentlicht: (2009)

ПОВЫШЕНИЕ ЭФФЕКТИВНОСТИ ВЫСОКОВОЛЬТНЫХ ЭЛЕКТРОРАЗРЯДНЫХ УСТАНОВОК, ИСПОЛЬЗУЮЩИХ ЭКЗОТЕРМИЧЕСКИЕ ДИСПЕРСНЫЕ СРЕДЫ
von: Вовченко , А.И., et al.
Veröffentlicht: (2019)

Высокочастотный реактор с асимметричными электродами для плазмохимического травления полупроводников
von: Дудин, С.В., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Нулевой звук и квазиволна: разделе ние в магнитном поле
von: Безуглый, Е.В., et al.
Veröffentlicht: (1995)

Альтернативний сплайсинг пре-мРНК гена інтерсектину 1: експресія транскрипційних ізоформ
von: Циба, Л.О., et al.
Veröffentlicht: (2004)

Антиапоптотична дія нейропептиду лей-енкефаліну щодо лейкоцитів донорської крові, підданих холодовому стресу
von: Гулевський, О.К., et al.
Veröffentlicht: (2019)

Оборудование для подготовки торцов труб применительно к сварке неповоротных стыков трубопроводов
von: Лобанов, Л.М., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Деформация трехслойных пластин со скользящей заделкой торцов и несовершенным контактом слоев
von: Шевченко, В.П., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Разработка процесса газофазного и плазмохимического осаждения покрытия на основе карбида бора
von: Журавлев, А.Ю., et al.
Veröffentlicht: (2017)

Двухканальный переключатель СВЧ-мощности на основе электрически активных полупроводниковых структур
von: Lavrich, Yu. N., et al.
Veröffentlicht: (2014)

К вопросу о специфике субстантивов на -ние, -ение в русском диалектном словообразовании
von: Попова, Т.Н.
Veröffentlicht: (2006)

Особенности структурных превращений при спекании нанодисперсного монофазного порошка нитрида титана плазмохимического синтеза
von: Кайдаш, О.Н.
Veröffentlicht: (2010)

Разработка процесса глубокого плазменного травления кремния для технологии трехмерной интеграции кристаллов
von: Golishnikov, А. А., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Теплотехнические характеристики радиатора для эффективных систем охлаждения радиоэлектронной техники
von: Rudenko, A. I., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Пучково-плазменный разряд в слабом магнитном поле как источник плазмы для плазмохимического реактора
von: Шустин, Е.Г., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Система непрерырвного мониторинга оборудования и технологичес- ких трубопроводов цеха производства аммиака Одесского припортового завода
Veröffentlicht: (2007)

Активное демпфирование вынужденных резонансных изгибных колебаний изотропной вязкоупругой прямоугольной пластины с жестким защемлением торцов
von: Карнаухова, Т.В.
Veröffentlicht: (2009)

Разработка технологии ремонтной микроплазменной порошковой наплавки торцов бандажных полок рабочих лопаток ТВД авиационного двигателя
von: Ющенко, К.А., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Интегральные многообразия и экспоненциальное расщепление линейных параболических уравнений с быстро меняющимися коэффициентами
von: Белан, Е.П., et al.
Veröffentlicht: (1995)

Автоматизированная система оперативного контроля процесса плазмохимического травления в реакторе на базе ВЧ индукционного разряда
von: Дудин, С.В.
Veröffentlicht: (2006)

Исследование свойств пленок нитрида и оксида кремния, полученных методом плазмохимического осаждения на кремниевую подложку
von: Рубцевич, И.И., et al.
Veröffentlicht: (2011)

ПЛОТНОСТЬ ЭЛЕКТРОНОВ В ОДНОКАНАЛЬНОМ ТЛЕЮЩЕМ РАЗРЯДЕ АТМОСФЕРНОГО ДАВЛЕНИЯ НА ПОВЕРХНОСТЬ ДИСТИЛЛИРОВАННОЙ ВОДЫ
von: Шуаибов, А.К., et al.
Veröffentlicht: (2016)

Анализ энергетических и магнитных процессов в дросселях импульсных преобразователей электрической энергии
von: Kadatsky, A. F., et al.
Veröffentlicht: (2016)

Модель линии передачи для наноэлектроники
von: Nelin, E. A.
Veröffentlicht: (2009)

Влияние обработки водородом монокристаллов теллурида кадмия на их спектры оптического пропускания
von: Pigur, O. N., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Анализ влияния способа соединения столбиковых выводов интегральных схем на их сопротивление
von: Hotra, Z. Yu., et al.
Veröffentlicht: (2009)