Buchumschlag

Система фотометрического контроля скорости травления тонких диэлектрических пленок

A methodology for photometric control of the etching rate of thin dielectric films is proposed, the essence of which consists in applying methods of double differentiation and time intervals to the signal of a photometric measuring device. An automated photometric system implementing this methodolo...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Datum:	2006
Hauptverfasser:	Semyonova, S. E., Semyonov, E. I.
Format:	Artikel
Sprache:	Ukrainisch
Veröffentlicht:	PE "Politekhperiodika", Book and Journal Publishers 2006
Schlagworte:	автоматизация фотометрический контроль скорость травления диэлектрические пленки тонкие пленки
Online Zugang:	https://www.tkea.com.ua/index.php/journal/article/view/TKEA2006.1.43
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:	Technology and design in electronic equipment

Institution

Technology and design in electronic equipment

Ähnliche Einträge

Изменение свойств пленок кремнийорганических стекол после термической и плазмохимической обработок
von: Ivanchykau, A. E., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Surface and electron structure of the 6H-SiC(0001)-(3×3) surface and ultrathin Ag films on Si(111) and Si(001)
von: Gasparov, V.A.
Veröffentlicht: (2011)

Магнитная структура тонкой ферромагнитной пленки на шероховатой поверхности антиферромагнетика
von: Ковалев, А.С., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Квадратичная температурная зависимость магнитосопротивления чистых монокристаллов вольфрама в условиях статического скин-эффекта
von: Марченков, В.В.
Veröffentlicht: (2011)

Коррозия тонких пленок стали в кислотной среде под действием магнитного поля
von: Андреева, А.Ф., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Измерение толщины покрытий в процессе их нанесения с помощью емкостного датчика
von: Istomin, A. S., et al.
Veröffentlicht: (2006)

Фотоприемники ультрафиолетового излучения на основе тонких пленок ZnS
von: Bobrenko, Yu. N., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Особенности формирования структурно-фазового состояния медьсодержащих фуллеритовых пленок
von: Баран, Л.В.
Veröffentlicht: (2011)

Механические свойства аморфных и нанокристаллических пленок кремния и карбида кермния
von: Куликовский, В.Ю., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Свойства многослойных наноразмерных пленок Ni/Y₂O₃, выращенных в магнитном поле
von: Андреева, А.Ф., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Влияние отжига на структуру и механические свойства плазмохимических SiCN-пленок из гексаметилдисилазана
von: Порада, А.К., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Получение, свойства и применение тонких нанонеоднородных пленок Ge на GaAs-подложках
von: Venger, E. F., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Влияние атмосферного кислорода на состав и кинетические свойства тонких плёнок висмута
von: Добротворская, М.В., et al.
Veröffentlicht: (2017)

Магнітокеровані наноструктурні матеріали та їхня взаємодія з нуклеїновими кислотами
von: Семко, Л.С., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Структурные изменения при отжиге в композиционных пленках системы углерод – медь
von: Оноприенко, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Сенсори водню на основі нанорозмірного діоксиду олова
von: Бувайло, А.І., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Свойства наноструктуры Fe₃O₄/Y₂O₃/Fe₃O₄ при работе на переменном токе
von: Андреева, А.Ф., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Влияние микроструктуры вакуумных конденсатов никеля на их прочностные свойства
von: Устинов, А.И., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Структурні та механічні властивості аморфних і полікристалічних плівок B₄C
von: Куликовський, B.Ю., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Особенности плазмохимического травления торцов кремниевых пластин для фотоэлектрических преобразователей
von: Fedorovich, O. A., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Исследование свойств пленок нитрида и оксида кремния, полученных методом плазмохимического осаждения на кремниевую подложку
von: Rubtsevich, I. I., et al.
Veröffentlicht: (2011)

Термостабильность наноразмерных плёнок Co—Sb
von: Макогон, Ю.Н., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Вплив підшарів ґерманію на оптичну провідність тонких плівок золота
von: Бігун, Р.І., et al.
Veröffentlicht: (2018)

Еліпсометричні властивості тонких плівок молібдену при збудженні поверхневих поляритонів
von: Лендел, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2014)

О механизме формирования рентгеноаморфной структуры плёнок сплавов Ni—W
von: Точицкий, Т.А., et al.
Veröffentlicht: (2013)

Структура и свойства кислородосодержащих плёнок диборида магния (MgB₂)
von: Прихна, Т.А., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Вплив підшарів германію на поріг протікання струму в тонких плівках міді
von: Бігун, Р.І., et al.
Veröffentlicht: (2013)

Структура и свойства никелевых плёнок, электроосаждённых при лазерно-стимулированном потенциостатическом режиме
von: Заблудовский, В.А., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Эффект Фарадея в тонких плёнках металлов Fe, Co, Ni на подложках из полиэтилентерефталата
von: Шаповал, К.О., et al.
Veröffentlicht: (2017)

Влияние среды отжига на формирование наноразмерных плёнок Co–Sb — функциональных термоэлектрических элементов
von: Макогон, Ю.Н., et al.
Veröffentlicht: (2017)

Вплив проміжного нанопрошарку на кінетику фазоутворення та впорядкування в тонких плівках — моделювання середньопольовою кінетичною методою
von: Безпальчук, В.М., et al.
Veröffentlicht: (2017)

Переохлаждение при кристаллизации тонких слоёв сплава Bi + 7% масс. Sn, находящихся в контакте с кристаллической медью
von: Дукаров, С.В., et al.
Veröffentlicht: (2017)

Низкотемпературная модификация медных пленок под воздействием атомарного водорода
von: Zhavzharov, E. L., et al.
Veröffentlicht: (2006)

Измерительное плечо интерферометра миллиметрового диапазона для контроля толщины тонких диэлектрических пленок
von: Буданов, В.Е., et al.
Veröffentlicht: (2007)

Модуляционная поляриметрия полного внутреннего отражения, нарушенного алмазоподобными пленками
von: Maximenko, L. S., et al.
Veröffentlicht: (2013)

Состояние и основные направления развития температурного и теплофизического контроля металлургических процессов
von: Жуков, Л.Ф.
Veröffentlicht: (2006)

Строение и высокотемпературная сверхпроводимость пленок Bi₂Sr₂CaCu₂Oᵧ
von: Samoylovich, M. I., et al.
Veröffentlicht: (2007)

Прогноз диэлектрических потерь в стеклокерамике для разных соотношений массовых долей компонентов
von: Dmitriev, M. V., et al.
Veröffentlicht: (2012)

Свойства и практическое применение нанокристаллических пленок оксида церия
von: Maksimchuk, N. V., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Low-Temperature Interdiffusion and Ordered Phase Formation in Au/Cu Nanocrystalline Thin Films at the Different Atmospheres
von: Tynkova, A.A., et al.
Veröffentlicht: (2014)