Study of probe methods for fabrication of units for nanoelectronic devices and diagnostic technique using electrostatic force microscopy
Gespeichert in:
| Datum: | 2011 |
|---|---|
| Hauptverfasser: | N. I. Khodakovskij, Ju. Larkin, G. G. Galstjan |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
2011
|
| Schriftenreihe: | Nanosystems, nanomaterials, nanotechnologies |
| Online Zugang: | http://jnas.nbuv.gov.ua/article/UJRN-0000473640 |
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| Назва журналу: | Library portal of National Academy of Sciences of Ukraine | LibNAS |
Institution
Library portal of National Academy of Sciences of Ukraine | LibNASÄhnliche Einträge
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