Зображення обкладинки

Спектроскопiчнi дослiдження плазми високочастотного розряду при плазмохiмiчному травленнi епiтаксiальних структур нiтриду галiю

The results of experimental researched dealing with the bias voltage influence on the evolution of spectra emitted by plasma at the etching of gallium nitride in a plasma-chemical reactor with the controlled magnetic field are reported. At high bias voltage values above –250 V, there appear lines in...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Дата:	2018
Автори:	Hladkovskiy, V. V., Fedorovich, O. A.
Формат:	Стаття
Мова:	Англійська
Опубліковано:	Publishing house "Academperiodika" 2018
Онлайн доступ:	https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2018698
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Ukrainian Journal of Physics

Репозитарії

Ukrainian Journal of Physics

Схожі ресурси

Оптичнi властивостi епiтаксiйних плiвок GaN, що перебували пiд дiєю мiкрохвильового опромiнення
за авторством: Belyaev, A. E., та інші
Опубліковано: (2018)

Вплив анiзотропiї та тиску на пружнi і механiчнi властивостi нiтриду бору (B3)
за авторством: Daoud, S., та інші
Опубліковано: (2018)

Академiчнi книжковi серiї
за авторством: Радченко, А., та інші
Опубліковано: (2008)

Пiдсилення дивностi в адронному хiмiчному фрiзаутi
за авторством: Sagun, V. V., та інші
Опубліковано: (2018)

Самоорганiзацiя i фрактальнiсть в метаболiчному процесi глiколiзу
за авторством: Grytsay, V. I.
Опубліковано: (2019)

Механiзм димеризацiї вiологенiв у рiдкокристалiчному середовищi
за авторством: Bordyuh, A. B.
Опубліковано: (2018)

Особливостi струмових нестабiльностей фосфiдо-галiєвих свiтлодiодiв, опромiнених нейтронами
за авторством: Конорева, О.В., та інші
Опубліковано: (2008)

Λ-аномалiя при адронному хiмiчному фрiзаутi
за авторством: Sagun, V. V.
Опубліковано: (2018)

Класифiкацiя галiлеєво-iнварiантних систем нелiнiйних рiвнянь реакцiї-дифузiї
за авторством: Баранник, Т.А.
Опубліковано: (2015)

Слабкозбуренi системи лiнiйних iнтегро-диференцiальних рiвнянь
за авторством: Головацька, I.А.
Опубліковано: (2012)

Вплив телуру на деградацiйну стiйкiсть кристалiв напiвiзолюючого арсенiду галiю
за авторством: Klyui, N. I., та інші
Опубліковано: (2018)

Слабкозбуренi крайовi задачi для диференцiальних рiвнянь у банаховому просторi
за авторством: Бойчук, О.А., та інші
Опубліковано: (2010)

Кiнетика плазмохiмiчних реакцiй утворення атомiв азоту в жеврiючому розрядi в сумiшi азот–аргон
за авторством: Zhovtyansky, V. A., та інші
Опубліковано: (2018)

Раманiвська спектроскопiя графено-подiбних наночастинок дисульфiдiв молiбдена i вольфрама
за авторством: Naumenko, A., та інші
Опубліковано: (2019)

Узагальнення полiномiальних інварiантiв i голографiчний принцип для вузлiв i зачеплень
за авторством: Pavlyuk, A. M.
Опубліковано: (2018)

Товщинна залежнiсть коефiцiєнта свiтлозаломлення епiтропних рiдких кристалiв
за авторством: Popovskii, A. Yu., та інші
Опубліковано: (2018)

Про варiацiйний принцип Гамiльтона–Остроградського i початково-крайовi динамiчнi задачi електропружностi
за авторством: Шульга, М.О.
Опубліковано: (2008)

Експоненцiально дихотомiчнi рiзницевi рiвняння з нелiпшицевими збуреннями
за авторством: Слюсарчук, В.Ю.
Опубліковано: (2011)

Гiдродинамiчнi, кiнетичнi моди плазми i релаксацiйне згасання плазмових коливань
за авторством: Gorev, V. N., та інші
Опубліковано: (2019)

