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Study of probe methods for fabrication of units for nanoelectronic devices and diagnostic technique using electrostatic force microscopy

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Bibliographische Detailangaben
Datum:	2011
Hauptverfasser:	N. I. Khodakovskij, Ju. Larkin, G. G. Galstjan
Format:	Artikel
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	2011
Schriftenreihe:	Nanosystems, nanomaterials, nanotechnologies
Online Zugang:	http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000473640
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