Показ
1 - 1
результатів із
1
для пошуку '
Gorushko, V. A.
'
Перейти до змісту
VuFind
Ваш обліковий запис
Вихід
Логін
Мова
English
Deutsch
Українська
Харвестер відкритої науки НАН України
Всі поля
Назва
Назва журналу
Автор
Предмет
Опис
Тег
Full text
Знайти
Розширений
Автор
Gorushko, V. A.
Показ
1 - 1
результатів із
1
для пошуку '
Gorushko, V. A.
'
, час виконання запиту: 0.01сек.
Уточнити результати
Сортувати
Релевантність
Дата у спадаючому порядку
Дата у зростаючому порядку
Шифр
Автор
Назва
Вибрати сторінку | з відміченими:
Е-пошта
Експорт
Друк
Зберегти
Вибрати результат під номером 1
1
Методы и механизмы геттерирования кремниевых структур в производстве интегральных микросхем
за авторством
Pilipenko, V. A.
,
Gorushko, V. A.
,
Petlitskiy, A. N.
,
Ponaryadov, V. V.
,
Turtsevich, A. S.
,
Shvedov, S. V.
Опубліковано 2013
Отримати повний текст
Стаття
Додати у Вибране
Збережено в:
Вибрати сторінку | з відміченими:
Е-пошта
Експорт
Друк
Зберегти
Інструменти для пошуку:
Отримати RSS-стрічку
–
Відправити пошук е-поштою
Пов'язані теми
dislocation
getter
gettering center
laser
rapidly diffusing impurity
silicon
stacking fault
быстродиффундирующая примесь
геттер
дефект упаковки
дислокация
кремний
лазер
центр геттерирования