Зображення обкладинки

Спектроскопiчнi дослiдження плазми високочастотного розряду при плазмохiмiчному травленнi епiтаксiальних структур нiтриду галiю

The results of experimental researched dealing with the bias voltage influence on the evolution of spectra emitted by plasma at the etching of gallium nitride in a plasma-chemical reactor with the controlled magnetic field are reported. At high bias voltage values above –250 V, there appear lines in...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Дата:	2018
Автори:	Hladkovskiy, V. V., Fedorovich, O. A.
Формат:	Стаття
Мова:	Англійська
Опубліковано:	Publishing house "Academperiodika" 2018
Онлайн доступ:	https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2018698
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Ukrainian Journal of Physics

Репозитарії

Ukrainian Journal of Physics

Схожі ресурси

Оптичнi властивостi епiтаксiйних плiвок GaN, що перебували пiд дiєю мiкрохвильового опромiнення
за авторством: Belyaev, A. E., та інші
Опубліковано: (2018)

Вплив анiзотропiї та тиску на пружнi і механiчнi властивостi нiтриду бору (B3)
за авторством: Daoud, S., та інші
Опубліковано: (2018)

Пiдсилення дивностi в адронному хiмiчному фрiзаутi
за авторством: Sagun, V. V., та інші
Опубліковано: (2018)

Самоорганiзацiя i фрактальнiсть в метаболiчному процесi глiколiзу
за авторством: Grytsay, V. I.
Опубліковано: (2019)

Механiзм димеризацiї вiологенiв у рiдкокристалiчному середовищi
за авторством: Bordyuh, A. B.
Опубліковано: (2018)

Особливостi струмових нестабiльностей фосфiдо-галiєвих свiтлодiодiв, опромiнених нейтронами
за авторством: Конорева, О.В., та інші
Опубліковано: (2008)

Λ-аномалiя при адронному хiмiчному фрiзаутi
за авторством: Sagun, V. V.
Опубліковано: (2018)

Класифiкацiя галiлеєво-iнварiантних систем нелiнiйних рiвнянь реакцiї-дифузiї
за авторством: Баранник, Т.А.
Опубліковано: (2015)

Слабкозбуренi системи лiнiйних iнтегро-диференцiальних рiвнянь
за авторством: Головацька, I.А.
Опубліковано: (2012)

Слабкозбуренi крайовi задачi для диференцiальних рiвнянь у банаховому просторi
за авторством: Бойчук, О.А., та інші
Опубліковано: (2010)

Вплив телуру на деградацiйну стiйкiсть кристалiв напiвiзолюючого арсенiду галiю
за авторством: Klyui, N. I., та інші
Опубліковано: (2018)

Раманiвська спектроскопiя графено-подiбних наночастинок дисульфiдiв молiбдена i вольфрама
за авторством: Naumenko, A., та інші
Опубліковано: (2019)

Товщинна залежнiсть коефiцiєнта свiтлозаломлення епiтропних рiдких кристалiв
за авторством: Popovskii, A. Yu., та інші
Опубліковано: (2018)

Кiнетика плазмохiмiчних реакцiй утворення атомiв азоту в жеврiючому розрядi в сумiшi азот–аргон
за авторством: Zhovtyansky, V. A., та інші
Опубліковано: (2018)

Узагальнення полiномiальних інварiантiв i голографiчний принцип для вузлiв i зачеплень
за авторством: Pavlyuk, A. M.
Опубліковано: (2018)

Культурно-хронологiчна варiабельнiсть епiгравету Середнього Поднiпров’я
за авторством: Чабай, В.П., та інші
Опубліковано: (2020)

Педагогiчна дiяльнiсть вченого-iсторика Володимира Пiскорського у Нiжинському iсторико-фiлологiчному iнститутi кн. Безбородька
за авторством: В’яла, О.
Опубліковано: (2006)

Список мiлiцiонерiв: епiзод з iсторiї революцiйного протистояння у Чернiговi 1905 року
за авторством: Демченко, Т.
Опубліковано: (2006)

