Зображення обкладинки

In-process monitoring of shape accuracy of flat surfaces of optical and microelectronic components in polishing

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Дата:	2017
Автори:	Ju. D. Filatov, V. I. Sidorko, S. V. Kovalev, Ju. Filatov, G. Montej
Формат:	Стаття
Мова:	Англійська
Опубліковано:	2017
Назва видання:	Superhard Materials
Онлайн доступ:	http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000850183
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Library portal of National Academy of Sciences of Ukraine \| LibNAS

Репозитарії

Library portal of National Academy of Sciences of Ukraine | LibNAS

Схожі ресурси

Precision shaping flat surfaces details of optics and microelectronics when polishing
за авторством: Ju. D. Filatov, та інші
Опубліковано: (2016)

Formation of flat surfaces of optoelectronic components in diamond polishing
за авторством: Ju. D. Filatov, та інші
Опубліковано: (2017)

Polished surface roughness of optoelectronic components made of monocrystalline materials
за авторством: Ju. Filatov, та інші
Опубліковано: (2016)

Surface roughness of optoelectronic components in mechanical polishing
за авторством: Ju. D. Filatov
Опубліковано: (2018)

Influence of parameters of structure of the processed material on polishing indicators optical surfaces
за авторством: Yu. D. Filatov, та інші
Опубліковано: (2021)

Influence of spectroscopic parameters of the processed material and polishing powder for polishing of optical surfaces
за авторством: Yu. D. Filatov, та інші
Опубліковано: (2022)

Formation and localization of deposit from wear of polishing powder nanoparticles on treated surface during polishing of polymer optical materials
за авторством: Yu. D. Filatov, та інші
Опубліковано: (2024)

Influence of dielectric characteristics of the processed material, polishing powder and dispersed system on the energy of their interaction during polishing of optical surfaces
за авторством: Yu. D. Filatov, та інші
Опубліковано: (2022)

Education of sludge particles and wear particles polishing powder in the polishing process nitride aluminum
за авторством: Ju. D. Filatov, та інші
Опубліковано: (2017)

Interaction between debris particles and polishing powder wear particles in polishing optoelectronic components
за авторством: Ju. D. Filatov
Опубліковано: (2018)

Transfer energy during the interaction of the optical surface with the polishing dispersion system
за авторством: Yu. D. Filatov, та інші
Опубліковано: (2022)

Efficiency of polishing of anisotropic single-crystal materials for optoelectronics
за авторством: Ju. Filatov, та інші
Опубліковано: (2016)

The microelectronic inductive balanced sensors with coils of square and triangular shape
за авторством: O. N. Negodenko, та інші
Опубліковано: (2002)

Influence of inter-molecular interaction of particles of polishing powder with the processed material on indicators of polishing of optical surfaces
за авторством: Yu. D. Filatov, та інші
Опубліковано: (2021)

Polishing of precision surfaces of optoelectronic technology elements from glass, sitals, optical and semiconductor crystals. Review
за авторством: Yu. D. Filatov
Опубліковано: (2020)

Roughness of polished surfaces of optoelectronic elements made of polymeric optical materials
за авторством: Yu. D. Filatov, та інші
Опубліковано: (2023)

Material removal rate in polishing of polymer optical materials
за авторством: Yu. D. Filatov, та інші
Опубліковано: (2022)

Effect of rheological properties of dispersed system on polishing indicators of optical glass and glassceramics
за авторством: Yu. D. Filatov, та інші
Опубліковано: (2021)

Thermal simulation of heterogeneous structural components in microelectronic devices
за авторством: V. I. Gavrysh, та інші
Опубліковано: (2010)

Polishing substrates of single crystal silicon carbide and sapphire for optoelectronics
за авторством: Filatov, O.Yu., та інші
Опубліковано: (2016)

Interaction of sludge particles and wear particles of polishing powder during polishing of polymeric optical materials
за авторством: Yu. D. Filatov, та інші
Опубліковано: (2023)

Diamond polishing of crystalline materials for optoelectronics
за авторством: Ju. D. Filatov
Опубліковано: (2017)

New regularities of polishing surfaces of parts made of non-metallic materials
за авторством: Yu. D. Filatov
Опубліковано: (2023)

A mechanism of diamond-abrasive finishing of monocrystalline silicon carbide
за авторством: Ju. D. Filatov, та інші
Опубліковано: (2013)

Microelectronic multi_parametrical biosensors
за авторством: M. F. Starodub, та інші
Опубліковано: (2008)

Separate determination of thickness and optical parameters by surface plasmon resonance: accuracy consideration
за авторством: Rengevych, O.V., та інші
Опубліковано: (1999)

Assembly technology and design features of microelectronic coordinate-sensitive detectors
за авторством: V. P. Sidorenko, та інші
Опубліковано: (2018)

Material removal rate in polishing polymethymethacrylate parts
за авторством: Yu. D. Filatov
Опубліковано: (2024)

Polishing of opto-electronic equipment elements from single-crystal silicon carbide
за авторством: Ju. D. Filatov, та інші
Опубліковано: (2015)

Ion beam system for nanotrimming of functional microelectronics layers
за авторством: Bizyukov, A.A., та інші
Опубліковано: (2011)

Fatigue of NPP Components and Piping under Service Conditions
за авторством: Filatov, V.M.
Опубліковано: (2004)

Relationship of transfer coefficients with transfer energy during polishing of non-metallic materials
за авторством: Yu. D. Filatov
Опубліковано: (2022)

Flat Chiral Irises in a Square Waveguide and Displays of “Optical Activity”
за авторством: Kolmakova, N. G., та інші
Опубліковано: (2012)

About accuracy of economic indicators
за авторством: Ju. Arkhangelskij
Опубліковано: (2013)

Investigation of temperature fields in microelectronic devices of layered structure with through inclusions
за авторством: V. I. Gavrysh, та інші
Опубліковано: (2017)

Electric current, thermocurrent, and heat flux in nano- and microelectronics: transport model
за авторством: Yu. A. Kruglyak
Опубліковано: (2014)

Electric current, thermocurrent, and heat flux In nano-and microelectronics:selected topics
за авторством: Yu. A. Kruglyak
Опубліковано: (2014)

VLSI for a new generation of microelectronic coordinate-sensitive etectors with an extended field of analysis for use in mass spectrometry
за авторством: V. P. Sidorenko, та інші
Опубліковано: (2018)

Organization of the Operating Environment for Industrial Robots Processing Flat Objects That Have Asymmetry of Part Surfaces
за авторством: A. K. Karmalita, та інші
Опубліковано: (2024)

OPTICAL SENSOR FOR SURFACE PROFILE MONITORING OF PARABOLIC ANTENNA FOR MILLIMETER AND SUBMILLIMETER ASTRONOMY
за авторством: Chechetkin, D. L., та інші
Опубліковано: (2016)