Вплив обробки у парах HF на структуру та люмінесцентні властивості поруватих Si/SiОx нанокомпозитів

• Дата: 2025
• Автори: Dan’ko, V.A., Zlobin, S.O., Indutnyi, I.Z., Lisovskyy, I.P., Litovchenko, L.G., Michailovska, K.V., Shepeliavyi, P.E.
• Формат: Стаття
• Мова: Ukrainian; English
• Опубліковано: Publishing house "Academperiodika" 2025
• Теми: -
• Онлайн доступ: https://ujp.bitp.kiev.ua/index.php/ujp/article/view/2022246
• Назва журналу: Ukrainian Journal of Physics

Методами IЧ-спектроскопiї та фотолюмiнесценцiї дослiджено вплив травлення парами HF оксидної матрицi поруватих нанокомпозитних Si/SiO