Взаємодія халькогенідних плівок As4Se96 з електронним пучком при використанні їх у ролі електронних резистів
The interaction of an electron beam with chalcogenide films As4Se96 has been studied. The kinetics of the formation of an electron-induced surface relief in the dose range 9,3 · 103–9,3 · 107 мC· cm−2 is established. The parameters of the interaction of a film As4Se96 with an electron b...
Збережено в:
| Дата: | 2020 |
|---|---|
| Автори: | Bilanych, B. V., Shylenko, O., Latyshev, V. M., Feher, A., Bilanych, V. S., Rizak, V. M., Komanicky, V. |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Англійська |
| Опубліковано: |
Publishing house "Academperiodika"
2020
|
| Онлайн доступ: | https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2019391 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Ukrainian Journal of Physics |
Репозитарії
Ukrainian Journal of PhysicsСхожі ресурси
Interaction of chalcogenide As4Se96 films with electron beam when used as electronic resists
за авторством: B. V. Bilanych, та інші
Опубліковано: (2020)
за авторством: B. V. Bilanych, та інші
Опубліковано: (2020)
Interaction of chalcogenide As4Se96 films with electron beam when used as electronic resists
за авторством: B. V. Bilanych, та інші
Опубліковано: (2020)
за авторством: B. V. Bilanych, та інші
Опубліковано: (2020)
Метод виміру площ земної поверхні при використанні електронних карт
за авторством: Степанов, М.М.
Опубліковано: (2010)
за авторством: Степанов, М.М.
Опубліковано: (2010)
Структурні та морфологічні властивості нанометрових вуглецевих плівок, отриманих розпиленням графіту електронним променем
за авторством: Yukhymchuk, V.O., та інші
Опубліковано: (2023)
за авторством: Yukhymchuk, V.O., та інші
Опубліковано: (2023)
Матеріали для оптичних сенсорів рентгенівського опромінювання на основі плівок (GaxIn1 – x)2Se3
за авторством: Pop, M.M., та інші
Опубліковано: (2022)
за авторством: Pop, M.M., та інші
Опубліковано: (2022)
ПЗЗ-фотоматриці з електронним множенням
за авторством: Reva, V. P., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Reva, V. P., та інші
Опубліковано: (2017)
Модифікація електронних властивостей надтонких плівок β-Ga2O3 механічними впливами
за авторством: Balabai, R.M., та інші
Опубліковано: (2021)
за авторством: Balabai, R.M., та інші
Опубліковано: (2021)
Дослідження структурних властивостей халькогенідних стекол As₂S₃, легованих сріблом
за авторством: Ревуцька, Л.О., та інші
Опубліковано: (2016)
за авторством: Ревуцька, Л.О., та інші
Опубліковано: (2016)
Збудження ядер електронним переходом
за авторством: Dzyublik, A. Ya.
Опубліковано: (2018)
за авторством: Dzyublik, A. Ya.
Опубліковано: (2018)
Чутливість матриць ПЗЗ із електронним множенням
за авторством: Sizov, F. F., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Sizov, F. F., та інші
Опубліковано: (2018)
Установка для дослідження процесів рідинного травлення неорганічних резистів — середовищ для голографії та оптичного запису інформації
за авторством: Тарнай, А.А., та інші
Опубліковано: (2008)
за авторством: Тарнай, А.А., та інші
Опубліковано: (2008)
Властивості і застосування халькогенідних стекол. Частина I (огляд)
за авторством: Стронський, О.В., та інші
Опубліковано: (2013)
за авторством: Стронський, О.В., та інші
Опубліковано: (2013)
Формування стрибка концентрацiї в неоднорiднiй iзотермiчнiй плазмi при взаємодiї з модульованим електронним пучком
за авторством: Anisimov, I. O., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Anisimov, I. O., та інші
Опубліковано: (2018)
Возбуждение локализованных плазмонов электронным пучком
за авторством: Довбня, А.Н., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Довбня, А.Н., та інші
Опубліковано: (2012)
Авторезонансное ускорение электронов гауссовым пучком
за авторством: Милантьев, В.П., та інші
Опубліковано: (2003)
за авторством: Милантьев, В.П., та інші
Опубліковано: (2003)
Mechanical properties of Cu 6 PS 5 I superionic crystals and thin films
за авторством: V. V. Bilanych, та інші
Опубліковано: (2019)
за авторством: V. V. Bilanych, та інші
Опубліковано: (2019)
Mechanical properties of Cu₆PS₅І superionic crystals and thin films
за авторством: Bilanych, V.V., та інші
Опубліковано: (2019)
за авторством: Bilanych, V.V., та інші
Опубліковано: (2019)
Фрагментація молекули PTCDA електронним ударом
за авторством: Шпеник, О.Б., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Шпеник, О.Б., та інші
Опубліковано: (2018)
Іонізація молекул фруктози електронним ударом
за авторством: Завілопуло, А.М., та інші
Опубліковано: (2024)
за авторством: Завілопуло, А.М., та інші
Опубліковано: (2024)
Іонізація молекули етиленгліколю електронним ударом
за авторством: Mykyta, M.I., та інші
Опубліковано: (2022)
за авторством: Mykyta, M.I., та інші
Опубліковано: (2022)
Effect of thermal conditions of welding on specifics of crack initiation in HAZ of joints of aluminium alloys V96 and V96tss
за авторством: T. M. Labur, та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: T. M. Labur, та інші
Опубліковано: (2009)
Методи формування нанорозмірних структур на плівках халькогенідних склоподібних напівпровідників
за авторством: Петров, В.В., та інші
Опубліковано: (2016)
за авторством: Петров, В.В., та інші
Опубліковано: (2016)
Збудження та іонізація аденіну електронним ударом
за авторством: Суховія, М.І., та інші
Опубліковано: (1996)
за авторством: Суховія, М.І., та інші
Опубліковано: (1996)
Коллоквиум МАС № 96 «Проблема нескольких тел»
Опубліковано: (1986)
Опубліковано: (1986)
Іонізація молекул амінокислот тирозину та треоніну електронним ударом
за авторством: Vukstich, V.S., та інші
Опубліковано: (2022)
за авторством: Vukstich, V.S., та інші
Опубліковано: (2022)
Прямий метод формування поверхневих рельєфних ґраток у плівках халькогенідних стекол
за авторством: Рубіш, В.М., та інші
Опубліковано: (2010)
за авторством: Рубіш, В.М., та інші
Опубліковано: (2010)
Классификационный анализ акустооптических устройств управления лазерным пучком
за авторством: Данилов, В.В.