Педагогiчна дiяльнiсть вченого-iсторика Володимира Пiскорського у Нiжинському iсторико-фiлологiчному iнститутi кн. Безбородька
за авторством: В’яла, О.
Опубліковано: (2006)

"Христос – виноградна лоза": українськi iконографiчнi iнтерпретацiї XVII-VIII ст.
за авторством: Сивак, В.
Опубліковано: (2009)

Культурно-хронологiчна варiабельнiсть епiгравету Середнього Поднiпров’я
за авторством: Чабай, В.П., та інші
Опубліковано: (2020)

Сучаснi уявлення про бiохiмiчнi механiзми патогенезу iнсулiннезалежного цукрового дiабету
за авторством: Кот, Л.I., та інші
Опубліковано: (2008)

Список мiлiцiонерiв: епiзод з iсторiї революцiйного протистояння у Чернiговi 1905 року
за авторством: Демченко, Т.
Опубліковано: (2006)

Дистанцiйнi аерокосмiчнi дослiдження в природокористуваннi як мiждисциплiнарний науковий напрям
за авторством: Федоровський, О.Д., та інші
Опубліковано: (2015)

Космологiчнi моделi Фрiдмана з рiзними рiвняннями стану матерiї
за авторством: Bormotova, I. M., та інші
Опубліковано: (2019)

Редукцiя диференцiальних рiвнянь до алгебраїчних
за авторством: Бойко, В.М.
Опубліковано: (2014)

Здатнiсть псевдокiльцевих тестiв виявляти динамiчнi одиночнi несправностi у словоорiєнтованiй пам’ятi
за авторством: Gritcov, S. S., та інші
Опубліковано: (2018)

Едицiйно-текстологiчнi концепцiї фольклористичної дiяльностi етнографiчної комiсiї НТШ у Львовi
за авторством: Сокіл, Г.
Опубліковано: (2009)

Структура розв’язкiв диференцiальних рiвнянь у банаховому просторi на нескiнченному iнтервалi
за авторством: Горбачук, В.М.
Опубліковано: (2016)

Генеалогiчнi записки Флегонта Шихуцького
за авторством: Горобець, С.
Опубліковано: (2006)

Слабко нелiнiйнi крайовi задачi для диференцiальних рiвнянь в критичному випадку у банаховому просторi
за авторством: Бойчук, О.А., та інші
Опубліковано: (2010)

Фiнансово - економiчнi аспекти формування ефективної моделi iнновацiйно-iнвестицiйного розвитку ТОВ «Агрофiрма «Авангард»
за авторством: Бондар, В., та інші
Опубліковано: (2006)

Структура i електрохiмiчнi властивостi водних суспензiй функцiоналiзованих одно-та багатостiнних вуглецевих нанотрубок
за авторством: Ritter, U., та інші
Опубліковано: (2018)

Екологiчнi аспекти глобальних змiн клiмату: причини, наслiдки, дiї
за авторством: Дiдух, Я.П.
Опубліковано: (2009)

Формування цiлiсної нацiональної господарської системи: соцiолого-економiчнi аспекти
за авторством: Данилишин, Б.М., та інші
Опубліковано: (2008)

Дослiдження рекомбiнацiйних параметрiв сонячного кремнiю методом спектроскопiї поверхневої фото-ерс
за авторством: Litovchenko, V. G.
Опубліковано: (2019)

Негладкий хiмiчний фрiзаут i видима ширина широких резонансiв та кварк-глюонних мiшкiв в термодинамiчному середовищi
за авторством: Bugaev, K. A., та інші
Опубліковано: (2019)

Модифiкацiя методу вибiрки Майера для розрахунку вiрiальних коефiцiєнтiв вищих порядкiв
за авторством: Ushcats, M. V.
Опубліковано: (2018)

Дослiдження взаємодiї "корових” 2′,5′-олiгоаденiлатiв iз деякими протеїнами методом флуоресцентної спектроскопiї
за авторством: Ткачук, В.В., та інші
Опубліковано: (2015)