Buchumschlag

Спектроскопiчнi дослiдження плазми високочастотного розряду при плазмохiмiчному травленнi епiтаксiальних структур нiтриду галiю

The results of experimental researched dealing with the bias voltage influence on the evolution of spectra emitted by plasma at the etching of gallium nitride in a plasma-chemical reactor with the controlled magnetic field are reported. At high bias voltage values above –250 V, there appear lines in...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Datum:	2018
Hauptverfasser:	Hladkovskiy, V. V., Fedorovich, O. A.
Format:	Artikel
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	Publishing house "Academperiodika" 2018
Online Zugang:	https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2018698
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:	Ukrainian Journal of Physics

Institution

Ukrainian Journal of Physics

Ähnliche Einträge

Оптичнi властивостi епiтаксiйних плiвок GaN, що перебували пiд дiєю мiкрохвильового опромiнення
von: Belyaev, A. E., et al.
Veröffentlicht: (2018)

Вплив анiзотропiї та тиску на пружнi і механiчнi властивостi нiтриду бору (B3)
von: Daoud, S., et al.
Veröffentlicht: (2018)

Академiчнi книжковi серiї
von: Радченко, А., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Пiдсилення дивностi в адронному хiмiчному фрiзаутi
von: Sagun, V. V., et al.
Veröffentlicht: (2018)

Самоорганiзацiя i фрактальнiсть в метаболiчному процесi глiколiзу
von: Grytsay, V. I.
Veröffentlicht: (2019)

Особливостi струмових нестабiльностей фосфiдо-галiєвих свiтлодiодiв, опромiнених нейтронами
von: Конорева, О.В., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Механiзм димеризацiї вiологенiв у рiдкокристалiчному середовищi
von: Bordyuh, A. B.
Veröffentlicht: (2018)

Λ-аномалiя при адронному хiмiчному фрiзаутi
von: Sagun, V. V.
Veröffentlicht: (2018)

Класифiкацiя галiлеєво-iнварiантних систем нелiнiйних рiвнянь реакцiї-дифузiї
von: Баранник, Т.А.
Veröffentlicht: (2015)

Слабкозбуренi системи лiнiйних iнтегро-диференцiальних рiвнянь
von: Головацька, I.А.
Veröffentlicht: (2012)

Вплив телуру на деградацiйну стiйкiсть кристалiв напiвiзолюючого арсенiду галiю
von: Klyui, N. I., et al.
Veröffentlicht: (2018)

Слабкозбуренi крайовi задачi для диференцiальних рiвнянь у банаховому просторi
von: Бойчук, О.А., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Кiнетика плазмохiмiчних реакцiй утворення атомiв азоту в жеврiючому розрядi в сумiшi азот–аргон
von: Zhovtyansky, V. A., et al.
Veröffentlicht: (2018)

Раманiвська спектроскопiя графено-подiбних наночастинок дисульфiдiв молiбдена i вольфрама
von: Naumenko, A., et al.
Veröffentlicht: (2019)

Узагальнення полiномiальних інварiантiв i голографiчний принцип для вузлiв i зачеплень
von: Pavlyuk, A. M.
Veröffentlicht: (2018)

Товщинна залежнiсть коефiцiєнта свiтлозаломлення епiтропних рiдких кристалiв
von: Popovskii, A. Yu., et al.
Veröffentlicht: (2018)

Про варiацiйний принцип Гамiльтона–Остроградського i початково-крайовi динамiчнi задачi електропружностi
von: Шульга, М.О.
Veröffentlicht: (2008)

Експоненцiально дихотомiчнi рiзницевi рiвняння з нелiпшицевими збуреннями
von: Слюсарчук, В.Ю.
Veröffentlicht: (2011)

Гiдродинамiчнi, кiнетичнi моди плазми i релаксацiйне згасання плазмових коливань
von: Gorev, V. N., et al.
Veröffentlicht: (2019)

Педагогiчна дiяльнiсть вченого-iсторика Володимира Пiскорського у Нiжинському iсторико-фiлологiчному iнститутi кн. Безбородька
von: В’яла, О.
Veröffentlicht: (2006)

"Христос – виноградна лоза": українськi iконографiчнi iнтерпретацiї XVII-VIII ст.
von: Сивак, В.
Veröffentlicht: (2009)

Культурно-хронологiчна варiабельнiсть епiгравету Середнього Поднiпров’я
von: Чабай, В.П., et al.
Veröffentlicht: (2020)

Сучаснi уявлення про бiохiмiчнi механiзми патогенезу iнсулiннезалежного цукрового дiабету
von: Кот, Л.I., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Список мiлiцiонерiв: епiзод з iсторiї революцiйного протистояння у Чернiговi 1905 року
von: Демченко, Т.
Veröffentlicht: (2006)

Дистанцiйнi аерокосмiчнi дослiдження в природокористуваннi як мiждисциплiнарний науковий напрям
von: Федоровський, О.Д., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Редукцiя диференцiальних рiвнянь до алгебраїчних
von: Бойко, В.М.
Veröffentlicht: (2014)

Космологiчнi моделi Фрiдмана з рiзними рiвняннями стану матерiї
von: Bormotova, I. M., et al.
Veröffentlicht: (2019)

Структура розв’язкiв диференцiальних рiвнянь у банаховому просторi на нескiнченному iнтервалi
von: Горбачук, В.М.
Veröffentlicht: (2016)

Здатнiсть псевдокiльцевих тестiв виявляти динамiчнi одиночнi несправностi у словоорiєнтованiй пам’ятi
von: Gritcov, S. S., et al.
Veröffentlicht: (2018)

Едицiйно-текстологiчнi концепцiї фольклористичної дiяльностi етнографiчної комiсiї НТШ у Львовi
von: Сокіл, Г.
Veröffentlicht: (2009)

Генеалогiчнi записки Флегонта Шихуцького
von: Горобець, С.
Veröffentlicht: (2006)

Слабко нелiнiйнi крайовi задачi для диференцiальних рiвнянь в критичному випадку у банаховому просторi
von: Бойчук, О.А., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Фiнансово - економiчнi аспекти формування ефективної моделi iнновацiйно-iнвестицiйного розвитку ТОВ «Агрофiрма «Авангард»
von: Бондар, В., et al.
Veröffentlicht: (2006)

Структура i електрохiмiчнi властивостi водних суспензiй функцiоналiзованих одно-та багатостiнних вуглецевих нанотрубок
von: Ritter, U., et al.
Veröffentlicht: (2018)

Екологiчнi аспекти глобальних змiн клiмату: причини, наслiдки, дiї
von: Дiдух, Я.П.
Veröffentlicht: (2009)

Формування цiлiсної нацiональної господарської системи: соцiолого-економiчнi аспекти
von: Данилишин, Б.М., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Дослiдження рекомбiнацiйних параметрiв сонячного кремнiю методом спектроскопiї поверхневої фото-ерс
von: Litovchenko, V. G.
Veröffentlicht: (2019)

Модифiкацiя методу вибiрки Майера для розрахунку вiрiальних коефiцiєнтiв вищих порядкiв
von: Ushcats, M. V.
Veröffentlicht: (2018)

Негладкий хiмiчний фрiзаут i видима ширина широких резонансiв та кварк-глюонних мiшкiв в термодинамiчному середовищi
von: Bugaev, K. A., et al.
Veröffentlicht: (2019)

Дослiдження взаємодiї "корових” 2′,5′-олiгоаденiлатiв iз деякими протеїнами методом флуоресцентної спектроскопiї
von: Ткачук, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2015)