Особливості формування омічних контактів до n+-InN

Особливості формування омічних контактів до n+-InN

We report about a study of the formation and current transport mechanism of ohmic contacts to n+-InN with electron concentrations of 2×1018, 8×1018, and 4×1019 cm−3. Pd/Ti/Au ohmic contacts are formed by the proposed approach of simultaneous magnetron metal deposition and in-situ temperature anneali...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Дата:	2019
Автори:	Sai, P. O., Safryuk-Romanenko, N. V., But, D. B., Cywiński, G., Boltovets, N. S., Brunkov, P. N., Jmeric, N. V., Ivanov, S. V., Shynkarenko, V. V.
Формат:	Стаття
Мова:	English
Опубліковано:	Publishing house "Academperiodika" 2019
Онлайн доступ:	https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2019292
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Ukrainian Journal of Physics

Репозитарії

Ukrainian Journal of Physics

Схожі ресурси

Features of the formation of ohmic contacts to n+-InN
за авторством: P. O. Sai, та інші
Опубліковано: (2019)

Features of the formation of ohmic contacts to n+-InN
за авторством: P. O. Sai, та інші
Опубліковано: (2019)

Ohmic contacts to InN-based materials
за авторством: P. O. Sai
Опубліковано: (2016)

Ohmic contacts to InN-based materials
за авторством: Sai, P.O.
Опубліковано: (2016)

Методи створення і властивості омічних контактів до фосфіду індію (огляд)
за авторством: Кудрик, Я.Я.
Опубліковано: (2015)

Complex index of refraction of indium nitride InN
за авторством: J. O. Akinlami, та інші
Опубліковано: (2012)

Complex index of refraction of indium nitride InN
за авторством: Akinlami, J.O., та інші
Опубліковано: (2012)

Перспективы использования диодов Ганна на основе GaN, AlN и InN
за авторством: Стороженко, И.П., та інші
Опубліковано: (2011)

The first principle calculation of electronic and optical properties of AlN, GaN and InN compounds under hydrostatic pressure
за авторством: Berrah, S., та інші
Опубліковано: (2006)

Terahertz oscillations in InN Gunn diodes with an active region length of 1 μm and with a graded GaInN layer
за авторством: I. P. Storozhenko, та інші
Опубліковано: (2022)

TERAHERTZ OSCILLATIONS IN InN GUNN DIODES WITH AN ACTIVE REGION LENGTH OF 1 μm AND WITH A GRADED GaInN LAYER
за авторством: Storozhenko, I. P., та інші
Опубліковано: (2023)

Особливості механізмів утворення шаруватих індатів AᴵᴵLanInnO3n+1 (Aᴵᴵ = Sr, Ba) із систем спільнозакристалізованих нітратів
за авторством: Тітов, Ю.О., та інші
Опубліковано: (2011)

Structural and electrical-physical properties of the ohmic contacts based on palladium to n⁺ -n-n⁺⁺ -n⁺⁺⁺ -InP
за авторством: Belyaev, A.E., та інші
Опубліковано: (2015)

Current transport through ohmic contacts to indiume nitride with high defect density
за авторством: Sai, P.O., та інші
Опубліковано: (2018)

Some Problems of Translations of Ch. Botev's "In the Inn”
за авторством: V. A. Lavrenov
Опубліковано: (2002)

Особливості електричної ерозії контактів реле на основі срібла з добавками оксидів
за авторством: Клименко, Б.В., та інші
Опубліковано: (2008)

Особливості технології формування металічних контактів до дискретних ІЧ та ТГц приймачів випромінювання на основі епітаксійних шарів CdHgTe
за авторством: Цибрій, З.Ф.
Опубліковано: (2019)

Херсонес і Західний Понт: проблема контактів
за авторством: Кадєєв, В.І., та інші
Опубліковано: (1989)

Effect of microwave radiation on I V curves and contact resistivity of ohmic contacts to n-GaN and n-AlN
за авторством: A. E. Belyaev, та інші
Опубліковано: (2013)

Effect of microwave radiation on I-V curves and contact resistivity of ohmic contacts to n-GaN and n-AlN
за авторством: Belyaev, A.E., та інші
Опубліковано: (2013)

Theoretical and experimental modelling the specific resistance of vertical ohmic contacts Au–Ti–Pd–n+-n-n+-Si in IMPATT diodes
за авторством: P. M. Romanets, та інші
Опубліковано: (2016)

Peculiarities of mechanisms formation of slab indates AIILanInnO3n+1 (AII = Sr, Ba) from the systems of co-crystallized nitrates
за авторством: Yu. O. Titov, та інші
Опубліковано: (2011)

