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    Theoretical study on laser annealing of non-stoichiometric SiOX films
    von O. O. Gavrylyuk
    Veröffentlicht 2014
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    Study of the distribution of temperature profiles in nonstoichiometric SiOx films at laser annealing
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    Study of the distribution of temperature profiles in nonstoichiometric SiOx films at laser annealing
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    Transformation of SiOx films into nanocomposite SiO2(Si) films under thermal and laser annealing
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