диффузия diffusion 12 дифузія 7 UDC 669.017.3 2 carbide phase 2 carbonitriding 2 defects 2 diffusion layer depth 2 epitaxy 2 image 2 morphology 2 optical-mathematical method 2 steel 2 structural heterogeneity 2 surface microhardness 2 УДК 621.785.53 2 УДК 669.017.3 2 глибина дифузійного шару 2 глубина диффузионного слоя 2 дефекти 2 дефекты 2 зображення 2 изображение 2 карбидная фаза 2 карбідна фаза 2 микротвердость поверхности 2 морфология 2 мікротвердість поверхні 2 нитроцементация 2 нітроцементація 2