Оцінювання ефективності введення речовини у відбитий розряд за рахунок розпилювання матеріалу катода
The processes of injection of a sputtered-and-ionized working material into the pulsed reflex discharge plasma have been considered at the initial stage of dense gas-metal plasma formation. A calculation model has been proposed to estimate the parameters of the sputtering mechanism for the required...
Gespeichert in:
| Datum: | 2012 |
|---|---|
| Hauptverfasser: | , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Ukrainian English |
| Veröffentlicht: |
Publishing house "Academperiodika"
2012
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2021185 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Ukrainian Journal of Physics |