Ð’Ð»Ð¸ÑÐ½Ð¸Ðµ ÐºÑ€Ð¸Ð¾ÐºÐ¾Ð½ÑÐµÑ€Ð²Ð¸Ñ€Ð¾Ð²Ð°Ð½Ð¸Ñ Ð½Ð° ÑÐ¾Ñ…Ñ€Ð°Ð½Ð½Ð¾ÑÑ‚ÑŒ ÑƒÐ»ÑŒÑ‚Ñ€Ð°ÑÑ‚Ñ€ÑƒÐºÑ‚ÑƒÑ€Ñ‹ Ð¿Ð»Ð°Ñ†ÐµÐ½Ñ‚Ñ‹
за авторством: Repin, N. V., та інші
Опубліковано: (2004)

Theoretical and experimental modelling the specific resistance of vertical ohmic contacts Au–Ti–Pd–n⁺-n-n⁺-Si in IMPATT diodes
за авторством: Romanets, P.M., та інші
Опубліковано: (2016)

X-ray diffraction study of deformation state in InGaN/GaN multilayered structures
за авторством: V. P. Kladko, та інші
Опубліковано: (2010)

X-ray diffraction study of deformation state in InGaN/GaN multilayered structures
за авторством: Kladko, V.P., та інші
Опубліковано: (2010)

Formation of ohmic contacts to n(p)-gan and measurement of their contact resistivity
за авторством: M. S. Boltovets, та інші
Опубліковано: (2010)

Formation of ohmic contacts to n(p)-gan and measurement of their contact resistivity
за авторством: Boltovets, M.S., та інші
Опубліковано: (2010)

On the current flow mechanism in the Au-TiBx-n-GaN-i-Al₂O₃ Schottky barrier diodes
за авторством: Belyaev, A.E., та інші
Опубліковано: (2007)

ÐžÑ†ÐµÐ½ÐºÐ° ÑÐ¾ÑÑ‚Ð¾ÑÐ½Ð¸Ñ Ñ…Ñ€Ð¾Ð¼Ð°Ñ‚Ð¸Ð½Ð° Ð² Ð±Ð»Ð°ÑÑ‚Ð¾Ð¼ÐµÑ€Ð°Ñ… Ð¿Ð¾ÑÐ»Ðµ rÑ€Ð¸Ð¾ÐºÐ¾Ð½ÑÐµÑ€Ð²Ð¸Ñ€Ð¾Ð²Ð°Ð½Ð¸Ñ
за авторством: Petrushko, M. P., та інші
Опубліковано: (2005)

CÑ‚Ñ€ÑƒÐºÑ‚ÑƒÑ€Ð½Ñ‹Ðµ Ð¿ÐµÑ€ÐµÑÑ‚Ñ€Ð¾Ð¹ÐºÐ¸ Ð² ÐºÐ»ÐµÑ‚ÐºÐ°Ñ… Ð¸ Ð¸Ñ… Ð¼ÐµÐ¼Ð±Ñ€Ð°Ð½Ð°Ñ… Ð¿Ñ€Ð¸ Ð´Ð»Ð¸Ñ‚ÐµÐ»ÑŒÐ½Ð¾Ð¼ Ð³Ð¸Ð¿Ð¾Ñ‚ÐµÑ€Ð¼Ð¸Ñ‡ÐµÑÐºÐ¾Ð¼ Ñ…Ñ€Ð°Ð½ÐµÐ½Ð¸Ð¸
за авторством: Repin, N. V., та інші
Опубліковано: (2005)

Resistance formation mechanisms for contacts and to n-AlN and n-GaN with a high dislocation density
за авторством: A. V. Sachenko, та інші
Опубліковано: (2012)

Ð¡Ñ‚Ñ€ÑƒÐºÑ‚ÑƒÑ€Ð½Ñ‹Ðµ Ð¸Ð·Ð¼ÐµÐ½ÐµÐ½Ð¸Ñ Ð´ÐµÐºÐ¾Ð½ÑÐµÑ€Ð²Ð¸Ñ€Ð¾Ð²Ð°Ð½Ð½Ð¾Ð¹ Ð¿Ð»Ð°Ñ†ÐµÐ½Ñ‚Ñ‹ Ð¿Ñ€Ð¸ Ð³Ð¸Ð¿Ð¾Ñ‚ÐµÑ€Ð¼Ð¸Ñ‡ÐµÑÐºÐ¾Ð¼ Ñ…Ñ€Ð°Ð½ÐµÐ½Ð¸Ð¸
за авторством: Govorukha, T. P., та інші
Опубліковано: (2006)

Ð”Ð¸ÑÐ»ÐµÐºÑ‚Ñ€Ð¸Ñ‡ÐµÑÐºÐ°Ñ Ð¿Ñ€Ð¾Ð½Ð¸Ñ†Ð°ÐµÐ¼Ð¾ÑÑ‚ÑŒ ÑÑÐºÑƒÐ»ÑÑ‚Ð¾Ð² Ñ‡ÐµÐ»Ð¾Ð²ÐµÐºÐ° Ð¿Ñ€Ð¸ Ð½Ð¾Ñ€Ð¼Ð¾- Ð¸ Ð¿Ð°Ñ‚Ð¾ÑÐ¿ÐµÑ€Ð¼Ð¸Ð¸ Ð¿Ð¾ÑÐ»Ðµ Ð²Ð·Ð°Ð¸Ð¼Ð¾Ð´ÐµÐ¹ÑÑ‚Ð²Ð¸Ñ Ñ ÐºÑ€Ð¸Ð¾Ð·Ð°Ñ‰Ð¸Ñ‚Ð½Ð¾Ð¹ ÑÑ€ÐµÐ´Ð¾Ð¹
за авторством: Rodionova, V. L., та інші
Опубліковано: (2004)