Опубліковано: (2000)
за авторством: Данилов, В.В.
Опубліковано: (2000)
Аномальное рассеяние электромагнитной волны релятивистским электронным пучком
за авторством: Огнивенко, В.В.
Опубліковано: (2000)
за авторством: Огнивенко, В.В.
Опубліковано: (2000)
Thermodynamic Estimation of Structural Components of Alloy V96Ts
за авторством: V. I. Dubodielov, та інші
Опубліковано: (2019)
за авторством: V. I. Dubodielov, та інші
Опубліковано: (2019)
Парціальні перерізи іонізації атома рубідію електронним ударом
за авторством: Роман, В.І., та інші
Опубліковано: (2015)
за авторством: Роман, В.І., та інші
Опубліковано: (2015)
Іонізація та збудження молекул урацилу електронним ударом
за авторством: Sukhoviya, M.I., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Sukhoviya, M.I., та інші
Опубліковано: (2012)
Підвищення ефективності тепловідведення від потужних електронних пристроїв через термічні інтерфейси на основі плівок нітриду алюмінію
за авторством: Руденко, Е.М., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Руденко, Е.М., та інші
Опубліковано: (2018)
Technological features of melting complex aluminium alloys of V96 type
за авторством: V. E. Fedorchuk, та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: V. E. Fedorchuk, та інші
Опубліковано: (2014)
Дослідження аморфних халькогенідних матеріалів елементів пам’яті на основі фазових переходів
за авторством: Кириленко, В.К., та інші
Опубліковано: (2014)
за авторством: Кириленко, В.К., та інші
Опубліковано: (2014)
Особливості одержання та структура халькогенідних склоподібних матеріалів для оптичного запису інформації
за авторством: Риган, М.Ю., та інші
Опубліковано: (2007)
за авторством: Риган, М.Ю., та інші
Опубліковано: (2007)
Інтерференційна фотолітографія на основі ефекту фототравлення в тонких шарах халькогенідних стекол
за авторством: Данько, В.А., та інші
Опубліковано: (2012)
за авторством: Данько, В.А., та інші
Опубліковано: (2012)
Suppression of the superconductivity in ultrathin amorphous Mo₇₈Ge₂₂ films observed by STM
за авторством: Lotnyk, D., та інші
Опубліковано: (2017)
за авторством: Lotnyk, D., та інші
Опубліковано: (2017)
Збудження резонансного переходу 51S – 51Po атома Sr електронним ударом
за авторством: Nagy, E. A., та інші
Опубліковано: (2018)
за авторством: Nagy, E. A., та інші
Опубліковано: (2018)
Подкритический реактор с совмещённой мишенью, управляемый протонным пучком
за авторством: Гусев, Е.В., та інші
Опубліковано: (2004)
за авторством: Гусев, Е.В., та інші
Опубліковано: (2004)
Влияние термических условий сварки на особенности зарождения трещин в ЗТВ соединений алюминиевых сплавов В96 и В96цс
за авторством: Лабур, Т.М., та інші
Опубліковано: (2009)
за авторством: Лабур, Т.М., та інші
Опубліковано: (2009)
Схожі ресурси
-
Interaction of chalcogenide As4Se96 films with electron beam when used as electronic resists
за авторством: B. V. Bilanych, та інші
Опубліковано: (2020) -
Interaction of chalcogenide As4Se96 films with electron beam when used as electronic resists
за авторством: B. V. Bilanych, та інші
Опубліковано: (2020) -
Метод виміру площ земної поверхні при використанні електронних карт
за авторством: Степанов, М.М.
Опубліковано: (2010) -
Структурні та морфологічні властивості нанометрових вуглецевих плівок, отриманих розпиленням графіту електронним променем
за авторством: Yukhymchuk, V.O., та інші
Опубліковано: (2023) -
Матеріали для оптичних сенсорів рентгенівського опромінювання на основі плівок (GaxIn1 – x)2Se3
за авторством: Pop, M.M., та інші
Опубліковано: (2022)