Вплив обробки у парах HF на структуру та люмінесцентні властивості поруватих Si/SiОx нанокомпозитів

Методами IЧ-спектроскопiї та фотолюмiнесценцiї дослiджено вплив травлення парами HF оксидної матрицi поруватих нанокомпозитних Si/SiO

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Datum:2025
Hauptverfasser: Dan’ko, V.A., Zlobin, S.O., Indutnyi, I.Z., Lisovskyy, I.P., Litovchenko, L.G., Michailovska, K.V., Shepeliavyi, P.E.
Format: Artikel
Sprache:Ukrainian
English
Veröffentlicht: Publishing house "Academperiodika" 2025
Schlagworte:
-
Online Zugang:https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2022246
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Ukrainian Journal of Physics

Institution

Ukrainian Journal of Physics
Beschreibung
Zusammenfassung:Методами IЧ-спектроскопiї та фотолюмiнесценцiї дослiджено вплив травлення парами HF оксидної матрицi поруватих нанокомпозитних Si/SiO