Suchergebnisse - Dudin, S.V.
- Treffer 1 - 20 von 20
-
1
Рhysics and design of wide-aperture bipolar particle sources von Dudin, S.V.
Veröffentlicht in Вопросы атомной науки и техники (2013)Volltext
Artikel -
2
Langmuir probe in ion-beam plasma: theory VS experiment von Dudin, S.V.
Veröffentlicht in Физическая инженерия поверхности (2012)Volltext
Artikel -
3
-
4
Influence of secondary electron emission on the RF gas breakdown von Dakhov, A.N., Dudin, S.V.
Veröffentlicht in Вопросы атомной науки и техники (2013)Volltext
Artikel -
5
Conversion of carbon dioxide in low-pressure plasma von Dudin, S.V., Dakhov, A.N.
Veröffentlicht in Вопросы атомной науки и техники (2018)Volltext
Artikel -
6
Actinometric study of oxygen dissociation in ICP source von Dakhov, A.N., Dudin, S.V.
Veröffentlicht in Вопросы атомной науки и техники (2014)Volltext
Artikel -
7
Широкоапертурный высокочастотный источник ионов низкой энергии с электронной компенсацией von Dudin, S. V., Rafalskyi, D. V., Zykov, A. V.
Veröffentlicht 2010Volltext
Artikel -
8
The Langmuir probe modeling in ion-beam plasma von Antonova, T.N., Dudin, S.V., Farenik, V.I.
Veröffentlicht in Вопросы атомной науки и техники (2003)Volltext
Artikel -
9
Oxygen activation effect on reactive magnetron synthesis of alumina coatings von Walkowicz, J., Zykov, A.V., Dudin, S.V., Yakovin, S.D.
Veröffentlicht in Вопросы атомной науки и техники (2007)Volltext
Artikel -
10
Oxygen activation effect on reactive magnetron synthesis of alumina coatings von Walkowicz, J., Zykov, A.V., Dudin, S.V., Yakovin, S.D.
Veröffentlicht in Вопросы атомной науки и техники (2007)Volltext
Artikel -
11
-
12
Dependence of RF breakdown curve on electrode geometry in CCP reactor von Dudin, S.V., Dakhov, A.N., Lisovskiy, V.A., Pletniov, V.M.
Veröffentlicht in Вопросы атомной науки и техники (2012)Volltext
Artikel -
13
Burning modes of a bipolar pulsed discharge in CO₂ von Lisovskiy, V.A., Dudin, S.V., Vusyk, M.M., Yegorenkov, V.D.
Veröffentlicht in Вопросы атомной науки и техники (2020)Volltext
Artikel -
14
Experimental research of ICP reactor for plasma-chemical etching von Dudin, S.V., Zykov, A.V., Dahov, A.N., Farenik, V.I.
Veröffentlicht in Вопросы атомной науки и техники (2006)Volltext
Artikel -
15
Forming a unipolar pulsed discharge in nitrogen von Lisovskiy, V.A., Ogloblina, P.A., Dudin, S.V., Yegorenkov, V.D., Dakhov, A.N.
Veröffentlicht in Вопросы атомной науки и техники (2016)Volltext
Artikel -
16
Ignition and properties of RF capacitive discharge in acetylene von Lisovskiy, V.A., Dudin, S.V., Platonov, P.P., Bogatyrenko, S.I., Minenkov, A.A.
Veröffentlicht in Вопросы атомной науки и техники (2019)Volltext
Artikel -
17
Glow discharge with a hollow cathode in carbon dioxide von Lisovskiy, V.A., Dudin, S.V., Platonov, P.P., Osmayev, R.O., Yegorenkov, V.D.
Veröffentlicht in Problems of Atomic Science and Technology (2022)Volltext
Artikel -
18
2D fluid model for interactive development of ICP technological tools von Gapon, A.V., Dahov, A.N., Dudin, S.V., Zykov, A.V., Azarenkov, N.A.
Veröffentlicht in Вопросы атомной науки и техники (2006)Volltext
Artikel -
19
Formation stages of pulsed discharge in oxygen and carbon tetrafluoride von Lisovskiy, V.A., Ogloblina, P.A., Dudin, S.V., Yegorenkov, V.D., Dakhov, A.N., Farenik, V.I.
Veröffentlicht in Журнал физики и инженерии поверхности (2016)Volltext
Artikel -
20
Suchwerkzeuge:
Ähnliche Schlagworte
Low temperature plasma and plasma technologies
Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
HF inductive discharge
ion-optical system
ВЧ индукционный разряд
ионно-оптическая система
Gas and plasma-beam discharges and their applications
HF capacitive discharge
ion beam compensation
ion beam formation
ion source
plasma-chemical etching of semiconductor materials
plasma-chemical reactor
ВЧ емкостный разряд
Плазменно-пучковый разряд, газовый разряд и плазмохимия
источник ионов
компенсация пучка ионов
плазмохимический реактор
плазмохимическое травление полупроводниковых материалов
формирование пучка ионов