Газочувствительные структуры "силицид кобальта – пористый кремний – кремний"
The phenomena of local nucleation and subsequent lateral crystallization of the CoSi2 silicide phase on the surface of porous silicon have been studied. A technology for forming a metallic electrode grid based on cobalt silicide for gas-sensitive surface-barrier silicon structures is proposed. Mult...
Збережено в:
| Дата: | 2006 |
|---|---|
| Автори: | , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Українська |
| Опубліковано: |
PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers
2006
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2006.1.34 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Technology and design in electronic equipment |