ÐšÐ»Ñ–Ñ‚Ð¸Ð½Ð½Ð¾-Ñ‚ÐºÐ°Ð½Ð¸Ð½Ð½Ñ– Ð¿Ñ€ÐµÐ¿Ð°Ñ€Ð°Ñ‚Ð¸ Ð² Ð»Ñ–ÐºÑƒÐ²Ð°Ð½Ð½Ñ– Ð¿ÐµÑ‡Ñ–Ð½ÐºÐ¾Ð²Ð¾Ñ— Ð¿Ð°Ñ‚Ð¾Ð»Ð¾Ð³Ñ–Ñ— Ð² ÐµÐºÑÐ¿ÐµÑ€Ð¸Ð¼ÐµÐ½Ñ‚Ñ–
за авторством: Subbota, N. P., та інші
Опубліковано: (2005)

Ukraine's positions inn international ratings evaluation as a factor of its competitiveness
за авторством: I. Gryshova, та інші
Опубліковано: (2015)

Ð’Ð»Ð¸ÑÐ½Ð¸Ðµ Ð´Ð»Ð¸Ñ‚ÐµÐ»ÑŒÐ½Ð¾ÑÑ‚Ð¸ Ñ…Ñ€Ð°Ð½ÐµÐ½Ð¸Ñ Ñ‚ÐºÐ°Ð½Ð¸ Ð¿Ð»Ð°Ñ†ÐµÐ½Ñ‚Ñ‹ Ð¿Ñ€Ð¸ 4oÐ¡ Ð½Ð° ÑƒÐ»ÑŒÑ‚Ñ€Ð°ÑÑ‚Ñ€ÑƒÐºÑ‚ÑƒÑ€Ñƒ Ð²Ð¾Ñ€ÑÐ¸Ð½Ñ‡Ð°Ñ‚Ð¾Ð³Ð¾ Ñ…Ð¾Ñ€Ð¸Ð¾Ð½Ð°
за авторством: Repin, N. V., та інші
Опубліковано: (2002)

Ð”ÐµÐ¹ÑÑ‚Ð²Ð¸Ðµ Ñ‚Ñ€Ð¸Ñ„Ñ‚Ð¾Ñ€Ð¿ÐµÑ€Ð°Ð·Ð¸Ð½Ð° Ð½Ð° Ð³ÐµÐ¼Ð¾Ð»Ð¸Ð· ÑÑ€Ð¸Ñ‚Ñ€Ð¾Ñ†Ð¸Ñ‚Ð¾Ð² Ð² Ð³Ð¸Ð¿ÐµÑ€Ñ‚Ð¾Ð½Ð¸Ñ‡ÐµÑÐºÐ¸Ñ… Ñ€Ð°ÑÑ‚Ð²Ð¾Ñ€Ð°Ñ… ÑÐ»ÐµÐºÑ‚Ñ€Ð¾Ð»Ð¸Ñ‚Ð¾Ð²
за авторством: Shpakova, N. M., та інші
Опубліковано: (2002)

Investigation of resistance formation mechanisms for contacts to n-AlN and n-GaN with a high dislocation density
за авторством: Sachenko, A.V., та інші
Опубліковано: (2012)

Ð’Ð»Ð¸ÑÐ½Ð¸Ðµ Ð°Ð¼Ñ„Ð¸Ñ„Ð¸Ð»ÑŒÐ½Ñ‹Ñ… ÑÐ¾ÐµÐ´Ð¸Ð½ÐµÐ½Ð¸Ð¹ Ð½Ð° Ñ‡ÑƒÐ²ÑÑ‚Ð²Ð¸Ñ‚ÐµÐ»ÑŒÐ½Ð¾ÑÑ‚ÑŒ Ñ‡Ð°ÑÑ‚Ð¸Ñ‡Ð½Ð¾ Ð¾Ð±ÐµÐ·Ð²Ð¾Ð¶ÐµÐ½Ð½Ñ‹Ñ… ÑÑ€Ð¸Ñ‚Ñ€Ð¾Ñ†Ð¸Ñ‚Ð¾Ð² Ðº Ð³Ð¸Ð¿ÐµÑ€Ñ‚Ð¾Ð½Ð¸Ñ‡ÐµÑÐºÐ¾Ð¼Ñƒ ÑÑ‚Ñ€ÐµÑÑÑƒ
за авторством: Orlova, N. V., та інші
Опубліковано: (2003)