Зображення обкладинки

Methods and mechanisms of gettering of silicon structures in the production of integrated circuits

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Дата:	2013
Автори:	V. A. Pilipenko, V. A. Gorushko, A. N. Petlitskij, V. V. Ponarjadov, A. S. Turtsevich, S. V. Shvedov
Формат:	Стаття
Мова:	Англійська
Опубліковано:	2013
Назва видання:	Technology and design in electronic equipment
Онлайн доступ:	http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000405014
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Library portal of National Academy of Sciences of Ukraine \| LibNAS

Репозитарії

Library portal of National Academy of Sciences of Ukraine | LibNAS

Схожі ресурси

Investigations of impurity gettering in multicrystalline silicon
за авторством: Evtukh, A.A., та інші
Опубліковано: (2001)

Increase of planar homogeneity of multi-silicon structures by gettering treatments
за авторством: Litovchenko, V.G., та інші
Опубліковано: (2001)

Hydrogen gettering in annealed oxygen-implanted silicon
за авторством: A. Misiuk, та інші
Опубліковано: (2010)

Enhancing parameters of silicon varactors using laser gettering
за авторством: I. M. Vikulin, та інші
Опубліковано: (2018)

Two-channel gettering of recombination-active impurity in polycrystalline solar silicon
за авторством: V. G. Litovchenko, та інші
Опубліковано: (2012)

Two-channel gettering of recombination-active impurity in polycrystalline solar silicon
за авторством: V. H. Lytovchenko, та інші
Опубліковано: (2012)

Characteristics of gettering process in multicrystalline Si wafers with combined porous Si/Al getters
за авторством: A. Sarikov, та інші
Опубліковано: (2012)

Методы и механизмы геттерирования кремниевых структур в производстве интегральных микросхем
за авторством: Pilipenko, V. A., та інші
Опубліковано: (2013)

Effect of getter additions on hydrogen- induced embrittlement of welded joints on structural materials of NPP equipment
за авторством: V. M. Azhazha, та інші
Опубліковано: (2010)

Influence of plasma treatment on erosion haracteristics and structure of reversible hydrogen getters
за авторством: Borisko, V.N., та інші
Опубліковано: (2000)

Influence of gettering on aluminum ohmic contact formation
за авторством: V. N. Litvinenko, та інші
Опубліковано: (2020)

Мировые тенденции развития микроэлектроники и место Республики Беларусь в этом процессе
за авторством: Belous, A. I., та інші
Опубліковано: (2012)

On features of deoxidization of CsI melt with zirconium getter
за авторством: Datsko, Yu.N., та інші
Опубліковано: (2016)

Improvement of the reverse characteristics of Schottky diodes using gettering
за авторством: Litvinenko, V.N., та інші
Опубліковано: (2019)

Improvement of the reverse characteristics of Schottky diodes using gettering
за авторством: V. N. Litvinenko, та інші
Опубліковано: (2019)

Improving parameters of planar pulse diode using gettering
за авторством: V. M. Lytvynenko, та інші
Опубліковано: (2021)

Influence of modifying method and silicon content on ductile cast iron structure and mechanical properties
за авторством: A. A. Jasinskij, та інші
Опубліковано: (2015)

Mechanical strain in the structure of array of silicon nanowires grown on a silicon substrate
за авторством: A. I. Klimovskaya, та інші
Опубліковано: (2019)

Mechanical strain in the structure of an array of silicon nanowires grown on a silicon substrate
за авторством: Klimovskaya, A.I., та інші
Опубліковано: (2019)

Joint using methods of structural decomposition for optimizing circuit of Moore FSM
за авторством: A. A. Barkalov, та інші
Опубліковано: (2021)

The formation of isolating and gettering layers in semiconductors with use of medium energy proton implantation
за авторством: F. F. Komarov, та інші
Опубліковано: (2008)

Search for the optimal size of printed circuit boards for mechanical structures for electronic equipment
за авторством: A. A. Efimenko, та інші
Опубліковано: (2014)

Integral models in the problems of analysis of electrical circuits
за авторством: A. F. Verlan, та інші
Опубліковано: (2016)

Fuzzy neural network for integrated circuit layout analysis
за авторством: A. A. Dudkin
Опубліковано: (2015)

Influence of Zr-Fe getter filter on Cd and Zn deep refining of interstitial impurities
за авторством: Kondrik, A.I., та інші
Опубліковано: (2014)

Assessment of the ecological safety of the enterprises in the production of circuit boards and electroplating
за авторством: A. A. Nester
Опубліковано: (2017)

Mechanism of tin-induced crystallization in amorphous silicon
за авторством: V. B. Neimash, та інші
Опубліковано: (2014)

Current transport mechanisms in metal - high-k dielectric - silicon structures
за авторством: Y. V. Gomeniuk
Опубліковано: (2012)

Mechanism of tin-induced crystallization in amorphous silicon
за авторством: V. B. Neimash, та інші
Опубліковано: (2014)

Growing the epitaxial undoped and N-doped ZnO films by radical beam gettering epitaxy
за авторством: Rogozin, I.V.
Опубліковано: (2006)

Refining of Cd and Zn from interstitial impurities using distillation with a ZrFe getter filter
за авторством: A. I. Kondrik, та інші
Опубліковано: (2013)

Model-driven development of digital system algorithms on programmable logic integrated circuits
за авторством: O. O. Letychevskyi, та інші
Опубліковано: (2020)

Analysis of features of recombination mechanisms in silicon solar cells
за авторством: R. M. Korkishko, та інші
Опубліковано: (2014)

Analysis of features of recombination mechanisms in silicon solar cells
за авторством: Korkishko, R.M., та інші
Опубліковано: (2014)

Automation of digital filter circuit structural transformations
за авторством: V. S. Sitnikov, та інші
Опубліковано: (2002)

Study of desorption process from the Zr (62) – Ni (38 wt.%) non-evaporable getter
за авторством: Aksyonova, G.N., та інші
Опубліковано: (2017)

Detonation coatings of ferromolybdenum-silicon carbide composite powder produced by the method of mechanical-chemical synthesis
за авторством: Ju. S. Borisov, та інші
Опубліковано: (2014)

Block of an electron gun combined with a getter - ion pump designed for high - power beam - plasma microwave devices
за авторством: Antonov, A.N., та інші
Опубліковано: (2008)

Monitoring improvement of technical condition of high-voltage circuit breaker mechanical elements
за авторством: A. V. Panov, та інші
Опубліковано: (2018)

Integration mechanisms of development of Ukrainian market of bread and bakery products
за авторством: O. V. Nikishyna, та інші
Опубліковано: (2018)