Результати пошуку - Dudin, S. V.
- Показ 1 - 20 результатів із 20
-
1
Рhysics and design of wide-aperture bipolar particle sources за авторством Dudin, S.V.
Опубліковано в: Вопросы атомной науки и техники (2013)Отримати повний текст
Стаття -
2
Langmuir probe in ion-beam plasma: theory VS experiment за авторством Dudin, S.V.
Опубліковано в: Физическая инженерия поверхности (2012)Отримати повний текст
Стаття -
3
Закономерности формирования пучка ионов низкой энергии при помощи односеточной ионно-оптической системы... за авторством Dudin, S. V., Rafalskyi, D. V.
Опубліковано 2009Отримати повний текст
Стаття -
4
Influence of secondary electron emission on the RF gas breakdown за авторством Dakhov, A.N., Dudin, S.V.
Опубліковано в: Вопросы атомной науки и техники (2013)Отримати повний текст
Стаття -
5
Conversion of carbon dioxide in low-pressure plasma за авторством Dudin, S.V., Dakhov, A.N.
Опубліковано в: Вопросы атомной науки и техники (2018)Отримати повний текст
Стаття -
6
Actinometric study of oxygen dissociation in ICP source за авторством Dakhov, A.N., Dudin, S.V.
Опубліковано в: Вопросы атомной науки и техники (2014)Отримати повний текст
Стаття -
7
Широкоапертурный высокочастотный источник ионов низкой энергии с электронной компенсацией за авторством Dudin, S. V., Rafalskyi, D. V., Zykov, A. V.
Опубліковано 2010Отримати повний текст
Стаття -
8
The Langmuir probe modeling in ion-beam plasma за авторством Antonova, T.N., Dudin, S.V., Farenik, V.I.
Опубліковано в: Вопросы атомной науки и техники (2003)Отримати повний текст
Стаття -
9
Oxygen activation effect on reactive magnetron synthesis of alumina coatings за авторством Walkowicz, J., Zykov, A.V., Dudin, S.V., Yakovin, S.D.
Опубліковано в: Вопросы атомной науки и техники (2007)Отримати повний текст
Стаття -
10
Oxygen activation effect on reactive magnetron synthesis of alumina coatings за авторством Walkowicz, J., Zykov, A.V., Dudin, S.V., Yakovin, S.D.
Опубліковано в: Вопросы атомной науки и техники (2007)Отримати повний текст
Стаття -
11
-
12
Dependence of RF breakdown curve on electrode geometry in CCP reactor за авторством Dudin, S.V., Dakhov, A.N., Lisovskiy, V.A., Pletniov, V.M.
Опубліковано в: Вопросы атомной науки и техники (2012)Отримати повний текст
Стаття -
13
Burning modes of a bipolar pulsed discharge in CO₂ за авторством Lisovskiy, V.A., Dudin, S.V., Vusyk, M.M., Yegorenkov, V.D.
Опубліковано в: Вопросы атомной науки и техники (2020)Отримати повний текст
Стаття -
14
Experimental research of ICP reactor for plasma-chemical etching за авторством Dudin, S.V., Zykov, A.V., Dahov, A.N., Farenik, V.I.
Опубліковано в: Вопросы атомной науки и техники (2006)Отримати повний текст
Стаття -
15
Forming a unipolar pulsed discharge in nitrogen за авторством Lisovskiy, V.A., Ogloblina, P.A., Dudin, S.V., Yegorenkov, V.D., Dakhov, A.N.
Опубліковано в: Вопросы атомной науки и техники (2016)Отримати повний текст
Стаття -
16
Ignition and properties of RF capacitive discharge in acetylene за авторством Lisovskiy, V.A., Dudin, S.V., Platonov, P.P., Bogatyrenko, S.I., Minenkov, A.A.
Опубліковано в: Вопросы атомной науки и техники (2019)Отримати повний текст
Стаття -
17
Glow discharge with a hollow cathode in carbon dioxide за авторством Lisovskiy, V.A., Dudin, S.V., Platonov, P.P., Osmayev, R.O., Yegorenkov, V.D.
Опубліковано в: Problems of Atomic Science and Technology (2022)Отримати повний текст
Стаття -
18
2D fluid model for interactive development of ICP technological tools за авторством Gapon, A.V., Dahov, A.N., Dudin, S.V., Zykov, A.V., Azarenkov, N.A.
Опубліковано в: Вопросы атомной науки и техники (2006)Отримати повний текст
Стаття -
19
Formation stages of pulsed discharge in oxygen and carbon tetrafluoride за авторством Lisovskiy, V.A., Ogloblina, P.A., Dudin, S.V., Yegorenkov, V.D., Dakhov, A.N., Farenik, V.I.
Опубліковано в: Журнал физики и инженерии поверхности (2016)Отримати повний текст
Стаття -
20
Control of reduced electric field in the positive column of a pulsed discharge in CO₂ за авторством Lisovskiy, V.A., Dudin, S.V., Vusyk, M.M., Osmayev, R.O., Yegorenkov, V.D., Platonov, P.P.
Опубліковано в: Problems of Atomic Science and Technology (2023)Отримати повний текст
Стаття
Інструменти для пошуку:
Пов'язані теми
Low temperature plasma and plasma technologies
Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
HF inductive discharge
ion-optical system
ВЧ индукционный разряд
ионно-оптическая система
Gas and plasma-beam discharges and their applications
HF capacitive discharge
ion beam compensation
ion beam formation
ion source
plasma-chemical etching of semiconductor materials
plasma-chemical reactor
ВЧ емкостный разряд
Плазменно-пучковый разряд, газовый разряд и плазмохимия
источник ионов
компенсация пучка ионов
плазмохимический реактор
плазмохимическое травление полупроводниковых материалов
формирование пучка ионов