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About ultrasound-stimulated a self-organization of defect structures in semiconductors during ion implantation

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Bibliographische Detailangaben
Datum:	2013
1. Verfasser:	Ya. M. Olikh
Format:	Artikel
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	2013
Schriftenreihe:	Optoelectronics and Semiconductor Technique
Online Zugang:	http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000363128
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