Buchumschlag

Спектроскопiчнi дослiдження плазми високочастотного розряду при плазмохiмiчному травленнi епiтаксiальних структур нiтриду галiю

The results of experimental researched dealing with the bias voltage influence on the evolution of spectra emitted by plasma at the etching of gallium nitride in a plasma-chemical reactor with the controlled magnetic field are reported. At high bias voltage values above –250 V, there appear lines in...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Datum:	2018
Hauptverfasser:	Hladkovskiy, V. V., Fedorovich, O. A.
Format:	Artikel
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	Publishing house "Academperiodika" 2018
Online Zugang:	https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2018698
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:	Ukrainian Journal of Physics

Institution

Ukrainian Journal of Physics

Ähnliche Einträge

Оптичнi властивостi епiтаксiйних плiвок GaN, що перебували пiд дiєю мiкрохвильового опромiнення
von: Belyaev, A. E., et al.
Veröffentlicht: (2018)

Вплив анiзотропiї та тиску на пружнi і механiчнi властивостi нiтриду бору (B3)
von: Daoud, S., et al.
Veröffentlicht: (2018)

Пiдсилення дивностi в адронному хiмiчному фрiзаутi
von: Sagun, V. V., et al.
Veröffentlicht: (2018)

Самоорганiзацiя i фрактальнiсть в метаболiчному процесi глiколiзу
von: Grytsay, V. I.
Veröffentlicht: (2019)

Механiзм димеризацiї вiологенiв у рiдкокристалiчному середовищi
von: Bordyuh, A. B.
Veröffentlicht: (2018)

Особливостi струмових нестабiльностей фосфiдо-галiєвих свiтлодiодiв, опромiнених нейтронами
von: Конорева, О.В., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Λ-аномалiя при адронному хiмiчному фрiзаутi
von: Sagun, V. V.
Veröffentlicht: (2018)

Класифiкацiя галiлеєво-iнварiантних систем нелiнiйних рiвнянь реакцiї-дифузiї
von: Баранник, Т.А.
Veröffentlicht: (2015)

Слабкозбуренi системи лiнiйних iнтегро-диференцiальних рiвнянь
von: Головацька, I.А.
Veröffentlicht: (2012)

Слабкозбуренi крайовi задачi для диференцiальних рiвнянь у банаховому просторi
von: Бойчук, О.А., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Вплив телуру на деградацiйну стiйкiсть кристалiв напiвiзолюючого арсенiду галiю
von: Klyui, N. I., et al.
Veröffentlicht: (2018)

Раманiвська спектроскопiя графено-подiбних наночастинок дисульфiдiв молiбдена i вольфрама
von: Naumenko, A., et al.
Veröffentlicht: (2019)

Товщинна залежнiсть коефiцiєнта свiтлозаломлення епiтропних рiдких кристалiв
von: Popovskii, A. Yu., et al.
Veröffentlicht: (2018)

Кiнетика плазмохiмiчних реакцiй утворення атомiв азоту в жеврiючому розрядi в сумiшi азот–аргон
von: Zhovtyansky, V. A., et al.
Veröffentlicht: (2018)

Узагальнення полiномiальних інварiантiв i голографiчний принцип для вузлiв i зачеплень
von: Pavlyuk, A. M.
Veröffentlicht: (2018)

Культурно-хронологiчна варiабельнiсть епiгравету Середнього Поднiпров’я
von: Чабай, В.П., et al.
Veröffentlicht: (2020)

Педагогiчна дiяльнiсть вченого-iсторика Володимира Пiскорського у Нiжинському iсторико-фiлологiчному iнститутi кн. Безбородька
von: В’яла, О.
Veröffentlicht: (2006)

Список мiлiцiонерiв: епiзод з iсторiї революцiйного протистояння у Чернiговi 1905 року
von: Демченко, Т.
Veröffentlicht: (2006)

Редукцiя диференцiальних рiвнянь до алгебраїчних
von: Бойко, В.М.
Veröffentlicht: (2014)

Структура розв’язкiв диференцiальних рiвнянь у банаховому просторi на нескiнченному iнтервалi
von: Горбачук, В.М.
Veröffentlicht: (2016)

Академiчнi книжковi серiї
von: Радченко, А., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Слабко нелiнiйнi крайовi задачi для диференцiальних рiвнянь в критичному випадку у банаховому просторi
von: Бойчук, О.А., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Модифiкацiя методу вибiрки Майера для розрахунку вiрiальних коефiцiєнтiв вищих порядкiв
von: Ushcats, M. V.
Veröffentlicht: (2018)

Епiгенетична ураново-рудна мiнералiзацiя Гайворонського рудопрояву Українського щита
von: Карли, З.В., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Євген Чикаленко i Василь Доманицький у короткому епiстолярному дiалозi (1908-1910)
von: Старовойтенко, І.
Veröffentlicht: (2006)

Негладкий хiмiчний фрiзаут i видима ширина широких резонансiв та кварк-глюонних мiшкiв в термодинамiчному середовищi
von: Bugaev, K. A., et al.
Veröffentlicht: (2019)

Дослiдження рекомбiнацiйних параметрiв сонячного кремнiю методом спектроскопiї поверхневої фото-ерс
von: Litovchenko, V. G.
Veröffentlicht: (2019)

Мiсце заощаджень населення у вирiшеннi соцiальних та економiчних проблем регiону
von: Кичко, І., et al.
Veröffentlicht: (2006)

Профiль вiльної поверхнi хвилеподiбних бiлякритичних течiй та солiтоннi розв'язки деяких диференцiальних рiвнянь
von: Рябенко, О.А.
Veröffentlicht: (1999)

Дослiдження взаємодiї "корових” 2′,5′-олiгоаденiлатiв iз деякими протеїнами методом флуоресцентної спектроскопiї
von: Ткачук, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Дослiдження кiнетики фотоiндукованих електронних переходiв в наноструктурах бактерiальних реакцiйних центрiв
von: Barabash, Y. M., et al.
Veröffentlicht: (2019)

Лiнiйна система диференцiальних рiвнянь з кратною точкою звороту
von: Ключник, I.Г.
Veröffentlicht: (2012)

Ізотерми гiдратацiї чистих та мiнералiзованих колагенових фiбрил: дослiдження з використанням п’єзогравiметрiї та iнфрачервоної спектроскопiї
von: Суходуб, Л.Б., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Фемтосекундна спектроскопiя наведеного поглинання у фотохромних молекулах похiдних дiарилетенiв
von: Ходько, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Про варiацiйний принцип Гамiльтона–Остроградського i початково-крайовi динамiчнi задачi електропружностi
von: Шульга, М.О.
Veröffentlicht: (2008)

До створення ботанiко-географiчної експозицiї “Алтай” у Полярно-альпiйському ботанiчному саду
von: Yudin, S.I.
Veröffentlicht: (2017)

Інтерполювання звичайних диференцiальних операторiв у гiльбертових просторах
von: Литвин, О.М.
Veröffentlicht: (2008)

Негативна дисперсiя швидкостi високочастотного звуку у водних розчинах неелектролiту в околi концентрацiї особливої точки
von: Sabirov, L. M., et al.
Veröffentlicht: (2019)

Iснування оптимальних керувань на нескiнченних часових промiжках для деяких класiв диференцiальних рiвнянь
von: Самойленко, О.О.
Veröffentlicht: (2012)

Експоненцiально дихотомiчнi рiзницевi рiвняння з нелiпшицевими збуреннями
von: Слюсарчук, В.Ю.
Veröffentlicht: (2011)