Редукцiя диференцiальних рiвнянь до алгебраїчних
за авторством: Бойко, В.М.
Опубліковано: (2014)

Структура розв’язкiв диференцiальних рiвнянь у банаховому просторi на нескiнченному iнтервалi
за авторством: Горбачук, В.М.
Опубліковано: (2016)

Академiчнi книжковi серiї
за авторством: Радченко, А., та інші
Опубліковано: (2008)

Слабко нелiнiйнi крайовi задачi для диференцiальних рiвнянь в критичному випадку у банаховому просторi
за авторством: Бойчук, О.А., та інші
Опубліковано: (2010)

Модифiкацiя методу вибiрки Майера для розрахунку вiрiальних коефiцiєнтiв вищих порядкiв
за авторством: Ushcats, M. V.
Опубліковано: (2018)

Епiгенетична ураново-рудна мiнералiзацiя Гайворонського рудопрояву Українського щита
за авторством: Карли, З.В., та інші
Опубліковано: (2015)

Євген Чикаленко i Василь Доманицький у короткому епiстолярному дiалозi (1908-1910)
за авторством: Старовойтенко, І.
Опубліковано: (2006)

Негладкий хiмiчний фрiзаут i видима ширина широких резонансiв та кварк-глюонних мiшкiв в термодинамiчному середовищi
за авторством: Bugaev, K. A., та інші
Опубліковано: (2019)

Дослiдження рекомбiнацiйних параметрiв сонячного кремнiю методом спектроскопiї поверхневої фото-ерс
за авторством: Litovchenko, V. G.
Опубліковано: (2019)

Мiсце заощаджень населення у вирiшеннi соцiальних та економiчних проблем регiону
за авторством: Кичко, І., та інші
Опубліковано: (2006)

Профiль вiльної поверхнi хвилеподiбних бiлякритичних течiй та солiтоннi розв'язки деяких диференцiальних рiвнянь
за авторством: Рябенко, О.А.
Опубліковано: (1999)

Дослiдження взаємодiї "корових” 2′,5′-олiгоаденiлатiв iз деякими протеїнами методом флуоресцентної спектроскопiї
за авторством: Ткачук, В.В., та інші
Опубліковано: (2015)

Дослiдження кiнетики фотоiндукованих електронних переходiв в наноструктурах бактерiальних реакцiйних центрiв
за авторством: Barabash, Y. M., та інші
Опубліковано: (2019)

Лiнiйна система диференцiальних рiвнянь з кратною точкою звороту
за авторством: Ключник, I.Г.
Опубліковано: (2012)

Ізотерми гiдратацiї чистих та мiнералiзованих колагенових фiбрил: дослiдження з використанням п’єзогравiметрiї та iнфрачервоної спектроскопiї
за авторством: Суходуб, Л.Б., та інші
Опубліковано: (2008)

Фемтосекундна спектроскопiя наведеного поглинання у фотохромних молекулах похiдних дiарилетенiв
за авторством: Ходько, А.А., та інші
Опубліковано: (2015)

Про варiацiйний принцип Гамiльтона–Остроградського i початково-крайовi динамiчнi задачi електропружностi
за авторством: Шульга, М.О.
Опубліковано: (2008)

До створення ботанiко-географiчної експозицiї “Алтай” у Полярно-альпiйському ботанiчному саду
за авторством: Yudin, S.I.
Опубліковано: (2017)

Інтерполювання звичайних диференцiальних операторiв у гiльбертових просторах
за авторством: Литвин, О.М.
Опубліковано: (2008)

Негативна дисперсiя швидкостi високочастотного звуку у водних розчинах неелектролiту в околi концентрацiї особливої точки
за авторством: Sabirov, L. M., та інші
Опубліковано: (2019)

Iснування оптимальних керувань на нескiнченних часових промiжках для деяких класiв диференцiальних рiвнянь
за авторством: Самойленко, О.О.
Опубліковано: (2012)

Експоненцiально дихотомiчнi рiзницевi рiвняння з нелiпшицевими збуреннями
за авторством: Слюсарчук, В.Ю.
Опубліковано: (2011)